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公开(公告)号：CN1248556C
公开(公告)日：2006-03-29
申请号：CN03133092.4
申请日：2003-07-25
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: H01J9/027 , G03F7/0047 , G03F7/405 , H05K3/02 , H05K3/105 , H05K2203/0514 , H05K2203/121
Abstract: 提供一种电极和布线材料吸收用底层图形形成材料、电极和布线形成方法和图像形成装置的制造方法。用电极和布线材料吸收用底层图形形成材料形成底层图形，在该底层图形上吸收有机金属化合物后进行烧制，形成电极和布线。上述电极和布线材料吸收用底层图形形成材料是含有水溶性感光性树脂成分和包含铑、铋、钌、钒、铬、锡、铅或硅的水溶性金属化合物的水溶液，上述水溶性金属化合物对上述水溶性感光性树脂成分的比率为1.0～20重量%。由此可以容易地形成密合性好的微细的电极和布线图形，且在用于图像形成装置的制造方法时提高该工艺的稳定性。
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公开(公告)号：CN100426465C
公开(公告)日：2008-10-15
申请号：CN200510093982.4
申请日：2005-09-01
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/28 , H01L21/768 , H01L21/3205 , H01J9/02
CPC classification number: H01J9/027 , G03F7/0047 , G03F7/405 , H01J2201/3165 , H05K3/105 , H05K2203/1105 , H05K2203/121
Abstract: 提供一种膜图形的制造方法及其应用。在该膜图形的制造方法中，具有在基板表面上形成树脂膜的工序；使上述树脂膜包含导电性膜或半导电性膜的构成成分的工序；在上述树脂膜上照射紫外线的工序；以及将上述树脂膜加热到该树脂的分解温度以上的温度，形成导电性膜或半导电性膜的工序。由此，难于产生树脂的分解残渣而使制造的膜图形的精度及质量得到提高。
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公开(公告)号：CN1763919A
公开(公告)日：2006-04-26
申请号：CN200510093982.4
申请日：2005-09-01
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/28 , H01L21/768 , H01L21/3205 , H01J9/02
CPC classification number: H01J9/027 , G03F7/0047 , G03F7/405 , H01J2201/3165 , H05K3/105 , H05K2203/1105 , H05K2203/121
Abstract: 提供一种膜图形的制造方法及其应用。在该膜图形的制造方法中，具有在基板表面上形成树脂膜的工序；使上述树脂膜包含导电性膜或半导电性膜的构成成分的工序；在上述树脂膜上照射紫外线的工序；以及将上述树脂膜加热到该树脂的分解温度以上的温度，形成导电性膜或半导电性膜的工序。由此，难于产生树脂的分解残渣而使制造的膜图形的精度及质量得到提高。
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公开(公告)号：CN1487781A
公开(公告)日：2004-04-07
申请号：CN03133092.4
申请日：2003-07-25
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: H01J9/027 , G03F7/0047 , G03F7/405 , H05K3/02 , H05K3/105 , H05K2203/0514 , H05K2203/121
Abstract: 提供一种电极和布线材料吸收用底层图形形成材料、电极和布线形成方法和图像形成装置的制造方法。用电极和布线材料吸收用底层图形形成材料形成底层图形，在该底层图形上吸收有机金属化合物后进行烧制，形成电极和布线。上述电极和布线材料吸收用底层图形形成材料是含有水溶性感光性树脂成分和含包含铑、铋、钌、钒、铬、锡、铅或硅的水溶性金属化合物的水溶液。由此可以容易地形成密合性好的微细的电极和布线图形，且在用于图像形成装置的制造方法时提高该工艺的稳定性。
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