公开(公告)号：CN117410300A

公开(公告)日：2024-01-16

申请号：CN202311350658.0

申请日：2023-10-18

Applicant: 之江实验室

Inventor： 张晓航 ,  张明珠 ,  杨丽慧 ,  余诗玲 ,  宋艳汝 ,  朱洪力 ,  洪悦 ,  王海涛 ,  穆堂杰 ,  邹黎明 ,  翟仁爽 ,  王轶文 ,  赵志峰 ,  冯毅 ,  段然 ,  李菂

IPC: H01L27/146 ,  G01J1/42

Abstract: 本发明公开了一种基于超透镜的超导动态电感探测器，包括硅衬底；超导动态电感像素单元阵列，所述超导动态电感像素单元阵列沉积在所述硅衬底表面；和超透镜阵列，所述超透镜阵列通过以超导动态电感像素单元阵列为基准采用背面光刻对准工艺刻蚀所述硅衬底背面得到，所述超透镜阵列用于将垂直入射光聚焦到所述超导动态电感像素单元阵列上，通过所述超导动态电感像素单元阵列将聚焦的入射光转化为电信号从而完成对入射光的探测。该超导动态电感探测器能够将入射光准确的聚焦到超导动态电感像素单元阵列上从而能够准确的探测入射光。本发明还公开了该基于超透镜的超导动态电感探测器的制备方法。

公开(公告)号：CN118401088B

公开(公告)日：2024-09-13

申请号：CN202410854175.2

申请日：2024-06-28

Applicant: 之江实验室

Inventor： 张晓航 ,  杨丽慧 ,  张明珠 ,  余诗玲 ,  宋艳汝 ,  朱洪力 ,  洪悦 ,  穆堂杰 ,  邹黎明 ,  王海涛 ,  王轶文 ,  段然 ,  冯毅 ,  李菂

IPC: H10N60/83 ,  H10N60/80 ,  H10N60/01 ,  G01J5/10

Abstract: 本发明公开了一种超导动态电感探测器及其制备方法，该超导动态电感探测器包括衬底和超导层，该衬底内设有多个深硅槽；该超导层包括电容、电感线圈和超导馈线，该电容覆盖深硅槽内壁和位于衬底表面，该超导馈线和电感线圈位于衬底表面，通过电感线圈将各电容相互连接，通过超导馈线将电容产生的电信号导出。该超导动态电感探测器尺寸较小，且受到噪音影响较小。

公开(公告)号：CN118401088A

公开(公告)日：2024-07-26

申请号：CN202410854175.2

申请日：2024-06-28

Applicant: 之江实验室

Inventor： 张晓航 ,  杨丽慧 ,  张明珠 ,  余诗玲 ,  宋艳汝 ,  朱洪力 ,  洪悦 ,  穆堂杰 ,  邹黎明 ,  王海涛 ,  王轶文 ,  段然 ,  冯毅 ,  李菂

IPC: H10N60/83 ,  H10N60/80 ,  H10N60/01 ,  G01J5/10

Abstract: 本发明公开了一种超导动态电感探测器及其制备方法，该超导动态电感探测器包括衬底和超导层，该衬底内设有多个深硅槽；该超导层包括电容、电感线圈和超导馈线，该电容覆盖深硅槽内壁和位于衬底表面，该超导馈线和电感线圈位于衬底表面，通过电感线圈将各电容相互连接，通过超导馈线将电容产生的电信号导出。该超导动态电感探测器尺寸较小，且受到噪音影响较小。