化合物、化合物的制备方法及有机膜形成用组合物
摘要:
本发明提供化合物、该化合物的制备方法及使用了该化合物的有机膜形成用组合物,该化合物能够形成不仅在空气中、而且在惰性气体中的成膜条件下也固化而不产生副产物,耐热性及形成于基板的图案的嵌入或平坦化特性优异,且基板加工时的干法蚀刻耐性也良好的有机下层膜。该化合物在分子内具有2个以上下述通式(1-1)所示的结构。 式中,Ar表示可具有取代基的芳香环或含有氮原子及硫原子中的1个以上的芳香环,2个Ar可彼此连接而形成环结构;虚线为与Y的结合键,Y为具备可具有取代基的芳香环或杂芳香环、且结合键位于芳香环结构或杂芳香环结构的碳原子数为6~30个的2价或3价有机基团;R为氢原子或碳原子数为1~68的1价基团。
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