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公开(公告)号：CN114277339A
公开(公告)日：2022-04-05
申请号：CN202111659856.6
申请日：2021-12-30
申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 成都京东方光电科技有限公司
发明人： 刘金彪 , 李元星 , 刘文豪 , 肖昂 , 罗楠 , 晋亚杰 , 胡斌 , 李靖 , 加新星 , 姬磊 , 沈萌 , 孙尚书 , 高俊 , 周杰 , 刘飞 , 李端瑞 , 兰代江 , 党博谭 , 王天昊 , 祁泽宙 , 尹茂吉
摘要： 本公开一些实施例公开了蒸镀源及蒸镀方法，涉及显示装置制备技术领域，用于提高速率调控响应速度，从而提蒸镀高速率稳定性。所述蒸镀源包括：坩埚本体、喷嘴、坩埚载体和坩埚本体加热器，所述坩埚本体具有开口端、封闭端以及被配置为容纳蒸镀材料的腔室；所述喷嘴设置于所述坩埚本体的开口端，并通过所述开口端与所述腔室连通；所述坩埚本体设置于所述坩埚载体内部；所述坩埚本体加热器设置于所述坩埚本体的外表面上，所述坩埚本体加热器包括加热环。所述蒸镀源用于制造显示面板。
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公开(公告)号：CN114277339B
公开(公告)日：2024-07-16
申请号：CN202111659856.6
申请日：2021-12-30
申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 成都京东方光电科技有限公司
发明人： 刘金彪 , 李元星 , 刘文豪 , 肖昂 , 罗楠 , 晋亚杰 , 胡斌 , 李靖 , 加新星 , 姬磊 , 沈萌 , 孙尚书 , 高俊 , 周杰 , 刘飞 , 李端瑞 , 兰代江 , 党博谭 , 王天昊 , 祁泽宙 , 尹茂吉
摘要： 本公开一些实施例公开了蒸镀源及蒸镀方法，涉及显示装置制备技术领域，用于提高速率调控响应速度，从而提蒸镀高速率稳定性。所述蒸镀源包括：坩埚本体、喷嘴、坩埚载体和坩埚本体加热器，所述坩埚本体具有开口端、封闭端以及被配置为容纳蒸镀材料的腔室；所述喷嘴设置于所述坩埚本体的开口端，并通过所述开口端与所述腔室连通；所述坩埚本体设置于所述坩埚载体内部；所述坩埚本体加热器设置于所述坩埚本体的外表面上，所述坩埚本体加热器包括加热环。所述蒸镀源用于制造显示面板。
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公开(公告)号：CN114406481A
公开(公告)日：2022-04-29
申请号：CN202210080343.8
申请日：2022-01-24
申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 成都京东方光电科技有限公司
发明人： 刘金彪 , 李元星 , 刘文豪 , 肖昂 , 罗楠 , 晋亚杰 , 李靖 , 胡斌 , 加新星 , 姬磊 , 李端瑞 , 周杰 , 党博谭 , 王天昊 , 兰代江 , 刘飞 , 祁泽宙 , 尹茂吉 , 霍堡垒
IPC分类号： B23K26/362 , B23K26/142 , B23K26/70 , H01L21/56
摘要： 本发明提供一种光线刻蚀装置和显示基板制备设备。该光线刻蚀装置包括：腔体；腔体包括第一侧壁，第一侧壁上设置有透明窗；待刻蚀基板用于设置在腔体内；光线源，位于腔体外，且对应透明窗设置，光线源用于发出刻蚀光线；刻蚀光线能透过透明窗进入腔体内；接尘器，设置于腔体内，且位于待刻蚀基板和第一侧壁之间；接尘器包括接尘部和由接尘部围设形成的透光通道；透光通道对应待刻蚀区域和透明窗，能使由透明窗进入腔体的刻蚀光线照射至待刻蚀基板的待刻蚀区域；接尘部用于对待刻蚀基板的待刻蚀区域刻蚀时产生的粉尘进行收纳。该光线刻蚀装置能够对刻蚀待刻蚀区域形成的粉尘进行很好的收集和容纳，从而避免粉尘对腔体内以及待刻蚀基板造成污染。
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公开(公告)号：CN113718204B
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202111011382.4
申请日：2021-08-31
申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 成都京东方光电科技有限公司
发明人： 李端瑞 , 何然干 , 李元星 , 李远恒 , 周杰 , 党博谭 , 刘飞 , 王天昊 , 祁泽宙 , 刘文豪 , 姬磊 , 尹茂吉 , 兰代江 , 刘金彪 , 晋亚杰 , 罗楠 , 胡斌 , 刘雅楼 , 肖昂
摘要： 本公开实施例提供了一种金属蒸发源设备，包括：外壳、第一内胆层、第二内胆层、加热丝；其中，第一内胆层，贴附在外壳的内壁；第二内胆层，与第一内胆层连接或与第一内胆层共同作用，用于固定加热丝；第一内胆层与第二内胆层均采用绝缘材料，且绝缘材料的热稳定性在加热丝处于预定工作温度时为稳定状态。本公开实施例增加了由绝缘材料制作的第一内胆层，通过第一内胆层作为中间介质，进而阻隔钽挥发后附着钽的PBN环直接与外壳连接，进而避免了短路情况的发生，减少加热源短路的情况，降低了宕机成本与维修成本。
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公开(公告)号：CN113981379A
公开(公告)日：2022-01-28
申请号：CN202111299900.7
申请日：2021-11-04
申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 成都京东方光电科技有限公司
发明人： 刘文豪 , 加新星 , 刘金彪 , 罗楠 , 肖昂 , 姬磊 , 李靖 , 晋亚杰 , 李元星 , 胡斌 , 周杰 , 蒲红均 , 兰代江 , 李端瑞 , 王天昊 , 黄瑮 , 党博谭 , 尹茂吉 , 刘飞 , 熊呈祥 , 祁泽宙 , 汪泽峰 , 刘雅楼
摘要： 本公开实施例提供了一种蒸镀速率检测设备、蒸镀设备及蒸镀速率检测方法，至少包括：旋转挡板、带孔盖和晶振盘；其中，晶振盘上设置有多个晶振片；带孔盖设置在晶振盘外侧，带孔盖的投影面积覆盖晶振盘，带孔盖上设置有两个第一通孔，第一通孔用于完全露出晶振盘上的整个晶振片；旋转挡板设置在带孔盖外侧，旋转挡板上设置有预定形状的第二通孔，第二通孔用于在旋转挡板按照预定速度旋转至第一通孔所在位置时完全露出第一通孔内的全部第一晶振片和部分第二晶振片，以通过露出的部分第二晶振片在第二晶振片整体上蒸镀第一预定厚度的蒸镀材料。通过运用本公开实施例，在切换晶振片时蒸镀速率不会波动，提升了产品质量。
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公开(公告)号：CN113667957B
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN202110960577.7
申请日：2021-08-20
申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 成都京东方光电科技有限公司
发明人： 王天昊 , 兰代江 , 加新星 , 刘飞 , 李端瑞 , 周杰 , 祁泽宙 , 罗楠 , 党博谭 , 胡斌 , 尹茂吉 , 何然干 , 刘文豪 , 雷鑫洋 , 唐良 , 熊呈祥 , 李元星 , 刘金彪 , 蒲红均
摘要： 本申请实施例提供了一种显示面板的传送单元及工艺设备，显示面板的传送单元用于在各个工艺单元间传送显示面板的衬底基板，显示面板的传送单元包括缓冲室、加热组件、第一温度探测器及控制器。其中，缓冲室包括第一容纳腔，衬底基板置于第一容纳腔内；加热组件置于第一容纳腔内，且加热组件不与衬底基板接触；第一温度探测器置于第一容纳腔内，第一温度探测器配置为获取第一容纳腔内的温度；控制器与加热组件及第一温度探测器电连接，控制器配置为控制加热组件的开启或关闭，以使第一容纳腔内的温度到达目标温度。
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公开(公告)号：CN114406481B
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN202210080343.8
申请日：2022-01-24
申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 成都京东方光电科技有限公司
发明人： 刘金彪 , 李元星 , 刘文豪 , 肖昂 , 罗楠 , 晋亚杰 , 李靖 , 胡斌 , 加新星 , 姬磊 , 李端瑞 , 周杰 , 党博谭 , 王天昊 , 兰代江 , 刘飞 , 祁泽宙 , 尹茂吉 , 霍堡垒
IPC分类号： B23K26/362 , B23K26/142 , B23K26/70 , H01L21/56
摘要： 本发明提供一种光线刻蚀装置和显示基板制备设备。该光线刻蚀装置包括：腔体；腔体包括第一侧壁，第一侧壁上设置有透明窗；待刻蚀基板用于设置在腔体内；光线源，位于腔体外，且对应透明窗设置，光线源用于发出刻蚀光线；刻蚀光线能透过透明窗进入腔体内；接尘器，设置于腔体内，且位于待刻蚀基板和第一侧壁之间；接尘器包括接尘部和由接尘部围设形成的透光通道；透光通道对应待刻蚀区域和透明窗，能使由透明窗进入腔体的刻蚀光线照射至待刻蚀基板的待刻蚀区域；接尘部用于对待刻蚀基板的待刻蚀区域刻蚀时产生的粉尘进行收纳。该光线刻蚀装置能够对刻蚀待刻蚀区域形成的粉尘进行很好的收集和容纳，从而避免粉尘对腔体内以及待刻蚀基板造成污染。
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公开(公告)号：CN113981379B
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN202111299900.7
申请日：2021-11-04
申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 成都京东方光电科技有限公司
发明人： 刘文豪 , 加新星 , 刘金彪 , 罗楠 , 肖昂 , 姬磊 , 李靖 , 晋亚杰 , 李元星 , 胡斌 , 周杰 , 蒲红均 , 兰代江 , 李端瑞 , 王天昊 , 黄瑮 , 党博谭 , 尹茂吉 , 刘飞 , 熊呈祥 , 祁泽宙 , 汪泽峰 , 刘雅楼
摘要： 本公开实施例提供了一种蒸镀速率检测设备、蒸镀设备及蒸镀速率检测方法，至少包括：旋转挡板、带孔盖和晶振盘；其中，晶振盘上设置有多个晶振片；带孔盖设置在晶振盘外侧，带孔盖的投影面积覆盖晶振盘，带孔盖上设置有两个第一通孔，第一通孔用于完全露出晶振盘上的整个晶振片；旋转挡板设置在带孔盖外侧，旋转挡板上设置有预定形状的第二通孔，第二通孔用于在旋转挡板按照预定速度旋转至第一通孔所在位置时完全露出第一通孔内的全部第一晶振片和部分第二晶振片，以通过露出的部分第二晶振片在第二晶振片整体上蒸镀第一预定厚度的蒸镀材料。通过运用本公开实施例，在切换晶振片时蒸镀速率不会波动，提升了产品质量。
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公开(公告)号：CN113718204A
公开(公告)日：2021-11-30
申请号：CN202111011382.4
申请日：2021-08-31
申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 成都京东方光电科技有限公司
发明人： 李端瑞 , 何然干 , 李元星 , 李远恒 , 周杰 , 党博谭 , 刘飞 , 王天昊 , 祁泽宙 , 刘文豪 , 姬磊 , 尹茂吉 , 兰代江 , 刘金彪 , 晋亚杰 , 罗楠 , 胡斌 , 刘雅楼 , 肖昂
摘要： 本公开实施例提供了一种金属蒸发源设备，包括：外壳、第一内胆层、第二内胆层、加热丝；其中，第一内胆层，贴附在外壳的内壁；第二内胆层，与第一内胆层连接或与第一内胆层共同作用，用于固定加热丝；第一内胆层与第二内胆层均采用绝缘材料，且绝缘材料的热稳定性在加热丝处于预定工作温度时为稳定状态。本公开实施例增加了由绝缘材料制作的第一内胆层，通过第一内胆层作为中间介质，进而阻隔钽挥发后附着钽的PBN环直接与外壳连接，进而避免了短路情况的发生，减少加热源短路的情况，降低了宕机成本与维修成本。
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公开(公告)号：CN113667957A
公开(公告)日：2021-11-19
申请号：CN202110960577.7
申请日：2021-08-20
申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 成都京东方光电科技有限公司
发明人： 王天昊 , 兰代江 , 加新星 , 刘飞 , 李端瑞 , 周杰 , 祁泽宙 , 罗楠 , 党博谭 , 胡斌 , 尹茂吉 , 何然干 , 刘文豪 , 雷鑫洋 , 唐良 , 熊呈祥 , 李元星 , 刘金彪 , 蒲红均
摘要： 本申请实施例提供了一种显示面板的传送单元及工艺设备，显示面板的传送单元用于在各个工艺单元间传送显示面板的衬底基板，显示面板的传送单元包括缓冲室、加热组件、第一温度探测器及控制器。其中，缓冲室包括第一容纳腔，衬底基板置于第一容纳腔内；加热组件置于第一容纳腔内，且加热组件不与衬底基板接触；第一温度探测器置于第一容纳腔内，第一温度探测器配置为获取第一容纳腔内的温度；控制器与加热组件及第一温度探测器电连接，控制器配置为控制加热组件的开启或关闭，以使第一容纳腔内的温度到达目标温度。
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