蒸镀源及蒸镀方法
摘要:
本公开一些实施例公开了蒸镀源及蒸镀方法,涉及显示装置制备技术领域,用于提高速率调控响应速度,从而提蒸镀高速率稳定性。所述蒸镀源包括:坩埚本体、喷嘴、坩埚载体和坩埚本体加热器,所述坩埚本体具有开口端、封闭端以及被配置为容纳蒸镀材料的腔室;所述喷嘴设置于所述坩埚本体的开口端,并通过所述开口端与所述腔室连通;所述坩埚本体设置于所述坩埚载体内部;所述坩埚本体加热器设置于所述坩埚本体的外表面上,所述坩埚本体加热器包括加热环。所述蒸镀源用于制造显示面板。
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