公开(公告)号：CN113718204B

公开(公告)日：2024-09-03

申请号：CN202111011382.4

申请日：2021-08-31

申请人： 京东方科技集团股份有限公司 ,  成都京东方光电科技有限公司

发明人： 李端瑞 ,  何然干 ,  李元星 ,  李远恒 ,  周杰 ,  党博谭 ,  刘飞 ,  王天昊 ,  祁泽宙 ,  刘文豪 ,  姬磊 ,  尹茂吉 ,  兰代江 ,  刘金彪 ,  晋亚杰 ,  罗楠 ,  胡斌 ,  刘雅楼 ,  肖昂

IPC分类号： C23C14/26 ,  H10K71/16

摘要： 本公开实施例提供了一种金属蒸发源设备，包括：外壳、第一内胆层、第二内胆层、加热丝；其中，第一内胆层，贴附在外壳的内壁；第二内胆层，与第一内胆层连接或与第一内胆层共同作用，用于固定加热丝；第一内胆层与第二内胆层均采用绝缘材料，且绝缘材料的热稳定性在加热丝处于预定工作温度时为稳定状态。本公开实施例增加了由绝缘材料制作的第一内胆层，通过第一内胆层作为中间介质，进而阻隔钽挥发后附着钽的PBN环直接与外壳连接，进而避免了短路情况的发生，减少加热源短路的情况，降低了宕机成本与维修成本。

公开(公告)号：CN113718204A

公开(公告)日：2021-11-30

申请号：CN202111011382.4

申请日：2021-08-31

申请人： 京东方科技集团股份有限公司 ,  成都京东方光电科技有限公司

发明人： 李端瑞 ,  何然干 ,  李元星 ,  李远恒 ,  周杰 ,  党博谭 ,  刘飞 ,  王天昊 ,  祁泽宙 ,  刘文豪 ,  姬磊 ,  尹茂吉 ,  兰代江 ,  刘金彪 ,  晋亚杰 ,  罗楠 ,  胡斌 ,  刘雅楼 ,  肖昂

IPC分类号： C23C14/26 ,  H01L51/56

摘要： 本公开实施例提供了一种金属蒸发源设备，包括：外壳、第一内胆层、第二内胆层、加热丝；其中，第一内胆层，贴附在外壳的内壁；第二内胆层，与第一内胆层连接或与第一内胆层共同作用，用于固定加热丝；第一内胆层与第二内胆层均采用绝缘材料，且绝缘材料的热稳定性在加热丝处于预定工作温度时为稳定状态。本公开实施例增加了由绝缘材料制作的第一内胆层，通过第一内胆层作为中间介质，进而阻隔钽挥发后附着钽的PBN环直接与外壳连接，进而避免了短路情况的发生，减少加热源短路的情况，降低了宕机成本与维修成本。