复合陶瓷及其制法
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101107205A

    公开(公告)日:2008-01-16

    申请号:CN200680002604.3

    申请日:2006-01-24

    Abstract: 本发明的复合陶瓷,由长宽比为3以下的块状的氧化铝结晶相(A)、长宽比为3以下的块状的氧化锆结晶相(B)、及含有碱土类金属和铝元素的复合氧化物的长宽比比3小大的柱状晶(C)构成。这种复合陶瓷,弯曲强度、韧性优异,硬度也高,此外耐热水性也优异,耐热劣化试验后的抗折强度也高。

    复合陶瓷及其制法
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100522870C

    公开(公告)日:2009-08-05

    申请号:CN200680002604.3

    申请日:2006-01-24

    Abstract: 本发明的复合陶瓷,由长宽比为3以下的块状的氧化铝结晶相(A)、长宽比为3以下的块状的氧化锆结晶相(B)、及含有碱土类金属和铝元素的复合氧化物的长宽比比3小大的柱状晶(C)构成。这种复合陶瓷,弯曲强度、韧性优异,硬度也高,此外耐热水性也优异,耐热劣化试验后的抗折强度也高。

    氧化铝质陶瓷和陶瓷加热器

    公开(公告)号:CN112739661A

    公开(公告)日:2021-04-30

    申请号:CN201980062131.3

    申请日:2019-07-25

    Inventor: 王雨丛

    Abstract: 本发明的氧化铝质陶瓷含有氧化铝结晶粒子、氧化锆结晶粒子以及Ti、Mg和Si,关于Ti、Mg和Si的合计的含量,将Ti作为TiO2换算,Mg作为MgO换算,Si作为SiO2换算时,为1.4质量%以上,氧化锆结晶粒子中,将构成氧化锆结晶粒子的氧化锆表示为ZrO2时,相对于ZrO2的稀土元素的含量,以氧化物换算为2mol%以下,氧化锆结晶粒子中含有最大长度为1μm以上的单独粒子和最大长度为1μm以上的凝聚粒子中的至少一种,最大长度为1μm以上的所述单独粒子和最大长度为1μm以上的凝聚粒子的比率的合计,是氧化锆结晶粒子全体的50体积%以上。

    氮化铝质烧结体以及半导体保持装置

    公开(公告)号:CN110662728A

    公开(公告)日:2020-01-07

    申请号:CN201880033185.2

    申请日:2018-05-29

    Abstract: 本发明的氮化铝质烧结体(1)包含含有Mg的氮化铝的晶体颗粒(2);具有石榴石型的晶体结构且含有稀土类元素和Al的复合氧化物;以及含有Mg和Al的复合氮氧化物。在氮化铝的晶体颗粒(2)间散布有复合氧化物的颗粒(3)和复合氮氧化物的颗粒(4)。复合氧化物可以含有Y。将氮化铝的晶体颗粒(2)所包含的全部金属元素设为100mol%时,氮化铝的晶体颗粒(2)的Mg的含量可以为0.1mol%以上且1.0mol%以下。本发明的半导体保持装置具备该氮化铝质烧结体(1)和静电吸附用电极(13)。

Patent Agency Ranking