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公开(公告)号：CN101501513A
公开(公告)日：2009-08-05
申请号：CN200780029051.5
申请日：2007-08-01
Applicant: 佛姆法克特股份有限公司
IPC: G01R31/02
Abstract: 一种探针板组件，该组件包括支承结构，多个探针可直接地或间接地附连到支承结构。探针可设置成接触要被测试的电子器件。探针板组件还可包括致动器，这些致动器可构造成有选择地改变支承结构相对于基准结构的姿势。探针板组件还可包括多个可锁定的顺从结构。在未锁定时，可锁定的顺从结构可允许支承结构相对于基准结构运动。然而在锁定时，顺从结构可对支承结构相对于基准结构的运动提供机械抗力。
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