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公开(公告)号：CN101336466B
公开(公告)日：2011-04-13
申请号：CN200680051827.9
申请日：2006-12-19
Applicant: 佛姆法克特股份有限公司
IPC: H01L21/20
CPC classification number: B81C1/0046 , B33Y10/00 , B81B2201/014 , B81B2203/0118 , B81C2201/0184 , B81C2201/0197 , C23C18/1608 , C23C18/1844 , C25D1/003 , C25D1/12 , C25D5/02 , G01R1/06755 , G01R3/00 , H01L21/288 , H01L21/76873 , H01L2924/0001 , H01L2924/0002 , H01L2924/01005 , H01L2924/01013 , H01L2924/01015 , H01L2924/01033 , H01L2924/01055 , H01L2924/01074 , H01L2924/01078 , H01L2924/01082 , H01L2924/1461 , H05K3/1275 , H01L2224/13099 , H01L2924/00
Abstract: 揭示了按照三维阵列沉积多个微滴的系统和方法。该阵列可以包括：第一类微滴，设置它们是为了形成支撑结构；以及第二类微滴，用于在支撑结构上形成导电晶种层。结构材料可以被电沉积到晶种层上以产生三维结构。
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公开(公告)号：CN101652668A
公开(公告)日：2010-02-17
申请号：CN200780048715.2
申请日：2007-12-08
Applicant: 佛姆法克特股份有限公司
CPC classification number: G01R1/07378
Abstract: 在本文中提供了一种与测试装置一起使用的加强组件。在某些实施例中，一种与测试设备一起使用的加强装置包括：内构件；与内构件主要成间隔开的关系设置的外构件；以及用于使内构件和外构件相对于彼此定向的多个对准机构，其中对准机构将施加到内构件的下表面的力传递给外构件，并在内外构件之间提供主要的导热通道。
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公开(公告)号：CN101569060A
公开(公告)日：2009-10-28
申请号：CN200780048252.X
申请日：2007-12-06
Applicant: 佛姆法克特股份有限公司
Inventor： E·D·霍博斯
IPC: H01R13/02
CPC classification number: G01R1/06716 , G01R1/06733 , Y10T29/49128
Abstract: 本文提供旋转接触元件及其制造方法。在一个实施例中，一种旋转接触元件包括：针尖，其具有被配置成接触要测试器件的第一面和相反的第二面；以及多个变形的构件，其从针尖的第二面延伸且围绕其中心轴排列，其中针尖在多个变形的构件被压缩时基本围绕该中心轴旋转。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101517423A
公开(公告)日：2009-08-26
申请号：CN200780035959.7
申请日：2007-09-27
Applicant: 佛姆法克特股份有限公司
IPC: G01R31/02
CPC classification number: G01R1/07364
Abstract: 此处提供用于间接平面化衬底的方法和装置。在一个实施例中，用于间接平面化探针卡组件的装置包括：用于控制施加到探针卡组件的探针衬底的力的调整部分；被配置为在与调整部分横向地偏移的位置上向探针衬底施加力的施力部分；以及将调整部分耦合到施力部分的机构。
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公开(公告)号：CN101501513A
公开(公告)日：2009-08-05
申请号：CN200780029051.5
申请日：2007-08-01
Applicant: 佛姆法克特股份有限公司
IPC: G01R31/02
Abstract: 一种探针板组件，该组件包括支承结构，多个探针可直接地或间接地附连到支承结构。探针可设置成接触要被测试的电子器件。探针板组件还可包括致动器，这些致动器可构造成有选择地改变支承结构相对于基准结构的姿势。探针板组件还可包括多个可锁定的顺从结构。在未锁定时，可锁定的顺从结构可允许支承结构相对于基准结构运动。然而在锁定时，顺从结构可对支承结构相对于基准结构的运动提供机械抗力。
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公开(公告)号：CN101506671A
公开(公告)日：2009-08-12
申请号：CN200680050610.6
申请日：2006-12-04
Applicant: 佛姆法克特股份有限公司
IPC: G01R31/02
CPC classification number: G01R31/2891 , G01R31/31905
Abstract: 可以相对于探针卡组件的元件调节探针卡组件的探针，该元件可以是探针卡组件的这样一个元件，它能够使探针卡组件更容易地安装到测试装置上。然后，探针卡组件可以被安装在测试装置中，并且可以相对于测试装置(比如测试装置的结构部分或连接到测试装置的结构元件)来调节探针卡组件的取向。
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公开(公告)号：CN101336466A
公开(公告)日：2008-12-31
申请号：CN200680051827.9
申请日：2006-12-19
Applicant: 佛姆法克特股份有限公司
IPC: H01L21/20
CPC classification number: B81C1/0046 , B33Y10/00 , B81B2201/014 , B81B2203/0118 , B81C2201/0184 , B81C2201/0197 , C23C18/1608 , C23C18/1844 , C25D1/003 , C25D1/12 , C25D5/02 , G01R1/06755 , G01R3/00 , H01L21/288 , H01L21/76873 , H01L2924/0001 , H01L2924/0002 , H01L2924/01005 , H01L2924/01013 , H01L2924/01015 , H01L2924/01033 , H01L2924/01055 , H01L2924/01074 , H01L2924/01078 , H01L2924/01082 , H01L2924/1461 , H05K3/1275 , H01L2224/13099 , H01L2924/00
Abstract: 揭示了按照三维阵列沉积多个微滴的系统和方法。该阵列可以包括：第一类微滴，设置它们是为了形成支撑结构；以及第二类微滴，用于在支撑结构上形成导电晶种层。结构材料可以被电沉积到晶种层上以产生三维结构。
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公开(公告)号：CN101203767A
公开(公告)日：2008-06-18
申请号：CN200680022671.1
申请日：2006-06-21
Applicant: 佛姆法克特股份有限公司
IPC: G01R31/02
CPC classification number: G01R31/2886 , G01R1/073 , G01R31/31905 , Y10T29/49128 , Y10T29/4913 , Y10T29/49133 , Y10T29/49147 , Y10T29/49208 , Y10T29/49222
Abstract: 一种探针卡组件包括多个连接着安装组件的探针基片。各个探针基片包括一组探针，并且探针基片上的多个探针组一起构成探针阵列，用于连接着被测器件。调整机构构成对各个探针基片施加力，从而相对于安装组件单独移动各个基片。调整机构可以在“x”、“y”和/或“z”方向上平移各个探针基片，并且还可以围绕着上述方向中的任一或者多个方向旋转各个探针基片。调整机构还可以改变一个或者多个探针基片的形状。于是，探针可以相对于被测器件上的触点来对准和/或平整化。
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