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公开(公告)号：CN119566446A
公开(公告)日：2025-03-07
申请号：CN202411887218.3
申请日：2024-12-20
Applicant: 兰州空间技术物理研究所
IPC: B23K3/00 , B23K3/08 , B23K1/00 , B23K101/36
Abstract: 本申请涉及真空测试仪表技术领域，具体而言，涉及一种电容薄膜真空计用高灵敏度金属膜片焊接方法。包括真空腔室、膜片垂直压变调节系统、膜片水平张力调节系统、参考腔圆柱筒、测量腔圆柱筒、焊接膜片以及红外定位仪组成。其中：参考腔圆柱筒、测量腔圆柱筒与焊接膜片组成传感器焊接组件。焊接前，焊接膜片放置于参考腔圆柱筒与测量腔圆柱筒之间，借助红外定位仪完成传感器焊接组件内部各零部件定位后通过水平张力调节系统调节膜片的拉应力，垂直压变调节系统调节参考腔圆柱筒、测量腔圆柱筒与金属膜片的压紧力。完成膜片焊接组件组装、定位和紧固后开启真空钎焊系统，按照设定的真空钎焊工艺使金属膜片按既定张紧力实现高平整度的可靠连接。
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公开(公告)号：CN117606676A
公开(公告)日：2024-02-27
申请号：CN202311321744.9
申请日：2023-10-12
Applicant: 兰州空间技术物理研究所
Abstract: 本申请涉及一种基于神经网络的电容薄膜真空计非线性修正方法及装置。其中，所述方法包括：采集非线性修正的标准真空计输出数据和待修正真空计输出数据；根据所述标准真空计输出数据和所述待修正真空计输出数据训练神经网络，得到所述非线性修正的训练后神经网络；将所述训练后神经网络部署到待修正真空计中，得到所述非线性修正的修正后真空计。本申请利用神经网络对真空计的测量数据进行了处理，可以快速实现待修正真空计的非线性修正。在提高真空计测量精度的同时，减少了真空计的调试成本。
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公开(公告)号：CN112781756A
公开(公告)日：2021-05-11
申请号：CN202011444346.2
申请日：2020-12-11
Applicant: 兰州空间技术物理研究所
IPC: G01L1/14
Abstract: 本发明公开了一种减小感压薄膜焊接应力的电容压力传感器，通过增加了感压薄膜专用机架，并将感压薄膜与感压薄膜专用机架独立焊接，独立结构的感压薄膜机架与上下机架体接触部分少，受到机架体的热冲击及机械振动影响较小，因此消除了传统结构感压薄膜与机架之间的二次焊接应力，改善了因机械应力、温度等引起的感压薄膜与金属外壳之间的应力对测量的影响，显著减小了感压薄膜与金属外壳边缘之间产生的寄生电容，提高了电容薄膜压力计测量精度。
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公开(公告)号：CN111141458A
公开(公告)日：2020-05-12
申请号：CN201911358736.5
申请日：2019-12-25
Applicant: 兰州空间技术物理研究所
Abstract: 本发明公开一种用于高压气瓶检漏的氦气回收装置及回收方法，包括储气容器、温度压力监测单元、测量仪器、置换系统、泄压控制器和抽空机组；储气容器用于储存从被检测的高压气瓶中回收的氦气；温度压力监测单元用于监测回收过程中高压气瓶和储气容器的温度和压力，测量仪器用于测量回收完成后的储气容器中的氦气浓度；置换系统用于在回收前置换储气容器中的空气，确保回收的氦气纯度；泄压控制器用于调节高压气瓶向储气容器泄压的速率，所述抽空机组用于对储气容器抽真空；本发明能够将高压气瓶检漏完毕之后的氦气回收，同时保证回收的氦气具有一定的纯度，能够满足下一次检漏使用要求。
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公开(公告)号：CN109752442A
公开(公告)日：2019-05-14
申请号：CN201811486865.8
申请日：2018-12-06
Applicant: 兰州空间技术物理研究所
IPC: G01N27/62
Abstract: 本发明公开了一种基于吸附富集原理的高压气体微量组份检测装置及方法，检测装置包括高压气体源、缓充室、吸附组件、质谱分析单元及真空泵组件；真空泵组件用于维持缓充室、吸附组件及质谱分析单元所需的压力，通过管路分别与缓充室、吸附组件及质谱分析单元相连；高压气体源向缓充室输入被测高压气体，被测高压气体由高压力减压至常压状态后进入吸附组件，吸附组件基于吸附富集原理将被测高压气体中的微量活性气体吸附后再次释放；释放后的微量活性气体进入质谱分析单元中，根据质谱分析获得被测高压气体的不同微量活性气体浓度含量。本发明的检测方法不需要配制标样气体，可以实现对微量活性气体含量的精确检测。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109655372A
公开(公告)日：2019-04-19
申请号：CN201811544404.1
申请日：2018-12-17
Applicant: 兰州空间技术物理研究所
IPC: G01N7/04
Abstract: 本发明提供了一种PdO吸气剂吸气量测试装置及方法，能够有效测试低温容器夹层用PdO吸气剂的吸气量，原理简单、操作方便、数据可靠，并且可以实现对PdO吸气剂吸气量等温线的测定。本发明的装置通过静态膨胀法精确测量各腔室容积，降低测试的不确定度；通过磁悬浮转子规和电容薄膜规测量压力，获得高精度的气体量和平衡压力；采用分子筛去除产生的H2O，避免其对测试结果的干扰。
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公开(公告)号：CN114018474B
公开(公告)日：2024-07-23
申请号：CN202111085360.2
申请日：2021-09-16
Applicant: 兰州空间技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种电容薄膜真空计封装前电容信号调测装置，包括芯柱引线法兰、分离规、低压调测参考端腔室、待调测未封装真空计、第一复合规、第二复合规、第一机械泵、第一涡轮分子泵、第二机械泵、第二涡轮分子泵、高压调测稳压室、石英规、压力变送器、低压气源、高压气源、多个连接管道和多个截止阀；本发明装置利用低压调测系统、高压调测系统两个不同压力区域相配合实现不同规格量程电容薄膜真空计(13.3Pa～1.33×106Pa)传感器封装前电容信号的全量程调测；解决了现有电容薄膜真空计校准装置无法开展封装前传感器性能调测的问题，降低了电容薄膜真空计制造成本，提高了整机成品率。
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公开(公告)号：CN114323421A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202111513436.7
申请日：2021-12-08
Applicant: 兰州空间技术物理研究所
Abstract: 本申请涉及超高真空比对校准系统技术领域，具体而言，涉及一种保护IE514分离规不受湿度影响的装置及方法，所述保护IE514分离规不受湿度影响的装置包括真空室、以及分别与所述真空室连接的第一截止阀、第二截止阀、以及第三截止阀，其中：真空室通过第一截止阀连接用于真空室内气体置换的高纯氮气瓶；真空室通过第二截止阀连接用于真空室抽真空的机械泵；IE514分离规放置于真空室内，真空室经第三截止阀接校准系统。本申请通过将IE514分离规放置于真空室内，并将真空室的湿度控制在IE514分离规允许的湿度范围内，实现IE514分离规不受外界湿度的影响，为提供IE514分离规提供良好工作环境，进而解决了相关技术中IE514分离规受湿度影响严重的技术问题。
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公开(公告)号：CN112782264A
公开(公告)日：2021-05-11
申请号：CN202011464931.9
申请日：2020-12-14
Applicant: 兰州空间技术物理研究所
IPC: G01N27/62
Abstract: 本发明公开了一种用于密闭空间微量有害气体检测及校准的装置及方法。使用本发明能够用于密闭空间微量有害气体成分及浓度检测及校准，同时给出气体种类、浓度和所处位置；方法简单可行，易操作。本发明由取样管路、取样阀、取样室、质谱室、质谱计等组成的检测系统，能够对密闭空间内的微量有害气体进行巡检，并给出气体成分和浓度值；同时，为避免质谱计随着测量时间的延长和质谱计污染，其灵敏度会降低，导致其检测数据不准确，因而通过校准系统对质谱计进行校准。校准系统通过设置小体积和小孔，使得标准气进样压力衰减至分子流状态，确保微量气体进样过程中各种气体成分比例保持恒定，更加符合检测系统工况，对检测数据校准更为精确。
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公开(公告)号：CN111141450A
公开(公告)日：2020-05-12
申请号：CN201911368463.2
申请日：2019-12-26
Applicant: 兰州空间技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种基于光学干涉法的真空计动态特性校准装置，利用光学干涉法动态响应快、灵敏度高、非接触性等特点，通过激光干涉仪测量气体折射率并得到标准压力，避免了计算标准压力时因边界条件限制导致的不确定度较大问题，有效的减小了真空计动态特性校准的不确定度。
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