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公开(公告)号：CN111693230A
公开(公告)日：2020-09-22
申请号：CN202010165652.6
申请日：2020-03-11
申请人： 株式会社堀场STEC
摘要： 本发明提供流体控制装置，能够以短时间对两个阀准确判断有无阀座泄漏，其包括：流体阻力件(R)，设置于流道；第一阀(V1)，设置于所述流体阻力件(R)的上游侧；第一压力传感器(P1)，测量所述流道中位于所述第一阀(V1)与所述流体阻力件(R)之间的第一容积(VL1)内的压力；第二阀(V2)，设置于所述流体阻力件(R)的下游侧；第二压力传感器(P2)，测量所述流道中位于所述流体阻力件(R)与所述第二阀(V2)之间的第二容积(VL2)的压力；阀控制器(4)，控制所述第一阀(V1)或所述第二阀(V2)；以及阀座泄漏判断部(52)，在所述阀控制器(4)使所述第一阀(V1)和所述第二阀(V2)完全关闭的状态下，基于所述第一压力传感器(P1)和所述第二压力传感器(P2)的各测量压力，判断所述第一阀(V1)和所述第二阀(V2)有无阀座泄漏。
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公开(公告)号：CN108536180A
公开(公告)日：2018-09-14
申请号：CN201810174449.8
申请日：2018-03-02
申请人： 株式会社堀场STEC
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0635 , G05B6/02
摘要： 流体控制装置和流体控制装置用程序存储介质。流体控制装置包括：流量测量部，测量流过流道内的流体的流量；流体控制阀，设置在流道上；开度操作量输出部，将基于预先设定的设定流量与流量测量部的测量流量的偏差和预先设定的控制系数得到的流体控制阀的开度操作量输出为开度操作量信号，在测量流量稳定的稳定状态和因设定流量的变化而使测量流量变化的过渡状态下，以针对偏差的开度操作量的变化在过渡状态下比在稳定状态下变缓的方式，设定控制系数，在从稳定状态切换为过渡状态的时点或从该时点开始经过规定时间之前，开度操作量输出部将根据在稳定状态下的多个时点输出的各开度操作量计算出的切换时用开度操作量输出为切换时用开度操作量信号。
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公开(公告)号：CN111971636B
公开(公告)日：2023-12-12
申请号：CN201980025591.9
申请日：2019-04-01
申请人： 株式会社堀场STEC
IPC分类号： G05D7/06
摘要： 本发明涉及流量控制装置、诊断方法和存储介质。为了能够一边持续供给预定的流量一边诊断是否发生了异常等，流量控制装置包括：流出流入流量算出部，基于作为容积部内的压力的下游侧压力，算出流体相对于该容积部内的流出流入流量；阀流量推定部，基于所述阻力流量和所述流出流入流量，推定阀流量，所述阀流量为从所述容积部经由所述下游侧阀流出的流体的流量；流量控制部，控制所述下游侧阀，以使设定流量与所述阀流量的偏差变小；诊断参数算出部，基于作为所述流体阻力件的上游侧的压力的上游侧压力上升或下降的压力变化状态下的所述阻力流量或所述流出流入流量，算出诊断参数；以及诊断部，基于所述诊断参数来诊断异常。
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公开(公告)号：CN115523425A
公开(公告)日：2022-12-27
申请号：CN202210710614.3
申请日：2022-06-22
申请人： 株式会社堀场STEC
摘要： 本发明提供流体控制装置、流体控制系统、记录介质及流体控制方法，为防止从流体控制中输出的计算流量的不自然的举动，流体控制装置在流道上设置有流体控制阀、以及上、下游侧压力传感器，具备：实际流量计算部，根据上、下游侧压力传感器的测量压力计算流量；以及流量输出部，输出由实际流量计算部计算出的计算流量，在判断为流体控制阀为关闭状态的情况下，流量输出部发挥与计算流量无关地输出零值的零输出功能，还具备切换部，切换部对流量输出部的零输出功能的执行和停止进行切换，在流体控制阀为打开状态并且从上游侧的测量压力减去下游侧的测量压力得到的差比规定的停止阈值大的情况下，切换部使零输出功能停止，使流量输出部输出计算流量。
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公开(公告)号：CN108572023B
公开(公告)日：2021-09-14
申请号：CN201810204147.0
申请日：2018-03-13
申请人： 株式会社堀场STEC
IPC分类号： G01F25/00
摘要： 本发明提供诊断系统、诊断方法、存储介质和流量控制装置，尽管测定周边条件变动，也能够更准确地诊断流量传感器的功能。诊断系统包括：流量传感器，测定流体的流量；修正部，测定所述流量传感器的输出值或与所述流量传感器的输出值相关的值(以下将它们统称为“输出关联值”)，并使测定的输出关联值与测定周边条件相关联，根据所述输出关联值的测定周边条件，对所述输出关联值或者为了判断所述输出关联值是否正常而预先设定的基准值进行修正；诊断部，根据所述修正部的修正结果对所述输出关联值和所述基准值进行比较，来诊断所述流量传感器的功能。
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公开(公告)号：CN102445939B
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201110288470.9
申请日：2011-09-26
申请人： 株式会社堀场STEC
CPC分类号： G05D7/0635 , G01F1/6847 , G01F5/00 , G01F5/005 , G01F25/0007 , Y10T137/8359
摘要： 本发明提供一种诊断机构，该诊断机构在使用热式流量传感器的情况下，可以诊断在主流道或传感器流道的哪一个中发生了堵塞，并且诊断与测量流过流道的流体的流量的流量传感器有关的异常，诊断机构包括：流量控制部，控制设置在所述流道上的流量控制阀的开度，使得所述流量传感器输出的测量流量值成为目标流量值；检定值输出部，将从比所述流量传感器位于上游的所述流道被关闭开始到所述测量流量值和所述目标流量值实质上大体相等的状态结束为止的至少一部分期间作为诊断期间，并输出检定值，该检定值是与诊断期间的所述测量流量值的时间积分有关的值；以及诊断部，比较所述检定值和预先规定的规定值，来诊断有无与所述流量传感器有关的异常。
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公开(公告)号：CN116449879A
公开(公告)日：2023-07-18
申请号：CN202310005822.8
申请日：2023-01-04
申请人： 株式会社堀场STEC
IPC分类号： G05D7/06
摘要： 本发明提供流体控制装置、流体控制方法及记录介质，在阀完全关闭的状态下提高流量的测量精度，流体控制装置具备：流体阻力元件，设置在流道上；上游侧压力传感器，检测流体阻力元件的上游侧压力；下游侧压力传感器，检测流体阻力元件的下游侧压力；流量计算部，根据上游侧压力以及下游侧压力，计算流过流道的流量；阀，设置在上游侧压力传感器的上游侧或下游侧压力传感器的下游侧；以及阀控制部，根据由流量计算部计算出的流量，控制阀，当阀处于完全关闭的状态时，流量计算部从在阀处于打开状态时使用的第一流量计算式切换为与第一流量计算式不同的第二流量计算式，计算流量。
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公开(公告)号：CN108227763A
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201711293621.3
申请日：2017-12-08
申请人： 株式会社堀场STEC
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0635 , F16K37/005
摘要： 本发明提供流量控制装置和程序存储介质，特别是即使在目标流量下降这样的过渡响应状态下也能高速响应。所述流量控制装置包括：阀，具备测量开度的位置传感器，设置在流体流过的流道(L)上；具备节流器的流量传感器，设置在所述阀的上游侧；第一压力传感器，设置在所述节流器的下游侧，并且位于所述阀的上游侧；设置在所述阀(2)的下游侧的第二压力传感器；特性图存储部，存储特性图，该特性图至少表示所述阀(2)的开度、所述阀的前后的压差以及流过所述流道的流体的流量之间的关系；以及阀控制部，控制所述阀的开度，以使流过所述流道的流体的流量成为接收到的目标流量。
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公开(公告)号：CN101529356B
公开(公告)日：2013-04-10
申请号：CN200780040316.1
申请日：2007-10-29
申请人： 株式会社堀场STEC
CPC分类号： G05D7/0635 , G01F1/50 , G01F1/88 , G01F25/0007 , G05B23/0221
摘要： 本发明提供一种差压式质量流量控制器(A)的诊断机构，其可适当地发现阻抗体孔道阻塞等问题，而以高精度诊断有无异常。通过使得设置于流体流动的流路上的流量控制阀(2Va)从流量控制状态转变为关闭状态，可以使得阻抗体(3)的导入出口之间产生差压，该阻抗体(3)的导入口(31)侧及导出口(32)侧分别连接设置有入口侧传感器(4)及出口侧传感器(5)。差压式质量流量控制器(A)的诊断机构包含：诊断用参数计算部(2f)，从该两个传感器中的入口侧传感器(4)的下降的压力值，通过积分运算计算质量流量积分值，再由计算出的质量流量积分值计算诊断用体积值；及比较部(2h)，将通过诊断用参数计算部(2f)计算出的诊断用体积值与规定的体积值相比较。
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公开(公告)号：CN101529356A
公开(公告)日：2009-09-09
申请号：CN200780040316.1
申请日：2007-10-29
申请人： 株式会社堀场STEC
CPC分类号： G05D7/0635 , G01F1/50 , G01F1/88 , G01F25/0007 , G05B23/0221
摘要： 本发明提供一种差压式质量流量控制器(A)的诊断机构，其可适当地发现阻抗体孔道阻塞等问题，而以高精度诊断有无异常。通过使得设置于流体流动的流路上的流量控制阀(2Va)从流量控制状态转变为关闭状态，可以使得阻抗体(3)的导入出口之间产生差压，该阻抗体(3)的导入口(31)侧及导出口(32)侧分别连接设置有入口侧传感器(4)及出口侧传感器(5)。差压式质量流量控制器(A)的诊断机构包含：诊断用参数计算部(2f)，从该两个传感器中的入口侧传感器(4)的下降的压力值，通过积分运算计算质量流量积分值，再由计算出的质量流量积分值计算诊断用体积值；及比较部(2h)，将通过诊断用参数计算部(2f)计算出的诊断用体积值与规定的体积值相比较。
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