成膜装置及成膜方法
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1453391A

    公开(公告)日:2003-11-05

    申请号:CN03122058.4

    申请日:2003-04-24

    IPC分类号: C23C14/30

    摘要: 提供一种超微粒子膜制造装置及使用超微粒子的膜形成方法,使用电弧加热来形成超微粒子,无论是否施加电弧电压都可以将生成的超微粒子高效率地吸入到运送管中,获得稳定的膜。通过电弧加热进行蒸发,将构成超微粒子的蒸发材料(8)连接设置在一个电极上,同时作为另一个电极在前端区域设置多个带有放电部的棒(17),配置各棒(17),使得对蒸发材料(8)的方向分别朝向不同的方向。

    光学元件和光学设备
    8.
    发明授权

    公开(公告)号:CN108931828B

    公开(公告)日:2020-11-13

    申请号:CN201810511010.X

    申请日:2018-05-25

    IPC分类号: G02B3/00

    摘要: 本发明涉及一种光学元件,其包括光学有效面和非光学有效面,在非光学有效面上形成有遮光涂膜。非光学有效面包括倒圆角的凹形阶梯拐角段,遮光涂膜形成在整个凹形阶梯拐角段上,遮光涂膜具有凸起区域,该凸起区域靠近使得所述凹形阶梯拐角段的一个平面连接至倒圆角的位置。因此,抑制了阶梯形状的非光学有效面的膜破裂,并且提供了一种可靠的光学元件。本发明还涉及一种光学设备以及一种用于制造光学元件的方法。

    光学元件和光学设备
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108931828A

    公开(公告)日:2018-12-04

    申请号:CN201810511010.X

    申请日:2018-05-25

    IPC分类号: G02B3/00

    摘要: 本发明涉及一种光学元件,其包括光学有效面和非光学有效面,在非光学有效面上形成有遮光涂膜。非光学有效面包括倒圆角的凹形阶梯拐角段,遮光涂膜形成在整个凹形阶梯拐角段上,遮光涂膜具有凸起区域,该凸起区域靠近使得所述凹形阶梯拐角段的一个平面连接至倒圆角的位置。因此,抑制了阶梯形状的非光学有效面的膜破裂,并且提供了一种可靠的光学元件。本发明还涉及一种光学设备以及一种用于制造光学元件的方法。