公开(公告)号：CN110615732B

公开(公告)日：2023-08-08

申请号：CN201910539258.1

申请日：2019-06-20

申请人： 信越化学工业株式会社 ,  国际商业机器公司

发明人： 橘诚一郎 ,  渡边武 ,  新井田惠介 ,  长井洋子 ,  泽村昂志 ,  荻原勤 ,  亚历山大·爱德华·赫斯 ,  格雷戈里·布雷塔 ,  丹尼尔·保罗·桑德斯 ,  鲁迪·J·沃伊泰茨基

IPC分类号： C07C43/21 ,  C07C41/30 ,  C07C41/16 ,  C07C49/84 ,  C07C45/64 ,  C07C43/23 ,  C07D213/80 ,  C07D221/16 ,  G03F7/004

摘要： 本发明提供一种化合物，其能够形成不仅在空气中、而且在惰性气体中的成膜条件下也固化而不产生副产物，耐热性及形成在基板上的图案的嵌入或平坦化特性优异，且基板加工时的干法蚀刻耐性也良好的有机下层膜。该化合物为下述通式(1‑1)所示的化合物。[化学式1]式中，AR1、AR2表示芳香环或含有氮原子、硫原子中的1个以上的芳香环，2个AR1、AR1与AR2、2个AR2可连接；AR3为苯环、萘环、噻吩环、吡啶环或二嗪环；A为有机基团，B为阴离子性离去基团，Y为2价有机基团，p为1或2，q为1或2，r为0或1，s为2～4；s＝2时，Z为单键、2价原子或2价有机基团，s＝3或4时，Z为3价或4价的原子或有机基团。

公开(公告)号：CN110615732A

公开(公告)日：2019-12-27

申请号：CN201910539258.1

申请日：2019-06-20

申请人： 信越化学工业株式会社 ,  国际商业机器公司

发明人： 橘诚一郎 ,  渡边武 ,  新井田惠介 ,  长井洋子 ,  泽村昂志 ,  荻原勤 ,  亚历山大·爱德华·赫斯 ,  格雷戈里·布雷塔 ,  丹尼尔·保罗·桑德斯 ,  鲁迪·J·沃伊泰茨基

IPC分类号： C07C43/21 ,  C07C41/30 ,  C07C41/16 ,  C07C49/84 ,  C07C45/64 ,  C07C43/23 ,  C07D213/80 ,  C07D221/16 ,  G03F7/004

摘要： 本发明提供一种化合物，其能够形成不仅在空气中、而且在惰性气体中的成膜条件下也固化而不产生副产物，耐热性及形成在基板上的图案的嵌入或平坦化特性优异，且基板加工时的干法蚀刻耐性也良好的有机下层膜。该化合物为下述通式(1-1)所示的化合物。[化学式1]式中，AR1、AR2表示芳香环或含有氮原子、硫原子中的1个以上的芳香环，2个AR1、AR1与AR2、2个AR2可连接；AR3为苯环、萘环、噻吩环、吡啶环或二嗪环；A为有机基团，B为阴离子性离去基团，Y为2价有机基团，p为1或2，q为1或2，r为0或1，s为2～4；s＝2时，Z为单键、2价原子或2价有机基团，s＝3或4时，Z为3价或4价的原子或有机基团。

公开(公告)号：CN110627600B

公开(公告)日：2022-07-01

申请号：CN201910539260.9

申请日：2019-06-20

申请人： 信越化学工业株式会社 ,  国际商业机器公司

发明人： 橘诚一郎 ,  渡边武 ,  新井田惠介 ,  长井洋子 ,  泽村昂志 ,  荻原勤 ,  亚历山大·爱德华·赫斯 ,  格雷戈里·布雷塔 ,  丹尼尔·保罗·桑德斯 ,  鲁迪·J·沃伊泰茨基

IPC分类号： C07C1/26 ,  C07C13/567 ,  C07C15/02 ,  C07C13/62 ,  C07C13/66 ,  C07D221/16 ,  C07D519/00 ,  C07C15/50 ,  C07C41/30 ,  C07C43/21 ,  C07C43/285 ,  C07D307/91 ,  C07D209/86 ,  C07D333/08 ,  C07D311/82 ,  C07D335/12 ,  C07C209/68 ,  C07C211/55 ,  C07C29/32 ,  C07C35/38 ,  C07C37/16 ,  C07C39/225 ,  G03F7/004

摘要： 本发明提供化合物、该化合物的制备方法及使用了该化合物的有机膜形成用组合物，该化合物能够形成不仅在空气中、而且在惰性气体中的成膜条件下也固化而不产生副产物，耐热性及形成于基板的图案的嵌入或平坦化特性优异，且基板加工时的干法蚀刻耐性也良好的有机下层膜。该化合物在分子内具有2个以上下述通式(1‑1)所示的结构。式中，Ar表示可具有取代基的芳香环或含有氮原子及硫原子中的1个以上的芳香环，2个Ar可彼此连接而形成环结构；虚线为与Y的结合键，Y为具备可具有取代基的芳香环或杂芳香环、且结合键位于芳香环结构或杂芳香环结构的碳原子数为6～30个的2价或3价有机基团；R为氢原子或碳原子数为1～68的1价基团。

公开(公告)号：CN110627600A

公开(公告)日：2019-12-31

申请号：CN201910539260.9

申请日：2019-06-20

申请人： 信越化学工业株式会社 ,  国际商业机器公司

发明人： 橘诚一郎 ,  渡边武 ,  新井田惠介 ,  长井洋子 ,  泽村昂志 ,  荻原勤 ,  亚历山大·爱德华·赫斯 ,  格雷戈里·布雷塔 ,  丹尼尔·保罗·桑德斯 ,  鲁迪·J·沃伊泰茨基

IPC分类号： C07C1/26 ,  C07C13/567 ,  C07C15/02 ,  C07C13/62 ,  C07C13/66 ,  C07D221/16 ,  C07D519/00 ,  C07C15/50 ,  C07C41/30 ,  C07C43/21 ,  C07C43/285 ,  C07D307/91 ,  C07D209/86 ,  C07D333/08 ,  C07D311/82 ,  C07D335/12 ,  C07C209/68 ,  C07C211/55 ,  C07C29/32 ,  C07C35/38 ,  C07C37/16 ,  C07C39/225 ,  G03F7/004

摘要： 本发明提供化合物、该化合物的制备方法及使用了该化合物的有机膜形成用组合物，该化合物能够形成不仅在空气中、而且在惰性气体中的成膜条件下也固化而不产生副产物，耐热性及形成于基板的图案的嵌入或平坦化特性优异，且基板加工时的干法蚀刻耐性也良好的有机下层膜。该化合物在分子内具有2个以上下述通式(1-1)所示的结构。 式中，Ar表示可具有取代基的芳香环或含有氮原子及硫原子中的1个以上的芳香环，2个Ar可彼此连接而形成环结构；虚线为与Y的结合键，Y为具备可具有取代基的芳香环或杂芳香环、且结合键位于芳香环结构或杂芳香环结构的碳原子数为6～30个的2价或3价有机基团；R为氢原子或碳原子数为1～68的1价基团。