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公开(公告)号：CN109422672A
公开(公告)日：2019-03-05
申请号：CN201810970031.8
申请日：2018-08-24
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C07C381/12 , C07D333/76 , C08F220/18 , C08F220/32 , G03F7/20 , G03F7/004
Abstract: 本发明为锍化合物、抗蚀剂组合物和图案化方法。包含特定结构的锍化合物作为PAG的抗蚀剂组合物具有优异的光刻性能因素，如最小的缺陷、高感光度、改善的LWR和CDU，并且是用于精确微图案化的相当有效的抗蚀剂材料。
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公开(公告)号：CN111662249B
公开(公告)日：2023-04-18
申请号：CN202010147905.7
申请日：2020-03-05
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C07D303/40 , G03F7/004 , G03F7/038 , G03F7/039
Abstract: 本发明涉及环氧化合物、抗蚀剂组合物、及图案形成方法。本发明的课题为提供无损感度而能适当地控制产生自产酸剂的酸的扩散长度的抗蚀剂组合物、及使用了该抗蚀剂组合物的图案。该课题的解决方法为以下式(1)表示的环氧化合物、及含有该环氧化合物的抗蚀剂组合物。式中，X1及X2分别独立地为‑CH2‑或‑O‑。kA为0或1。R1及R2分别独立地为碳数4～20的叔烃基、或选自于下式中的基团。式中，虚线为价键。
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公开(公告)号：CN109422672B
公开(公告)日：2021-08-20
申请号：CN201810970031.8
申请日：2018-08-24
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C07C381/12 , C07D333/76 , C08F220/18 , C08F220/32 , G03F7/20 , G03F7/004
Abstract: 本发明为锍化合物、抗蚀剂组合物和图案化方法。包含特定结构的锍化合物作为PAG的抗蚀剂组合物具有优异的光刻性能因素，如最小的缺陷、高感光度、改善的LWR和CDU，并且是用于精确微图案化的相当有效的抗蚀剂材料。
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公开(公告)号：CN109324478A
公开(公告)日：2019-02-12
申请号：CN201810854838.5
申请日：2018-07-31
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明涉及抗蚀剂组合物和图案形成方法。包含经由连接基键合至聚合物骨架的具有在侧链端的高度稠合的高金刚烷骨架的单元的聚合物具有适当的溶剂溶解度并且能够抑制酸扩散。包含所述聚合物和特定的光致产酸剂的抗蚀剂组合物显示出良好的DOF边限、CD均匀性和在PPD期间最小的CD改变，并且在精确微图案化方面相当有效。
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公开(公告)号：CN109324478B
公开(公告)日：2022-10-25
申请号：CN201810854838.5
申请日：2018-07-31
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明涉及抗蚀剂组合物和图案形成方法。包含经由连接基键合至聚合物骨架的具有在侧链端的高度稠合的高金刚烷骨架的单元的聚合物具有适当的溶剂溶解度并且能够抑制酸扩散。包含所述聚合物和特定的光致产酸剂的抗蚀剂组合物显示出良好的DOF边限、CD均匀性和在PPD期间最小的CD改变，并且在精确微图案化方面相当有效。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107793337B
公开(公告)日：2020-09-08
申请号：CN201710771096.5
申请日：2017-08-31
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C07C381/12 , C07D327/08 , C07D333/76 , C07D339/08 , G03F7/004
Abstract: 本发明涉及锍化合物、抗蚀剂组合物和图案化方法。对于改善对比度有效的、含有酸消除性取代基的锍盐，其高度可溶，可均匀分散。包含锍盐作为光致产酸剂的抗蚀剂组合物形成具有高的分辨率、矩形性和降低的LWR的图案。
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公开(公告)号：CN107365266B
公开(公告)日：2019-06-11
申请号：CN201710327721.7
申请日：2017-05-11
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C07C381/12 , G03F7/004
Abstract: 本发明为新型锍化合物及其制造方法、抗蚀剂组合物、以及图案形成方法。提供在远紫外线光刻和EUV光刻中给予析像性、LWR、MEF和CDU优异的抗蚀剂膜的抗蚀剂组合物、其中使用的锍化合物、和使用了该抗蚀剂组合物的图案形成方法。由下述式(1)表示的锍化合物。(式中，R1、R2和R3各自独立地表示可含有杂原子的碳数1～20的直链状、分支状或环状的1价烃基。p和q各自独立地表示0～5的整数。r表示0～4的整数。)。
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公开(公告)号：CN107870519A
公开(公告)日：2018-04-03
申请号：CN201710888351.4
申请日：2017-09-27
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: G03F7/0045 , C07C309/12 , C07C323/37 , C07C381/12 , C07C2603/74 , C07D333/20 , C07D409/10 , C07J31/006 , G03F7/0397 , G03F7/16 , G03F7/2004 , G03F7/2006 , G03F7/2041 , G03F7/322 , G03F7/325 , G03F7/38 , G03F7/40 , H01L21/0274 , G03F7/039 , G03F7/004 , G03F7/038 , G03F7/70341
Abstract: 本发明为锍盐、抗蚀剂组合物和图案化方法。在使用特定结构的锍盐作为PAG时，抑制了酸扩散。在通过光刻法加工时，包括所述锍盐的抗蚀剂组合物形成具有改进的光刻性质(包括EL、MEF和LWR)的图案。
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公开(公告)号：CN107793337A
公开(公告)日：2018-03-13
申请号：CN201710771096.5
申请日：2017-08-31
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C07C381/12 , C07D327/08 , C07D333/76 , C07D339/08 , G03F7/004
Abstract: 本发明涉及锍化合物、抗蚀剂组合物和图案化方法。对于改善对比度有效的、含有酸消除性取代基的锍盐，其高度可溶，可均匀分散。包含锍盐作为光致产酸剂的抗蚀剂组合物形成具有高的分辨率、矩形性和降低的LWR的图案。
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公开(公告)号：CN111662249A
公开(公告)日：2020-09-15
申请号：CN202010147905.7
申请日：2020-03-05
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C07D303/40 , G03F7/004 , G03F7/038 , G03F7/039
Abstract: 本发明涉及环氧化合物、抗蚀剂组合物、及图案形成方法。本发明的课题为提供无损感度而能适当地控制产生自产酸剂的酸的扩散长度的抗蚀剂组合物、及使用了该抗蚀剂组合物的图案。该课题的解决方法为以下式(1)表示的环氧化合物、及含有该环氧化合物的抗蚀剂组合物。式中，X1及X2分别独立地为-CH2-或-O-。kA为0或1。R1及R2分别独立地为碳数4～20的叔烃基、或选自于下式中的基团。式中，虚线为价键。
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