-
公开(公告)号：CN108227763A
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201711293621.3
申请日：2017-12-08
申请人： 株式会社堀场STEC
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0635 , F16K37/005
摘要： 本发明提供流量控制装置和程序存储介质，特别是即使在目标流量下降这样的过渡响应状态下也能高速响应。所述流量控制装置包括：阀，具备测量开度的位置传感器，设置在流体流过的流道(L)上；具备节流器的流量传感器，设置在所述阀的上游侧；第一压力传感器，设置在所述节流器的下游侧，并且位于所述阀的上游侧；设置在所述阀(2)的下游侧的第二压力传感器；特性图存储部，存储特性图，该特性图至少表示所述阀(2)的开度、所述阀的前后的压差以及流过所述流道的流体的流量之间的关系；以及阀控制部，控制所述阀的开度，以使流过所述流道的流体的流量成为接收到的目标流量。
-
公开(公告)号：CN108536180A
公开(公告)日：2018-09-14
申请号：CN201810174449.8
申请日：2018-03-02
申请人： 株式会社堀场STEC
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0635 , G05B6/02
摘要： 流体控制装置和流体控制装置用程序存储介质。流体控制装置包括：流量测量部，测量流过流道内的流体的流量；流体控制阀，设置在流道上；开度操作量输出部，将基于预先设定的设定流量与流量测量部的测量流量的偏差和预先设定的控制系数得到的流体控制阀的开度操作量输出为开度操作量信号，在测量流量稳定的稳定状态和因设定流量的变化而使测量流量变化的过渡状态下，以针对偏差的开度操作量的变化在过渡状态下比在稳定状态下变缓的方式，设定控制系数，在从稳定状态切换为过渡状态的时点或从该时点开始经过规定时间之前，开度操作量输出部将根据在稳定状态下的多个时点输出的各开度操作量计算出的切换时用开度操作量输出为切换时用开度操作量信号。
-
公开(公告)号：CN101762299B
公开(公告)日：2014-05-21
申请号：CN200910262030.9
申请日：2009-12-23
申请人： 株式会社堀场STEC
CPC分类号： G01F1/6842 , G01F1/6847 , G01F5/00 , G05D7/0635 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
摘要： 本发明的课题在于使质量流量计的测量精度提高。一种质量流量计包括：流量计算部42，获取来自传感器部411、412的输出信号并计算出样品气体G的流量Qraw，所述传感器部411、412具有设置在所述样品气体G所流经的流路2中的热敏电阻器41a、41b；压力测量部43，对所述流路2中的一次侧压力Pin进行测量；以及流量修正部44，使用由所述压力测量部43而获得的一次侧压力Pin、及由所述样品气体G的定压比热CP所决定的气体系数α，来对由所述流量计算部42而获得的测量流量Qraw进行修正。
-
公开(公告)号：CN102445939B
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201110288470.9
申请日：2011-09-26
申请人： 株式会社堀场STEC
CPC分类号： G05D7/0635 , G01F1/6847 , G01F5/00 , G01F5/005 , G01F25/0007 , Y10T137/8359
摘要： 本发明提供一种诊断机构，该诊断机构在使用热式流量传感器的情况下，可以诊断在主流道或传感器流道的哪一个中发生了堵塞，并且诊断与测量流过流道的流体的流量的流量传感器有关的异常，诊断机构包括：流量控制部，控制设置在所述流道上的流量控制阀的开度，使得所述流量传感器输出的测量流量值成为目标流量值；检定值输出部，将从比所述流量传感器位于上游的所述流道被关闭开始到所述测量流量值和所述目标流量值实质上大体相等的状态结束为止的至少一部分期间作为诊断期间，并输出检定值，该检定值是与诊断期间的所述测量流量值的时间积分有关的值；以及诊断部，比较所述检定值和预先规定的规定值，来诊断有无与所述流量传感器有关的异常。
-
公开(公告)号：CN101762299A
公开(公告)日：2010-06-30
申请号：CN200910262030.9
申请日：2009-12-23
申请人： 株式会社堀场STEC
CPC分类号： G01F1/6842 , G01F1/6847 , G01F5/00 , G05D7/0635 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
摘要： 本发明的课题在于使质量流量计的测量精度提高。一种质量流量计包括：流量计算部42，获取来自传感器部411、412的输出信号并计算出样品气体G的流量Qraw，所述传感器部411、412具有设置在所述样品气体G所流经的流路2中的热敏电阻器41a、41b；压力测量部43，对所述流路2中的一次侧压力Pin进行测量；以及流量修正部44，使用由所述压力测量部43而获得的一次侧压力Pin、及由所述样品气体G的定压比热CP所决定的气体系数α，来对由所述流量计算部42而获得的测量流量Qraw进行修正。
-
公开(公告)号：CN108536180B
公开(公告)日：2022-08-02
申请号：CN201810174449.8
申请日：2018-03-02
申请人： 株式会社堀场STEC
IPC分类号： G05D7/06
摘要： 流体控制装置和流体控制装置用程序存储介质。流体控制装置包括：流量测量部，测量流过流道内的流体的流量；流体控制阀，设置在流道上；开度操作量输出部，将基于预先设定的设定流量与流量测量部的测量流量的偏差和预先设定的控制系数得到的流体控制阀的开度操作量输出为开度操作量信号，在测量流量稳定的稳定状态和因设定流量的变化而使测量流量变化的过渡状态下，以针对偏差的开度操作量的变化在过渡状态下比在稳定状态下变缓的方式，设定控制系数，在从稳定状态切换为过渡状态的时点或从该时点开始经过规定时间之前，开度操作量输出部将根据在稳定状态下的多个时点输出的各开度操作量计算出的切换时用开度操作量输出为切换时用开度操作量信号。
-
公开(公告)号：CN108227763B
公开(公告)日：2022-07-26
申请号：CN201711293621.3
申请日：2017-12-08
申请人： 株式会社堀场STEC
IPC分类号： G05D7/06
摘要： 本发明提供流量控制装置和程序存储介质，特别是即使在目标流量下降这样的过渡响应状态下也能高速响应。所述流量控制装置包括：阀，具备测量开度的位置传感器，设置在流体流过的流道(L)上；具备节流器的流量传感器，设置在所述阀的上游侧；第一压力传感器，设置在所述节流器的下游侧，并且位于所述阀的上游侧；设置在所述阀(2)的下游侧的第二压力传感器；特性图存储部，存储特性图，该特性图至少表示所述阀(2)的开度、所述阀的前后的压差以及流过所述流道的流体的流量之间的关系；以及阀控制部，控制所述阀的开度，以使流过所述流道的流体的流量成为接收到的目标流量。
-
公开(公告)号：CN102445939A
公开(公告)日：2012-05-09
申请号：CN201110288470.9
申请日：2011-09-26
申请人： 株式会社堀场STEC
CPC分类号： G05D7/0635 , G01F1/6847 , G01F5/00 , G01F5/005 , G01F25/0007 , Y10T137/8359
摘要： 本发明提供一种诊断机构，该诊断机构在使用热式流量传感器的情况下，可以诊断在主流道或传感器流道的哪一个中发生了堵塞，并且诊断与测量流过流道的流体的流量的流量传感器有关的异常，诊断机构包括：流量控制部，控制设置在所述流道上的流量控制阀的开度，使得所述流量传感器输出的测量流量值成为目标流量值；检定值输出部，将从比所述流量传感器位于上游的所述流道被关闭开始到所述测量流量值和所述目标流量值实质上大体相等的状态结束为止的至少一部分期间作为诊断期间，并输出检定值，该检定值是与诊断期间的所述测量流量值的时间积分有关的值；以及诊断部，比较所述检定值和预先规定的规定值，来诊断有无与所述流量传感器有关的异常。
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
8 条记录 (耗时 0.026 秒)
