公开(公告)号：CN102445939B

公开(公告)日：2015-08-19

申请号：CN201110288470.9

申请日：2011-09-26

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 山口裕二 ,  山口正男 ,  长井健太郎 ,  氷见知之

IPC: G05B23/02 ,  G01F25/00

CPC classification number: G05D7/0635 ,  G01F1/6847 ,  G01F5/00 ,  G01F5/005 ,  G01F25/0007 ,  Y10T137/8359

Abstract: 本发明提供一种诊断机构，该诊断机构在使用热式流量传感器的情况下，可以诊断在主流道或传感器流道的哪一个中发生了堵塞，并且诊断与测量流过流道的流体的流量的流量传感器有关的异常，诊断机构包括：流量控制部，控制设置在所述流道上的流量控制阀的开度，使得所述流量传感器输出的测量流量值成为目标流量值；检定值输出部，将从比所述流量传感器位于上游的所述流道被关闭开始到所述测量流量值和所述目标流量值实质上大体相等的状态结束为止的至少一部分期间作为诊断期间，并输出检定值，该检定值是与诊断期间的所述测量流量值的时间积分有关的值；以及诊断部，比较所述检定值和预先规定的规定值，来诊断有无与所述流量传感器有关的异常。

公开(公告)号：CN102445939A

公开(公告)日：2012-05-09

申请号：CN201110288470.9

申请日：2011-09-26

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 山口裕二 ,  山口正男 ,  长井健太郎 ,  氷见知之

IPC: G05B23/02 ,  G01F25/00

CPC classification number: G05D7/0635 ,  G01F1/6847 ,  G01F5/00 ,  G01F5/005 ,  G01F25/0007 ,  Y10T137/8359

Abstract: 本发明提供一种诊断机构，该诊断机构在使用热式流量传感器的情况下，可以诊断在主流道或传感器流道的哪一个中发生了堵塞，并且诊断与测量流过流道的流体的流量的流量传感器有关的异常，诊断机构包括：流量控制部，控制设置在所述流道上的流量控制阀的开度，使得所述流量传感器输出的测量流量值成为目标流量值；检定值输出部，将从比所述流量传感器位于上游的所述流道被关闭开始到所述测量流量值和所述目标流量值实质上大体相等的状态结束为止的至少一部分期间作为诊断期间，并输出检定值，该检定值是与诊断期间的所述测量流量值的时间积分有关的值；以及诊断部，比较所述检定值和预先规定的规定值，来诊断有无与所述流量传感器有关的异常。