掩膜板及其制作方法
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN105803389B

    公开(公告)日:2019-01-22

    申请号:CN201610330444.0

    申请日:2016-05-18

    IPC分类号: C23C14/04 C23C14/24

    摘要: 本发明公开了一种掩膜板及其制作方法。其中,该掩膜板用于对显示基板进行蒸镀,包括:图案部,对应于显示基板的显示区域;应力缓冲部,对应于显示基板的至少部分非显示区域;所述应力缓冲部的一侧设置有多个第一凹槽,所述应力缓冲部的另一侧设置有多个第二凹槽,所述第一凹槽在所述掩膜板所在平面上的第一投影与所述第二凹槽在所述掩膜板所在平面上的第二投影不相交。通过本发明,保证了掩膜板在蒸镀过程中的质量,从而达到了提高AMOLED的产品品质的效果。

    掩膜集成框架及蒸镀设备

    公开(公告)号:CN105887010B

    公开(公告)日:2018-10-26

    申请号:CN201610320002.8

    申请日:2016-05-13

    IPC分类号: C23C14/04 C23C14/24 C23C14/56

    摘要: 本发明提供了一种掩膜集成框架及蒸镀设备,该掩膜集成框架包括框架以及设置在所述框架上的掩膜板,所述掩膜集成框架设置有对位标记,所述对位标记包括设置在所述框架上的第一对位孔以及设置在所述掩膜板上的第二对位孔,所述第二对位孔为通孔,所述第二对位孔在所述框架上的正投影位于所述第一对位孔的内壁上,所述第一对位孔为盲孔或者通孔,当所述第一对位孔为盲孔时,所述第一对位孔底部最深的位置位于所述第二对位孔在所述框架上的正投影之外。本发明提供的掩膜集成框架可以有效缓解由于框架上的对位孔中残留液体从而干扰对位的问题。

    一种开口掩膜板、母板及其制备方法、基板、显示装置

    公开(公告)号:CN107829065A

    公开(公告)日:2018-03-23

    申请号:CN201711025679.X

    申请日:2017-10-27

    发明人: 白珊珊 韩乔楠

    摘要: 本发明提供一种开口掩膜板、母板及其制备方法、基板、显示装置,涉及显示技术领域,可解决开口掩膜板无法蒸镀形成内部包含镂空部分的图案块的问题。开口掩膜板,包括至少一个镂空图案组;镂空图案组包括一行间隔排布的第一镂空图案和一行间隔排布的第二镂空图案;同一镂空图案组中,开口掩膜板以其厚度方向为轴旋转180°后的一行第一镂空图案与开口掩膜板未旋转时的一行第二镂空图案可拼接成一行包围遮挡区的第三镂空图案,开口掩膜板以其厚度方向为轴旋转180°后的一行第二镂空图案与开口掩膜板未旋转时的一行第一镂空图案可拼接成一行第三镂空图案;第一镂空图案的轮廓包含遮挡区的轮廓的一部分,第二镂空图案的轮廓包含遮挡区的轮廓的另一部分。

    一种掩膜装置及其组装方法

    公开(公告)号:CN104498871A

    公开(公告)日:2015-04-08

    申请号:CN201510019170.9

    申请日:2015-01-14

    IPC分类号: C23C14/04

    摘要: 本发明提供一种掩膜装置及其组装方法,该掩膜装置包括框架以及设置在所述框架上的掩膜板,所述框架包括:叠加固定的第一框架和第二框架,所述第一框架采用形状记忆合金制成,所述第二框架采用热膨胀系数小于预定值的金属材料制成,所述掩膜板焊接在所述第一框架上。本发明的掩膜装置,利用具有形状记忆功能的形状记忆合金作为焊接掩膜板的框架,在焊接组装掩膜板的过程中,只需始终对形状记忆合金框架施加恒定的对抗力即可。当掩膜板焊接组装完成后,撤掉对抗力并对形状记忆合金框架进行加热,即可使形状记忆合金框架恢复到变形前的形状。极大的简化了掩膜装置的组装过程,更提高了掩膜板的质量。

    掩膜板及其制造方法、蒸镀掩膜板组件及其制造方法

    公开(公告)号:CN106119773A

    公开(公告)日:2016-11-16

    申请号:CN201610627080.2

    申请日:2016-08-03

    发明人: 白珊珊

    IPC分类号: C23C14/04 C23C14/24

    摘要: 本发明提供了一种掩膜板、蒸镀掩膜板组件、掩膜板的制造方法及蒸镀掩膜板组件的制造方法,所述掩膜板用于对显示基板进行蒸镀,包括相对的第一面和第二面,在所述第一面上设置有呈矩阵排列的多个凹槽,在每一所述凹槽的中部设置有开口部,所述开口部对应于显示基板上的显示区域。通过设置两张掩膜板,可以使得在进行精细金属掩膜板FMM张网时,圆形等非规则形状的开口部不会产生应力不均和褶皱的现象,使得精细金属掩膜板FMM的设计不受显示基板的显示区域形状和尺寸的影响;此外,凹槽减薄区可以减轻辅助掩膜板的重量,以减少重力下垂的现象。

    掩膜板及其制作方法
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105803389A

    公开(公告)日:2016-07-27

    申请号:CN201610330444.0

    申请日:2016-05-18

    IPC分类号: C23C14/04 C23C14/24

    CPC分类号: C23C14/042 C23C14/24

    摘要: 本发明公开了一种掩膜板及其制作方法。其中,该掩膜板用于对显示基板进行蒸镀,包括:图案部,对应于显示基板的显示区域;应力缓冲部,对应于显示基板的至少部分非显示区域;所述应力缓冲部的一侧设置有多个第一凹槽,所述应力缓冲部的另一侧设置有多个第二凹槽,所述第一凹槽在所述掩膜板所在平面上的第一投影与所述第二凹槽在所述掩膜板所在平面上的第二投影不相交。通过本发明,保证了掩膜板在蒸镀过程中的质量,从而达到了提高AMOLED的产品品质的效果。

    金属掩模板及其制作方法
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105568217A

    公开(公告)日:2016-05-11

    申请号:CN201610007307.3

    申请日:2016-01-06

    发明人: 白珊珊

    IPC分类号: C23C14/04 C23C14/24

    摘要: 本公开的实施例提供了一种金属掩模板及其制作方法,该金属掩模板具有相反的第一主表面和第二主表面,并包括间隔设置的多个面板限定区域以及主边框部分,在每个面板限定区域中,用于限定像素结构的多个通孔成矩阵排列,每个通孔连通金属掩模板的第一主表面和第二主表面,每相邻两个通孔的侧壁在金属掩模板的第二主表面彼此直接连接使得面板限定区域中的相邻两个通孔之间的金属掩模板具有厚度D1,该金属掩模板的主边框部分具有第二厚度D2,且第一厚度D1和第二厚度D2满足|D1-D2|/D1≤20%。