本申请涉及真空测量技术领域，具体而言，涉及一种复合型电容薄膜真空计，本申请提供了一种复合型电容薄膜真空计，包括真空计机架和真空计模块，其中：真空计机架的整体为立方体结构，内部为空腔结构；真空计机架的底面上设置有进气口，其他5个面上均设置有真空计模块；真空计模块为圆柱体结构，每个真空计模块的测量腔均与真空计机架内部的空腔连通。本申请总体积小，重量轻，在多个量程段均具有较高的测量精度，共用同一组电路系统，易于检测，成本低，实现了真空计的模块化设计，能够根据实际应用情况进行真空计模块个数与类型的选择。