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公开(公告)号：CN117213704A
公开(公告)日：2023-12-12
申请号：CN202311055430.9
申请日：2023-08-21
Applicant: 兰州空间技术物理研究所
Abstract: 本申请涉及真空测量技术领域，具体而言，涉及一种电容薄膜真空计传感器参考腔封装系统，包括高温烘烤罩、热电偶丝、复合真空计以及抽真空装置，其中：热电偶丝设置在高温烘烤罩的内壁上；待封装真空计设置在高温烘烤罩的内部；抽真空装置包括第一抽真空装置和第二抽真空装置；复合真空计包括第一复合真空计和第二复合真空计，第一复合真空计与高温烘烤罩连通；第二复合真空计与第二抽气管路连通；高温烘烤罩的外壁上还设置有放气阀。本申请能够同时实现电容薄膜真空计传感器参考腔内部吸气剂的加热激活以及参考腔的最终封装，降低了电容薄膜真空计制造成本，减少了不必要的工艺环节，提高了整体的生产效率。
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公开(公告)号：CN116818878A
公开(公告)日：2023-09-29
申请号：CN202310602024.3
申请日：2023-05-25
Applicant: 兰州空间技术物理研究所
IPC: G01N27/62
Abstract: 本发明公开了一种基于NEG泵的宽动态范围质谱测量装置及方法。本发明利用非蒸散性吸气剂泵(NEG泵)的选择性抽气特性和限流阀的可调节分子流导特性，结合混合气体测量时先吸附后激活脱附的手段，将质谱计测量混合气体的动态范围特性至少提升1个数量级以上，进而提升质谱计测量混合气体的灵敏度，实现混合气体质谱精准定性、定量分析与测量。
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公开(公告)号：CN116659741A
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN202310635946.4
申请日：2023-05-31
Applicant: 兰州空间技术物理研究所
Abstract: 本申请涉及真空测量技术领域，具体而言，涉及一种复合型电容薄膜真空计，本申请提供了一种复合型电容薄膜真空计，包括真空计机架和真空计模块，其中：真空计机架的整体为立方体结构，内部为空腔结构；真空计机架的底面上设置有进气口，其他5个面上均设置有真空计模块；真空计模块为圆柱体结构，每个真空计模块的测量腔均与真空计机架内部的空腔连通。本申请总体积小，重量轻，在多个量程段均具有较高的测量精度，共用同一组电路系统，易于检测，成本低，实现了真空计的模块化设计，能够根据实际应用情况进行真空计模块个数与类型的选择。
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公开(公告)号：CN112599397B
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202011478875.4
申请日：2020-12-14
Applicant: 兰州空间技术物理研究所
Abstract: 本申请涉及真空电子学技术领域，具体而言，涉及一种储存式离子源，包括阴极、电子聚焦系统、电离室以及电子收集极，其中：电子聚焦系统设置在阴极的上方，阴极产生的电子通过电子聚焦系统形成电子束流；电离室设置在电子聚焦系统与电子收集极之间，电离室的两侧设置有栅网，电离室与栅网之间形成均匀电场；电子束流通过均匀电场电离后，被电子收集极接收。本申请利用电子的空间电荷效应囚禁储存离子，使得离子的初始状态具有良好一致性，在引出离子源时，离子束的稳定性和均匀性得到很大提升。
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公开(公告)号：CN114509490A
公开(公告)日：2022-05-17
申请号：CN202111594705.7
申请日：2021-12-24
Applicant: 兰州空间技术物理研究所
IPC: G01N27/62
Abstract: 本发明公开了一种基于谱图迭代解析的超高/极高真空系统质谱测量方法。本发明对质谱直接测量结果进行二次数据分析处理，利用谱图的迭代解析对质谱原始测量数据进行整合处理，提取淹没在噪声中的有用微小信号，实现质谱图精准定性、定量分析，可大幅提升质谱分析仪器的动态范围特性，实现混合气体极小真空分压力痕量气体组分的定性、定量精确分析测量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113053721A
公开(公告)日：2021-06-29
申请号：CN201911373193.4
申请日：2019-12-27
Applicant: 兰州空间技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种小型飞行时间质谱计。本发明包括真空腔、离子源、离子传输系统、加速区、无场飞行区、反射区和离子检测器；其中，加速区和反射区分别位于无场飞行区的两侧；无场飞行区的电场为0，反射区的电场方向与加速区的电场方向相反；离子检测器与加速区位于无场飞行区的同一侧。本发明采用垂直引入反射式结构，极大减小了离子的空间分散和能量分散，提高了仪器的分辨率，同时未采用四极杆结构对离子在传输过程中进行调制，这大大减小了质谱计的质量、体积和功耗。
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公开(公告)号：CN112599397A
公开(公告)日：2021-04-02
申请号：CN202011478875.4
申请日：2020-12-14
Applicant: 兰州空间技术物理研究所
Abstract: 本申请涉及真空电子学技术领域，具体而言，涉及一种储存式离子源，包括阴极、电子聚焦系统、电离室以及电子收集极，其中：电子聚焦系统设置在阴极的上方，阴极产生的电子通过电子聚焦系统形成电子束流；电离室设置在电子聚焦系统与电子收集极之间，电离室的两侧设置有栅网，电离室与栅网之间形成均匀电场；电子束流通过均匀电场电离后，被电子收集极接收。本申请利用电子的空间电荷效应囚禁储存离子，使得离子的初始状态具有良好一致性，在引出离子源时，离子束的稳定性和均匀性得到很大提升。
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公开(公告)号：CN111146049A
公开(公告)日：2020-05-12
申请号：CN201911360686.4
申请日：2019-12-25
Applicant: 兰州空间技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种碳纳米管场发射阴极的小型离子源，包括碳纳米管阴极、电离室、准直磁铁、推斥电极、聚焦电极、离子出口电极和物缝电极；碳纳米管阴极产生的电子进入电离室，并在准直磁铁产生的磁场作用下电离中性气体，电离得到的离子束依次在推斥电极、电离室、聚焦电极、离子出口电极和物缝电极所加载电压产生的静电场的作用下，加速、聚焦于物缝电极的圆孔处；本发明能够在真空环境下具备较高的电子利用率和离子传输效率，进而提高离子源灵敏度。
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公开(公告)号：CN117309223A
公开(公告)日：2023-12-29
申请号：CN202311218624.6
申请日：2023-09-20
Applicant: 兰州空间技术物理研究所
Abstract: 本申请涉及一种防爆型电容压力传感器，包括：进气管、端盖、防爆壳、电容压力传感器、连接线缆、插头、电路板，其中：所述进气管安装在所述电容压力传感器上；所述电容压力传感器通过所述进气管与所述端盖进行固定；所述端盖与所述防爆壳连接；所述电容压力传感器、所述电路板、所述连接线缆均放置于所述防爆壳内部；所述连接线缆与所述插头连接，所述插头固定在所述防爆壳后端。本申请所述的一种防爆型电容压力传感器，使得传感器测量电路以及接线端全部置于防爆壳体内，与外部气体环境进行了有效隔离，显著提升了电容薄膜真空计在具有爆炸性混合物及爆炸性气体环境中的使用安全性。
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公开(公告)号：CN115808272A
公开(公告)日：2023-03-17
申请号：CN202211533826.5
申请日：2022-12-01
Applicant: 兰州空间技术物理研究所
IPC: G01M3/20
Abstract: 本申请涉及测量仪器检漏技术领域，具体而言，涉及一种用于电容薄膜真空计零部件的快速检漏装置及方法，所述装置包括伺服机构、密封夹具、氦质谱检漏仪以及标准漏孔，其中：密封夹具设置多个，每个密封夹具内部设置一种电容薄膜真空计的零部件；每个密封夹具的一端通过电磁阀与伺服机构连接，另一端通过电磁阀和波纹管与氦质谱检漏仪连接；标准漏孔通过第一手动截止阀与氦质谱检漏仪连接。本申请伺服机构按照智能化设计，各部件具有自适应功能，各设定参数均通过多次试验获得，可靠性较高，通过伺服机构的操控实现密封夹具对零部件的锁紧和密封，避免了密封不严和漏气现象，避免了检漏过程中人工安装检漏工装的返工现象，极大地提高了检漏效率。
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