一种具有气路拓扑结构的大面积线性阳极层离子源

    公开(公告)号:CN117198850B

    公开(公告)日:2025-01-21

    申请号:CN202310969700.0

    申请日:2023-08-02

    Abstract: 本申请涉及真空镀膜技术领域,具体而言,涉及一种具有气路拓扑结构的大面积线性阳极层离子源,包括源体组件、永磁体、阴极、环形阳极以及气路拓扑结构,其中:阴极由内阴极和外阴极组成,内阴极设置在源体组件的中间,外阴极设置在内阴极的两侧,与内阴极之间形成离子束流出射狭缝;环形阳极设置在离子束流出射狭缝的下方;永磁体设置在源体组件侧壁和外阴极边缘之间;气路拓扑结构由多层布气板片组成,设置在源体组件底面的下方;源体组件底面上设置有多个通气孔,与气路拓扑结构上的布气孔一一对应。本申请通过设置不同布气板片刻蚀开孔结构并进行可靠的排列组合形式,实现了离子源体内部电离区域气体特性的一致。

    一种具有气路拓扑结构的大面积线性阳极层离子源

    公开(公告)号:CN117198850A

    公开(公告)日:2023-12-08

    申请号:CN202310969700.0

    申请日:2023-08-02

    Abstract: 本申请涉及真空镀膜技术领域,具体而言,涉及一种具有气路拓扑结构的大面积线性阳极层离子源,包括源体组件、永磁体、阴极、环形阳极以及气路拓扑结构,其中:阴极由内阴极和外阴极组成,内阴极设置在源体组件的中间,外阴极设置在内阴极的两侧,与内阴极之间形成离子束流出射狭缝;环形阳极设置在离子束流出射狭缝的下方;永磁体设置在源体组件侧壁和外阴极边缘之间;气路拓扑结构由多层布气板片组成,设置在源体组件底面的下方;源体组件底面上设置有多个通气孔,与气路拓扑结构上的布气孔一一对应。本申请通过设置不同布气板片刻蚀开孔结构并进行可靠的排列组合形式,实现了离子源体内部电离区域气体特性的一致。

    一种空间用小型对接锁紧装置

    公开(公告)号:CN105000199A

    公开(公告)日:2015-10-28

    申请号:CN201510424610.9

    申请日:2015-07-17

    Abstract: 本发明的空间用小型对接锁紧装置,其包括:安装在空间站上主动机构和安装在空间试验载荷上的壳体;主动机构包括:框体、定位销安装板A、粗定位销A、精定位销A、面检测开关A、加热装置、电机、温度传感器、减速机、定位销安装板B、减速机支架、粗定位销B、面检测开关B、精定位销B、电位计、联轴器、电位计支架、小齿轮、滑动导套、光轴、大齿轮、丝杠、精定位销C、面检测开关C、定位销安装板C、锁紧检测开关、驱动机架、解锁检测开关、开关安装板、面检测开关D、锁紧销A、锁紧销B、浮动连接器插座、螺母。本发明设计了小型化、轻量化、无需航天员参与操作的空间用小型对接锁紧机构。

    一种高可靠沿面击穿放电触发式脉冲引弧电源

    公开(公告)号:CN111146967A

    公开(公告)日:2020-05-12

    申请号:CN201911353705.0

    申请日:2019-12-25

    Abstract: 本发明公开了一种沿面击穿放电触发式脉冲引弧电源,并设计了触发式脉冲引弧电源包括整流电路、电容充放电电路和触发控制电路三部分;当电弧主电源的输出电压高于空载输出电压的75%,或输出电流低于30A时,触发控制电路判定阴极电弧源处于熄弧状态,并触发脉冲信号,整流电路同步将交流电220V转换成直流电360V,并开始对电容充电,当充电电压达到360V,光晶闸管VS1自行关断,光晶闸管VS1可靠关断2ms后,触发控制电路给光晶闸管VS2发出一个导通触发脉冲信号,电容的电压通过光晶闸管VS2施加到阴极电弧源的陶瓷触发极上,为陶瓷表面的沿面击穿提供脉冲放电电压。

    一种用于圆形靶阴极杆密封的双层密封结构

    公开(公告)号:CN115899259A

    公开(公告)日:2023-04-04

    申请号:CN202211462371.2

    申请日:2022-11-17

    Abstract: 本申请公开了一种用于圆形靶阴极杆密封的双层密封结构,包括阴极杆保护套、锁紧螺钉、锁紧螺母、锥形密封套、O形密封圈、阴极安装座,所述阴极安装座为沿轴向设置中心通孔的轴套,所述阴极安装座同轴外套在阴极杆上,所述阴极安装座内壁沿轴线方向至少设置两个圆周方向分布的环形密封凹槽,每个所述环形密封凹槽内设置一O形密封圈,每个所述O形密封圈内嵌在环形密封凹槽内并外套在阴极杆上;所述阴极安装座上端管口为外扩的锥形孔,阴极安装座上端外壁设置一段外螺纹;锁紧螺母包括设置有内螺纹接口的螺母套及同轴一体设置在所述螺母套上端的密封轴套。本申请结构简单,密封性能可靠,靶基距方便调节,密封结构在平时使用过程中方便维护。

    一种用于随基片升降的加热装置
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115786864A

    公开(公告)日:2023-03-14

    申请号:CN202211560876.2

    申请日:2022-12-06

    Abstract: 本发明公开了一种用于随基片升降的加热装置,包括安装板、固定壳体、基板、反射盘、第一空心轴、第二空心轴、加热盘支撑管组件、加热管、加热盘、加热管固定块、伸缩波纹管;固定壳体的下端外壁设置法兰盘,固定壳体设置在所述安装板上,固定壳体的法兰盘通过螺钉与安装板连接固定,固定壳体的顶部中间位置设置第一安装通孔,第一安装通孔下方正对的安装板上设置第二安装通孔;第一空心轴由同轴设置的上空心轴、下空心轴两段轴组成,上空心轴位于下空心轴上方,上空心轴外壁设置外螺纹一,下空心轴外壁设置外螺纹二,外螺纹一与外螺纹二为旋向相反的螺纹。本发明能准确对基片进行加热,温度可控性好,能够保持加热盘和样品高度保持一致性。

    一种空间用小型对接锁紧装置

    公开(公告)号:CN105000199B

    公开(公告)日:2016-11-30

    申请号:CN201510424610.9

    申请日:2015-07-17

    Abstract: 本发明的空间用小型对接锁紧装置,其包括:安装在空间站上主动机构和安装在空间试验载荷上的壳体;主动机构包括:框体、定位销安装板A、粗定位销A、精定位销A、面检测开关A、加热装置、电机、温度传感器、减速机、定位销安装板B、减速机支架、粗定位销B、面检测开关B、精定位销B、电位计、联轴器、电位计支架、小齿轮、滑动导套、光轴、大齿轮、丝杠、精定位销C、面检测开关C、定位销安装板C、锁紧检测开关、驱动机架、解锁检测开关、开关安装板、面检测开关D、锁紧销A、锁紧销B、浮动连接器插座、螺母。本发明设计了小型化、轻量化、无需航天员参与操作的空间用小型对接锁紧机构。

    一种测试太阳翼铰链线驱动特性用支架

    公开(公告)号:CN103277637A

    公开(公告)日:2013-09-04

    申请号:CN201310180027.9

    申请日:2013-05-15

    Abstract: 本发明提供一种测试太阳翼铰链线驱动特性用支架,所述支架包括转动支架和固定支架,转动支架与固定支架均为一竖直杆,转动支架具有通体固定块滑槽,转动支架的上下两端连接有铰链固定座,铰链固定座与转动支架为滑动连接;铰链固定座连接铰链,固定支架与转动支架通过铰链连接;本发明涉及的这种测试太阳翼铰链线驱动特性用支架,可以安装不同规格的铰链、电缆等被测试件,得到准确﹑可靠的驱动力矩、摩擦阻力矩和刚度等测试数据,提高空间应用设备的可靠性和研制水平。

    一种高速钢刀具的玫瑰金色涂层及其制备方法

    公开(公告)号:CN117403180A

    公开(公告)日:2024-01-16

    申请号:CN202311253098.7

    申请日:2023-09-26

    Abstract: 本发明提供一种高速钢刀具的玫瑰金色涂层,包括Ti层和Ti(C,N)层。该玫瑰金色涂层的颜色LAB值为:L61、a13和b17,厚度为1~1.5μm,表面粗糙度小于50nm,硬度为30~35GPa,附着力大于60N,具有优良的耐磨性能。本发明采用真空电弧离子镀法,在高速钢刀具的表面进行Ti离子刻蚀并同步沉积Ti层,然后通入N2和C2H2气体与Ti离子进行化合反应,形成玫瑰金色的离子并在Ti层上沉积Ti(C,N)层,最终形成玫瑰金色涂层。本发明解决了金铜合金涂层成本效率低和性能不足问题,具有生产效率高,工艺成本低,涂层性能稳定,可达到玫瑰金外观品质等特点,适用于提升刀具产品核心价值和品牌竞争力,实用性和推广性较强。

    一种高可靠沿面击穿放电触发式脉冲引弧电源

    公开(公告)号:CN111146967B

    公开(公告)日:2023-08-15

    申请号:CN201911353705.0

    申请日:2019-12-25

    Abstract: 本发明公开了一种沿面击穿放电触发式脉冲引弧电源,并设计了触发式脉冲引弧电源包括整流电路、电容充放电电路和触发控制电路三部分;当电弧主电源的输出电压高于空载输出电压的75%,或输出电流低于30A时,触发控制电路判定阴极电弧源处于熄弧状态,并触发脉冲信号,整流电路同步将交流电220V转换成直流电360V,并开始对电容充电,当充电电压达到360V,光晶闸管VS1自行关断,光晶闸管VS1可靠关断2ms后,触发控制电路给光晶闸管VS2发出一个导通触发脉冲信号,电容的电压通过光晶闸管VS2施加到阴极电弧源的陶瓷触发极上,为陶瓷表面的沿面击穿提供脉冲放电电压。

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