-
公开(公告)号：CN101891612A
公开(公告)日：2010-11-24
申请号：CN201010127644.9
申请日：2010-03-09
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: C07C69/54 , C07C69/767 , C07C69/78 , C07C69/653 , C07C67/14 , C08F220/30 , G03F7/039
CPC classification number: C07C69/00 , C07C69/78 , C07C2603/24 , C08F12/24 , C08F212/14 , C08F220/30 , G03F7/0045 , G03F7/0397 , C08F220/18 , C08F2220/185 , C08F2220/303
Abstract: 本发明公开化合物和化学放大型正性抗蚀剂组合物。本发明提供由式(I)表示的化合物；包含衍生自由式(I)表示的化合物的结构单元的聚合物；和，包含所述聚合物、至少一种酸生成剂和至少一种溶剂的化学放大型正性抗蚀剂组合物，在式(I)中，R1表示氢原子等，R2和R3各自独立地表示氢原子等，R4表示C1-C8二价烃基，R5表示单键等，并且R6表示未取代或取代的C6-C20芳族烃基。
-
公开(公告)号：CN101192006B
公开(公告)日：2012-09-05
申请号：CN200710194002.9
申请日：2007-11-26
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G03F7/039
CPC classification number: G03F7/0045 , G03F7/0392 , Y10S430/106
Abstract: 本发明提供一种化学放大型正性抗蚀剂组合物，其包含：(A)树脂和(B)酸生成剂，所述的树脂可以通过酚醛清漆树脂、聚(羟基苯乙烯)和具有至少两个乙烯基醚结构的化合物反应得到。
-
公开(公告)号：CN101308328A
公开(公告)日：2008-11-19
申请号：CN200810099591.7
申请日：2008-05-15
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G03F7/039
CPC classification number: G03F7/0397 , C08F8/12 , C08F8/14 , C08F12/22 , C08F212/14 , C08F212/32 , C08F220/18 , C08F2220/1891 , Y10S430/106 , Y10S430/111
Abstract: 一种化学放大型正性抗蚀剂组合物，其包含(A)树脂和(B)至少一种酸生成剂，其中(A)树脂包含：(i)由式(I)表示的聚合单元；(ii)由式(II)表示的聚合单元；和(iii)选自由式(III)表示的聚合单元和由式(IV)表示的聚合单元中的至少一种聚合单元。
-
公开(公告)号：CN101192006A
公开(公告)日：2008-06-04
申请号：CN200710194002.9
申请日：2007-11-26
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G03F7/039
CPC classification number: G03F7/0045 , G03F7/0392 , Y10S430/106
Abstract: 本发明提供一种化学放大型正性抗蚀剂组合物，其包含：(A)树脂和(B)酸生成剂，所述的树脂可以通过酚醛清漆树脂、聚(羟基苯乙烯)和具有至少两个乙烯基醚结构的化合物反应得到。
-
公开(公告)号：CN101308328B
公开(公告)日：2012-04-11
申请号：CN200810099591.7
申请日：2008-05-15
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G03F7/039
CPC classification number: G03F7/0397 , C08F8/12 , C08F8/14 , C08F12/22 , C08F212/14 , C08F212/32 , C08F220/18 , C08F2220/1891 , Y10S430/106 , Y10S430/111
Abstract: 一种化学放大型正性抗蚀剂组合物，其包含(A)树脂和(B)至少一种酸生成剂，其中(A)树脂包含：(i)由式(I)表示的聚合单元；(ii)由式(II)表示的聚合单元；和(iii)选自由式(III)表示的聚合单元和由式(IV)表示的聚合单元中的至少一种聚合单元。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101329511A
公开(公告)日：2008-12-24
申请号：CN200810128868.4
申请日：2008-06-20
Applicant: 住友化学株式会社
CPC classification number: G03F7/0397 , C07C69/00 , C07C2603/24 , C08F212/14 , C08F212/34 , C08F220/18 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , Y10S430/106
Abstract: 一种化学放大型正性抗蚀剂组合物，其包含(A)树脂和(B)至少一种酸生成剂，所述的(A)树脂包含：(i)由式(I)表示的聚合单元，其中R7表示氢原子等，R8表示C1－C4烷基，p表示1至3的整数，q表示0至2的整数；(ii)选自由式(II)表示的聚合单元和由式(IV)表示的聚合单元中的至少一种聚合单元，在式(II)中，R1表示氢原子等，R2表示C1－C8烷基，并且环X表示脂环烃基，在式(IV)中，R3表示氢原子等，R4和R5独立地表示氢原子等，R10表示C1－C6烷基等；以及(iii)由式(III)表示的聚合单元，其中R3、R4和R5与上述定义相同，E表示二价烃基，G表示单键等，Z表示羰基等，并且L表示蒽基等。
-
-
公开(公告)号：CN106019830A
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201610200058.X
申请日：2016-03-31
Applicant: 住友化学株式会社
CPC classification number: G03F7/0397 , G03F7/0392 , G03F7/004 , G03F7/00
Abstract: 本发明的目的在于提供一种可以制造具有良好抗裂性的抗蚀图案的抗蚀剂组合物，其是含有导入了能够通过酸的作用而断裂的保护基的酚醛清漆树脂、产酸剂、防蚀剂及溶剂的抗蚀剂组合物。
-
公开(公告)号：CN101329511B
公开(公告)日：2012-06-13
申请号：CN200810128868.4
申请日：2008-06-20
Applicant: 住友化学株式会社
CPC classification number: G03F7/0397 , C07C69/00 , C07C2603/24 , C08F212/14 , C08F212/34 , C08F220/18 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , Y10S430/106
Abstract: 一种化学放大型正性抗蚀剂组合物，其包含(A)树脂和(B)至少一种酸生成剂，所述的(A)树脂包含：(i)由式(I)表示的聚合单元，其中R7表示氢原子等，R8表示C1-C4烷基，p表示1至3的整数，q表示0至2的整数；(ii)选自由式(II)表示的聚合单元和由式(IV)表示的聚合单元中的至少一种聚合单元，在式(II)中，R1表示氢原子等，R2表示C1-C8烷基，并且环X表示脂环烃基，在式(IV)中，R3表示氢原子等，R4和R5独立地表示氢原子等，R10表示C1-C6烷基等；以及(iii)由式(III)表示的聚合单元，其中R3、R4和R5与上述定义相同，E表示二价烃基，G表示单键等，Z表示羰基等，并且L表示蒽基等。
-
公开(公告)号：CN101334588A
公开(公告)日：2008-12-31
申请号：CN200810128882.4
申请日：2008-06-24
Applicant: 住友化学株式会社
CPC classification number: G03F7/0045 , G03F7/0392 , G03F7/0397 , Y10S430/106 , Y10S430/111 , Y10S430/122 , Y10S430/123
Abstract: 一种化学放大型正性抗蚀剂组合物，其包含(A)由式(I)表示的盐：A+－O3S－R (I)，其中R表示9，10－蒽醌基，所述9，10－蒽醌基可以被选自下列基团中的至少一个基团取代：C1－C4烷基，C1－C4烷氧基和羟基，并且所述的C1－C4烷基和所述的C1－C4烷氧基可以是取代的，并且A+表示有机抗衡阳离子，和(B)树脂，所述树脂包含具有酸－不稳定基团的结构单元，并且所述树脂本身不溶于或难溶于碱性水溶液，但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
10
records
(took 0.071 seconds)
