一种减小感压膜片表面污染的电容压力传感器
Abstract:
本发明涉及一种减小感压膜片表面污染的电容压力传感器,该电容压力传感器包括螺旋柱体;螺旋柱体可拆卸地安装于测量腔进气口内;在测量腔进气口与螺旋柱体之间形成螺旋进气通道。上述电容压力传感器通过在测量腔进气口内设置螺旋柱体,被测量气体沿螺旋柱体旋转后进入测量腔体后再与感压膜片接触,使得被测量气体首先通过螺旋柱体,并与其表面发生接触和颗粒附着并凝结在其表面,因此减小了传统电容压力传感器在测量有可凝结挥发物气体时其污染物大量凝结于感压膜片表面的缺点,显著提升了电容压力传感器的测量及计量特性,延长了使用寿命。
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