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公开(公告)号：CN113656995B
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN202110761560.9
申请日：2021-07-06
Applicant: 兰州空间技术物理研究所
IPC: G06F30/23 , G06F30/25 , G06F111/10
Abstract: 本发明公开了一种基于电子轨迹积分法的电离规灵敏度数值计算方法，构建电离规三维结构模型，利用有限元方法对所述模型进行有限元划分，确定边界条件后，通过求解泊松方程计算所述模型的空间电磁场分布，然后利用四阶龙格库塔法计算电磁场空间的电子运动轨迹和离子运动轨迹，根据离子运动轨迹，统计分析获得有效电离区域，从而计算得到分布于有效电离区域中的有效电子轨迹，最后将有效电子轨迹微分为若干段，计算每段长度及与之对应的电离截面，再根据灵敏度物理定义，积分计算获得灵敏度数值；本发明能够实现电离规高精度灵敏度数值计算。
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公开(公告)号：CN117309223A
公开(公告)日：2023-12-29
申请号：CN202311218624.6
申请日：2023-09-20
Applicant: 兰州空间技术物理研究所
Abstract: 本申请涉及一种防爆型电容压力传感器，包括：进气管、端盖、防爆壳、电容压力传感器、连接线缆、插头、电路板，其中：所述进气管安装在所述电容压力传感器上；所述电容压力传感器通过所述进气管与所述端盖进行固定；所述端盖与所述防爆壳连接；所述电容压力传感器、所述电路板、所述连接线缆均放置于所述防爆壳内部；所述连接线缆与所述插头连接，所述插头固定在所述防爆壳后端。本申请所述的一种防爆型电容压力传感器，使得传感器测量电路以及接线端全部置于防爆壳体内，与外部气体环境进行了有效隔离，显著提升了电容薄膜真空计在具有爆炸性混合物及爆炸性气体环境中的使用安全性。
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公开(公告)号：CN119566446A
公开(公告)日：2025-03-07
申请号：CN202411887218.3
申请日：2024-12-20
Applicant: 兰州空间技术物理研究所
IPC: B23K3/00 , B23K3/08 , B23K1/00 , B23K101/36
Abstract: 本申请涉及真空测试仪表技术领域，具体而言，涉及一种电容薄膜真空计用高灵敏度金属膜片焊接方法。包括真空腔室、膜片垂直压变调节系统、膜片水平张力调节系统、参考腔圆柱筒、测量腔圆柱筒、焊接膜片以及红外定位仪组成。其中：参考腔圆柱筒、测量腔圆柱筒与焊接膜片组成传感器焊接组件。焊接前，焊接膜片放置于参考腔圆柱筒与测量腔圆柱筒之间，借助红外定位仪完成传感器焊接组件内部各零部件定位后通过水平张力调节系统调节膜片的拉应力，垂直压变调节系统调节参考腔圆柱筒、测量腔圆柱筒与金属膜片的压紧力。完成膜片焊接组件组装、定位和紧固后开启真空钎焊系统，按照设定的真空钎焊工艺使金属膜片按既定张紧力实现高平整度的可靠连接。
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公开(公告)号：CN114509490B
公开(公告)日：2024-04-30
申请号：CN202111594705.7
申请日：2021-12-24
Applicant: 兰州空间技术物理研究所
IPC: G01N27/62
Abstract: 本发明公开了一种基于谱图迭代解析的超高/极高真空系统质谱测量方法。本发明对质谱直接测量结果进行二次数据分析处理，利用谱图的迭代解析对质谱原始测量数据进行整合处理，提取淹没在噪声中的有用微小信号，实现质谱图精准定性、定量分析，可大幅提升质谱分析仪器的动态范围特性，实现混合气体极小真空分压力痕量气体组分的定性、定量精确分析测量。
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公开(公告)号：CN117606676A
公开(公告)日：2024-02-27
申请号：CN202311321744.9
申请日：2023-10-12
Applicant: 兰州空间技术物理研究所
Abstract: 本申请涉及一种基于神经网络的电容薄膜真空计非线性修正方法及装置。其中，所述方法包括：采集非线性修正的标准真空计输出数据和待修正真空计输出数据；根据所述标准真空计输出数据和所述待修正真空计输出数据训练神经网络，得到所述非线性修正的训练后神经网络；将所述训练后神经网络部署到待修正真空计中，得到所述非线性修正的修正后真空计。本申请利用神经网络对真空计的测量数据进行了处理，可以快速实现待修正真空计的非线性修正。在提高真空计测量精度的同时，减少了真空计的调试成本。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112781756A
公开(公告)日：2021-05-11
申请号：CN202011444346.2
申请日：2020-12-11
Applicant: 兰州空间技术物理研究所
IPC: G01L1/14
Abstract: 本发明公开了一种减小感压薄膜焊接应力的电容压力传感器，通过增加了感压薄膜专用机架，并将感压薄膜与感压薄膜专用机架独立焊接，独立结构的感压薄膜机架与上下机架体接触部分少，受到机架体的热冲击及机械振动影响较小，因此消除了传统结构感压薄膜与机架之间的二次焊接应力，改善了因机械应力、温度等引起的感压薄膜与金属外壳之间的应力对测量的影响，显著减小了感压薄膜与金属外壳边缘之间产生的寄生电容，提高了电容薄膜压力计测量精度。
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公开(公告)号：CN114018474B
公开(公告)日：2024-07-23
申请号：CN202111085360.2
申请日：2021-09-16
Applicant: 兰州空间技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种电容薄膜真空计封装前电容信号调测装置，包括芯柱引线法兰、分离规、低压调测参考端腔室、待调测未封装真空计、第一复合规、第二复合规、第一机械泵、第一涡轮分子泵、第二机械泵、第二涡轮分子泵、高压调测稳压室、石英规、压力变送器、低压气源、高压气源、多个连接管道和多个截止阀；本发明装置利用低压调测系统、高压调测系统两个不同压力区域相配合实现不同规格量程电容薄膜真空计(13.3Pa～1.33×106Pa)传感器封装前电容信号的全量程调测；解决了现有电容薄膜真空计校准装置无法开展封装前传感器性能调测的问题，降低了电容薄膜真空计制造成本，提高了整机成品率。
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公开(公告)号：CN113656995A
公开(公告)日：2021-11-16
申请号：CN202110761560.9
申请日：2021-07-06
Applicant: 兰州空间技术物理研究所
IPC: G06F30/23 , G06F30/25 , G06F111/10
Abstract: 本发明公开了一种基于电子轨迹积分法的电离规灵敏度数值计算方法，构建电离规三维结构模型，利用有限元方法对所述模型进行有限元划分，确定边界条件后，通过求解泊松方程计算所述模型的空间电磁场分布，然后利用四阶龙格库塔法计算电磁场空间的电子运动轨迹和离子运动轨迹，根据离子运动轨迹，统计分析获得有效电离区域，从而计算得到分布于有效电离区域中的有效电子轨迹，最后将有效电子轨迹微分为若干段，计算每段长度及与之对应的电离截面，再根据灵敏度物理定义，积分计算获得灵敏度数值；本发明能够实现电离规高精度灵敏度数值计算。
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公开(公告)号：CN112820618A
公开(公告)日：2021-05-18
申请号：CN202011467195.2
申请日：2020-12-14
Applicant: 兰州空间技术物理研究所
IPC: H01J37/32
Abstract: 本发明公开了一种微型溅射离子泵等离子体诊断装置。本发明通过设置一个密闭空间，引用朗缪尔探针，配合采用固定流导法，实现了对微型溅射离子泵正常工作时的内部空间电子温度和电子数密度进行检测。同时，利用电机、丝杠、滑块、朗缪尔探针之间的配合，实现了朗缪尔探针在容纳泵腔体内上下移动，进而实现了测量泵内部不同位置的电子温度和电子数密度。此外，通过引入气体微流量计，实现对容纳泵腔体及测试罩内部的压力调节，实现获得不同压力下的电子温度和电子数密度。
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公开(公告)号：CN119374778A
公开(公告)日：2025-01-28
申请号：CN202411628471.7
申请日：2024-11-14
Applicant: 兰州空间技术物理研究所
Abstract: 本发明涉及一种减小感压膜片表面污染的电容压力传感器，该电容压力传感器包括螺旋柱体；螺旋柱体可拆卸地安装于测量腔进气口内；在测量腔进气口与螺旋柱体之间形成螺旋进气通道。上述电容压力传感器通过在测量腔进气口内设置螺旋柱体，被测量气体沿螺旋柱体旋转后进入测量腔体后再与感压膜片接触，使得被测量气体首先通过螺旋柱体，并与其表面发生接触和颗粒附着并凝结在其表面，因此减小了传统电容压力传感器在测量有可凝结挥发物气体时其污染物大量凝结于感压膜片表面的缺点，显著提升了电容压力传感器的测量及计量特性，延长了使用寿命。
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