公开(公告)号：CN102378789A

公开(公告)日：2012-03-14

申请号：CN201080014562.1

申请日：2010-04-01

Applicant: 住友化学株式会社 ,  独立行政法人产业技术综合研究所

Inventor： 山崎和广 ,  和气孝雄 ,  栗原一真 ,  中野隆志 ,  斎藤裕二 ,  中川由纪 ,  相马纪人

IPC: C08L33/06 ,  B29C45/37 ,  C08K5/00

CPC classification number: B29C45/0001 ,  B29C45/372 ,  B29C45/73 ,  B29K2995/0072 ,  B29K2995/0074 ,  C08K5/04 ,  C08K5/05 ,  C08K5/103 ,  C08K5/20 ,  C08K2201/014 ,  C08L33/12

Abstract: 提供一种用于采用在表面上具有多个纳米尺度凹凸结构的金属模具进行模塑的甲基丙烯酸树脂组合物。该甲基丙烯酸树脂组合物包括：在230℃，3.8kg的载荷下MFR为0.1至50的甲基丙烯酸树脂(A)；和至少一种选自高级脂肪酸酯、高级脂族醇、高级脂肪酸、高级脂肪酸酰胺和高级脂肪酸金属盐的组分(B)，其中组分(B)的含量为0.2至0.5重量份，相对于100重量份甲基丙烯酸树脂(A)。

公开(公告)号：CN101762978A

公开(公告)日：2010-06-30

申请号：CN200910252535.7

申请日：2009-12-23

Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所 ,  日东电工株式会社

Inventor： 栗原一真 ,  中野隆志 ,  岛隆之 ,  富永淳二 ,  藤冈和也 ,  末广一郎

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/09 ,  G03F7/00

CPC classification number: G03F7/0002 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G02B3/0012 ,  Y10T428/24479

Abstract: 一种含有金属氮氧化物而成的抗蚀剂。本发明的抗蚀剂能够适合用于制备例如微透镜片材、光扩散片、无反射片、光半导体元件密封用片材、光波导、光盘、光传感器等的光学部件的表面加工用的成形模具。

公开(公告)号：CN101025576B

公开(公告)日：2012-02-08

申请号：CN200710079526.3

申请日：2007-02-16

Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所 ,  日本帕路斯科技株式会社

Inventor： 栗原一真 ,  中野隆志 ,  山川侑三 ,  富永淳二 ,  南云收 ,  氏家雅彦 ,  池谷博文 ,  林孝之

IPC: G03F7/20 ,  B23K26/08 ,  B23K26/00

Abstract: 本发明涉及激光加工装置及激光加工方法，在加工对象物上制作具有预定的超细微图案的纳米构造物，并可以在短时间内进行纳米构造物的加工形状的评价。所述装置具有装载加工对象物并使其旋转的旋转机构和在加工对象物的径向上可直线移动的移动机构，由激光形成于加工对象物表面上的射束点在描绘轨迹的同时进行移动。通过调整该射束点的激光的光强度分布使制作于加工对象物上的超细微图案成为想要的形状。为了设定调整时的参数值，通过评价来自超细微图案的反射光来对制作的超细微图案进行评价。

公开(公告)号：CN101025576A

公开(公告)日：2007-08-29

申请号：CN200710079526.3

申请日：2007-02-16

Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所 ,  帕路斯科技株式会社

Inventor： 栗原一真 ,  中野隆志 ,  山川侑三 ,  富永淳二 ,  南云收 ,  氏家雅彦 ,  池谷博文 ,  林孝之

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  H01L21/00 ,  B23K26/00

Abstract: 本发明涉及激光加工装置及激光加工方法，在加工对象物上制作具有预定的超细微图案的纳米构造物，并可以在短时间内进行纳米构造物的加工形状的评价。所述装置具有装载加工对象物并使其旋转的旋转机构和在加工对象物的径向上可直线移动的移动机构，由激光形成于加工对象物表面上的射束点在描绘轨迹的同时进行移动。通过调整该射束点的激光的光强度分布使制作于加工对象物上的超细微图案成为想要的形状。为了设定调整时的参数值，通过评价来自超细微图案的反射光来对制作的超细微图案进行评价。