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公开(公告)号：CN104896230A
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：CN201510244063.6
申请日：2010-11-29
Applicant: 伊原科技株式会社 , 株式会社堀场STEC
IPC: F16L23/10 , F16L23/032 , F16L23/18
CPC classification number: F16L23/10 , F16L23/18 , F16L23/032
Abstract: 本发明提供一种可容易地装卸的定位环以及使用该定位环的流体供给装置，所述定位环为沿着轴方向具有规定长度的管状的定位环(200)，该定位环的一端部外嵌于一个管，另一端部外嵌于另一个管，使两个管(Y1a，Y1b)的中心轴保持大致吻合，在所述一端部以及另一端部，分别设置有贯通于形成该定位环(200)的壁体的厚度方向的缺口(Y202a，Y202b)。
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公开(公告)号：CN104847982A
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201510244066.X
申请日：2010-11-29
Applicant: 伊原科技株式会社 , 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供一种倾斜环、使用该倾斜环的流体供给装置以及结合装置，使得即便对于不具有倾斜面的现有的凸缘部而言，也可使用所述倾斜面型凸缘接头，所述倾斜环是在将相向的凸缘部(Z2a，Z2b)彼此予以压接时所使用的倾斜环，与所述凸缘部(Z2a，Z2b)分开制作，安装在所述凸缘部(Z2a，Z2b)的相向面的背侧，并且具有随着朝向所述凸缘部(Z2a，Z2b)而向外侧扩展的倾斜面(Z201)。
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公开(公告)号：CN102080748B
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201010571886.7
申请日：2010-11-29
Applicant: 伊原科技株式会社 , 株式会社堀场STEC
Abstract: 一种可容易地将凸缘部予以结合的结合环。该结合环包括：一连串的单元构件(50a～50c)，其相邻的单元构件彼此可旋转地被连结；以及用以连结两端的单元构件(50a、50c)的紧固件(52)，将以沿着圆周方向延伸的方式设置的凹槽(51)外嵌于相向的凸缘部(2a、2b)的外周缘部，并且借由所述紧固件(52)来连结所述两端的单元构件(50a、50c)而成为环状的状态，借由将所述紧固件(52)予以紧固，对倾斜面(51a)进行按压，并利用此时所产生的轴方向的分力来将所述凸缘部(2a、2b)彼此予以压接结合，将卡止构件(60a、60b)设置在所述单元构件(50a～50c)中的至少一个单元构件上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102080748A
公开(公告)日：2011-06-01
申请号：CN201010571886.7
申请日：2010-11-29
Applicant: 伊原科技株式会社 , 株式会社堀场STEC
Abstract: 一种可容易地将凸缘部予以结合的结合环。该结合环包括：一连串的单元构件(50a～50c)，其相邻的单元构件彼此可旋转地被连结；以及用以连结两端的单元构件(50a、50c)的紧固件(52)，将以沿着圆周方向延伸的方式设置的凹槽(51)外嵌于相向的凸缘部(2a、2b)的外周缘部，并且借由所述紧固件(52)来连结所述两端的单元构件(50a、50c)而成为环状的状态，借由将所述紧固件(52)予以紧固，对倾斜面(51a)进行按压，并利用此时所产生的轴方向的分力来将所述凸缘部(2a、2b)彼此予以压接结合，将卡止构件(60a、60b)设置在所述单元构件(50a～50c)中的至少一个单元构件上。
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公开(公告)号：CN102445939B
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201110288470.9
申请日：2011-09-26
Applicant: 株式会社堀场STEC
CPC classification number: G05D7/0635 , G01F1/6847 , G01F5/00 , G01F5/005 , G01F25/0007 , Y10T137/8359
Abstract: 本发明提供一种诊断机构，该诊断机构在使用热式流量传感器的情况下，可以诊断在主流道或传感器流道的哪一个中发生了堵塞，并且诊断与测量流过流道的流体的流量的流量传感器有关的异常，诊断机构包括：流量控制部，控制设置在所述流道上的流量控制阀的开度，使得所述流量传感器输出的测量流量值成为目标流量值；检定值输出部，将从比所述流量传感器位于上游的所述流道被关闭开始到所述测量流量值和所述目标流量值实质上大体相等的状态结束为止的至少一部分期间作为诊断期间，并输出检定值，该检定值是与诊断期间的所述测量流量值的时间积分有关的值；以及诊断部，比较所述检定值和预先规定的规定值，来诊断有无与所述流量传感器有关的异常。
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公开(公告)号：CN102445939A
公开(公告)日：2012-05-09
申请号：CN201110288470.9
申请日：2011-09-26
Applicant: 株式会社堀场STEC
CPC classification number: G05D7/0635 , G01F1/6847 , G01F5/00 , G01F5/005 , G01F25/0007 , Y10T137/8359
Abstract: 本发明提供一种诊断机构，该诊断机构在使用热式流量传感器的情况下，可以诊断在主流道或传感器流道的哪一个中发生了堵塞，并且诊断与测量流过流道的流体的流量的流量传感器有关的异常，诊断机构包括：流量控制部，控制设置在所述流道上的流量控制阀的开度，使得所述流量传感器输出的测量流量值成为目标流量值；检定值输出部，将从比所述流量传感器位于上游的所述流道被关闭开始到所述测量流量值和所述目标流量值实质上大体相等的状态结束为止的至少一部分期间作为诊断期间，并输出检定值，该检定值是与诊断期间的所述测量流量值的时间积分有关的值；以及诊断部，比较所述检定值和预先规定的规定值，来诊断有无与所述流量传感器有关的异常。
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公开(公告)号：CN102080747A
公开(公告)日：2011-06-01
申请号：CN201010549972.8
申请日：2010-11-16
Applicant: 株式会社堀场STEC
CPC classification number: F16L23/10 , F16K27/003 , Y10T137/8593
Abstract: 本发明提供一种流体装置、流体机器固定装置、轨道构件及基座构件。在由纵横的流体线构成的流体装置(100)中，能提高精简性并且确保组装容易性。在将多条纵流体线(L1)彼此平行配置多条、并且在邻接的纵流体线间使连接这些纵流体线的多条横流体线(L2、L3)并列的流体装置(100)中，所述横流体线(L2、L3)中的一条使用结合环(24)的紧固式的法兰接头(2′)来将配管(4′)之间加以连接，并且另一条利用接合管线(61、62)来将配管(4″)之间加以连接。
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公开(公告)号：CN101840232A
公开(公告)日：2010-09-22
申请号：CN201010135729.1
申请日：2010-03-10
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G05B23/00
CPC classification number: G01F25/0007 , G01F1/36 , G01F1/50 , G01F25/00 , G01F25/0038 , G01F25/0053 , G05B23/00 , G05B23/02 , G05D7/0635 , H01L21/67017 , Y10T137/7759
Abstract: 本发明提供一种测试系统，其无须对配管等作任何的设计变更便可低价引入到半导体制造工序等所使用的现存的气体配管系统中，且可以短时间进行基于准确的基准容积的质量流量控制器的测试。测试系统中设置有：测试用气体管线(KL)，和支流气体管线(SL)并排设置，且合流于合流后气体管线(ML)；基准容积计算部(32)，计算出由气体配管系统(GS)的配管自身所规定的基准容积；测试用参数计算部(33)，根据在由所要测试的质量流量控制器(1)进行流量控制的期间由压力测定机构(213)测定的测定压力的时间序列数据来计算出测试用参数；以及比较部(33)，将根据基准容积所设定的基准参数和测试用参数进行比较。
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