公开(公告)号：CN101025576A

公开(公告)日：2007-08-29

申请号：CN200710079526.3

申请日：2007-02-16

Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所 ,  帕路斯科技株式会社

Inventor： 栗原一真 ,  中野隆志 ,  山川侑三 ,  富永淳二 ,  南云收 ,  氏家雅彦 ,  池谷博文 ,  林孝之

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  H01L21/00 ,  B23K26/00

Abstract: 本发明涉及激光加工装置及激光加工方法，在加工对象物上制作具有预定的超细微图案的纳米构造物，并可以在短时间内进行纳米构造物的加工形状的评价。所述装置具有装载加工对象物并使其旋转的旋转机构和在加工对象物的径向上可直线移动的移动机构，由激光形成于加工对象物表面上的射束点在描绘轨迹的同时进行移动。通过调整该射束点的激光的光强度分布使制作于加工对象物上的超细微图案成为想要的形状。为了设定调整时的参数值，通过评价来自超细微图案的反射光来对制作的超细微图案进行评价。

公开(公告)号：CN101025576B

公开(公告)日：2012-02-08

申请号：CN200710079526.3

申请日：2007-02-16

Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所 ,  日本帕路斯科技株式会社

Inventor： 栗原一真 ,  中野隆志 ,  山川侑三 ,  富永淳二 ,  南云收 ,  氏家雅彦 ,  池谷博文 ,  林孝之

IPC: G03F7/20 ,  B23K26/08 ,  B23K26/00

Abstract: 本发明涉及激光加工装置及激光加工方法，在加工对象物上制作具有预定的超细微图案的纳米构造物，并可以在短时间内进行纳米构造物的加工形状的评价。所述装置具有装载加工对象物并使其旋转的旋转机构和在加工对象物的径向上可直线移动的移动机构，由激光形成于加工对象物表面上的射束点在描绘轨迹的同时进行移动。通过调整该射束点的激光的光强度分布使制作于加工对象物上的超细微图案成为想要的形状。为了设定调整时的参数值，通过评价来自超细微图案的反射光来对制作的超细微图案进行评价。