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公开(公告)号：CN118464211A
公开(公告)日：2024-08-09
申请号：CN202410937904.0
申请日：2024-07-12
Applicant: 之江实验室
Abstract: 本申请公开单晶光纤封装装置及单晶光纤传感探头。所述单晶光纤封装装置包括用于容纳单晶光纤的保护套管、截止阀和充气装置。保护套管的材质不会与单晶光纤的材质发生化学反应。充气装置通过截止阀与保护套管连通，对保护套管抽真空或向保护套管内充入保护气体。由此，利用本申请的单晶光纤封装装置可以实现充气，一定程度上增加了装置的复用性，装置内充入的气体种类和压力可根据实验需求灵活选择，还有利于保持保护套管内的气压恒定；再者，利用保护套管作为封装主体对单晶光纤封装后，单晶光纤位于封闭环境中，避免单晶光纤受外界复杂恶劣环境的污染，也能避免单晶光纤可能产生的化学反应，提高光纤的稳定性。
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公开(公告)号：CN113834515B
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN202110946914.7
申请日：2021-08-18
IPC: G01D21/00
Abstract: 本发明公开了一种高时空分辨双光子激光直写原位红外探测装置与方法，该装置基于光参量效应产生红外波段飞秒激光，脉冲时间短、峰值能量高；解决了传统双光子激光直写原位红外探测技术中时间分辨率低，无法实现超快动力学过程原位探测的问题。基于反射式物镜对红外飞秒激光进行聚焦，并结合共聚焦光学系统；解决了传统双光子激光直写原位红外探测技术中空间分辨率低，无法实现局部精细区域动力学过程原位探测的问题。本发明还公开了两种高时空分辨双光子激光直写原位红外探测方法，可以分别针对空间定点动力学过程，以及材料超快动力学过程进行原位探测，方法简单、适用面广、拓展性强。
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公开(公告)号：CN112666803B
公开(公告)日：2024-02-13
申请号：CN202110048240.9
申请日：2021-01-14
Abstract: 本发明公开了一种基于边缘光抑制点阵产生及独立控制的并行直写装置，包含两路光：一路光通过镀涡旋膜MLA产生涡旋抑制光阵列，同时利用SLM控制各涡旋光的位置和形貌，结合DMD独立调控涡旋光强度，实现聚合区域大小控制；另一路光通过MLA产生激发光点阵，同时利用SLM调控各激发光位置，实现激发光和涡旋光阵列的精密重合。本发明可产生刻写点大小独立可控的高质量PPI阵列，每个PPI光斑由激发光和涡旋抑制光组成；采用相同刻写点大小的PPI阵列进行加工，具有超高分辨率、高通量和高均匀度的优势，控制刻写点大小使其具有特定分布，还能实现灰度光刻功能，加工任意高均匀度曲面结构和真三维微结构，可应用于超分辨光刻。
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公开(公告)号：CN117334749A
公开(公告)日：2024-01-02
申请号：CN202311400300.4
申请日：2023-10-26
Applicant: 之江实验室 , 无锡光子芯片联合研究中心
IPC: H01L29/786 , H01L27/146 , H01L21/336
Abstract: 本发明公开了一种基于TFT背板技术集成的仿生视觉传感器及其制备方法，其中光敏电阻器件与薄膜晶体管器件通过异构集成工艺实现单片集成传感器。薄膜晶体管器件采用顶底双栅结构，此结构可实现薄膜晶体管器件的阈值电压可调，增强了传感器的像素电路对工艺均一性的容忍性和提升了像素电路灵活性。本发明提出的器件制备工艺简单，易展开大面积制备，成本低廉，衬底可选用柔性材料，可实现柔性传感器的制备，且得益于TFT背板技术的成熟，适合大规模生产。
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公开(公告)号：CN112505064B
公开(公告)日：2023-12-22
申请号：CN202011506981.9
申请日：2020-12-18
Applicant: 之江实验室 , 浙江大学 , 中电科风华信息装备股份有限公司
IPC: G01N21/95
Abstract: 本发明是一种晶圆缺陷检测系统及方法，包括处理单元、控制组件、位移组件、检测组件和信号采集单元，所述位移组件与检测组件配合设置，位移组件通过位移控制检测组件的检测信号采集及运动，所述控制组件通过指令控制位移组件的移动，间接控制检测组件的检测信号采集，所述检测组件采集的信号及控制组件的指令信息传输到信号采集单元，所述信号采集单元将采集的信号传输给处理单元处理，得到缺陷信息；本发明降低了对面阵探测器灵敏度的要求，可以有效地降低探测器成本；相对传统扫描方式，可以极大的提升整个系统的检测速度；由于面阵探测器在面区域曝光过程中不移动，可以改善传统扫描方式抖动模糊的问题，提高缺陷的检测识别率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114019763B
公开(公告)日：2023-12-12
申请号：CN202111120476.5
申请日：2021-09-24
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种基于万束独立可控激光点阵产生的并行直写装置，装置主要包含四个相同光路，每个光路包含核心元件数字微镜阵列DMD和微透镜阵列MLA，用于产生千束独立可控刻写点阵，光路中DMD将有效像素区域等分成M×N个子阵列，一个子阵列对应一个子光斑，从DMD出射的M×N子光斑与MLA的M×N微透镜空间上重合后，产生M×N千束焦点阵列，并最终成像到物镜焦平面上，通过四个千束点阵的拼接，最终实现万束刻写点阵的产生，能够快速加工高质量复杂三维微结构，可应用于超分辨光刻等领域。
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公开(公告)号：CN115993695B
公开(公告)日：2023-07-25
申请号：CN202310169949.3
申请日：2023-02-27
Applicant: 之江实验室
IPC: G02B7/28
Abstract: 本发明公开了一种基于光谱共焦的原位自动对焦装置及方法。通过采用光谱共焦传感器同轴安装的形式实现了绝对离焦位移量的测量，提高了自动对焦系统的闭环控制响应；通过运动台光栅尺位移量信号匹配离焦量测量的光谱共焦探头和现有光路系统信号转换模块的触发工作时间，可以避免对焦系统对现有光路系统的光谱干扰；通过设置离焦测量点相对于成像或加工位置形成一定的超前偏移量，可以确保自动对焦装置始终对当前工作位置实现动态对焦，避免产生对焦位置的滞后。
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公开(公告)号：CN116382044A
公开(公告)日：2023-07-04
申请号：CN202310467150.2
申请日：2023-04-25
Abstract: 本申请涉及一种基于转镜的并行三维灰度激光直写光刻方法，其中，该方法包括：通过刻写激光器，生成刻写激光；根据光学衍射器件和刻写激光，生成多路刻写光束；根据待刻写结构的二维灰度图产生三维灰度刻写数据；基于转镜并行刻写算法和多路刻写光束的光束数，将三维灰度刻写数据拆分并写入到波形发生器的不同输出通道；在位移台移动到目标位置时，利用波形发生器的不同输出通道的三维灰度刻写数据，控制多通道声光调制器各个对应的通道的开关或振幅调制，完成对待刻写结构进行并行刻写。通过本申请，解决了相关技术中存在三维激光刻写时容易出现明显的台阶现象问题，提高了三维激光刻写速度，消除了三维激光刻写时明显的台阶现象。
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公开(公告)号：CN115655336B
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN202211534701.4
申请日：2022-12-02
Applicant: 之江实验室
Abstract: 本公开提供了一种基于FPGA的硬件可重构通用类人五感感知平台和方法，平台基于Xilinx FPGA SoC，采用软硬件协同、硬件模块化及软件模块化设计思路，通过硬件可重构技术，在一个通用硬件平台上可实现对视、听、触、嗅、味等多参量物理信号的高速、并行、实时采集与处理；高集成度、一体化平台，在一个平台上可实现传感器驱动、传感信号采集、处理、存储、传输及执行机构控制等多种功能；通用平台采用低功耗设计技术，将工作镜像中未使用到的硬件及软件功能模块屏蔽；采用多镜像不断电切换工作机制，在一个通用硬件平台上实现对类人五感信号的感知。
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公开(公告)号：CN116312652A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310133694.5
申请日：2023-02-07
Abstract: 一种基于转镜的光存储信息的高速读取方法，包括：使转镜在固定转速下沿着X方向匀速转动；计算采集卡接收到转镜行脉冲后每次采集的延迟时间；控制大行程气浮位移台在Y方向执行一次匀速运动，并在经过采集区域的起始位置时，产生位置触发信号，使能采集卡采集光强信号；采集卡使能后，每接收到一个行脉冲，采集卡采集一行的光强信号，经处理后转换为图像中的一行数据；采集到该区域的图像数据后，经过一系列处理得到该采集区域的二值化数据信息；大行程气浮位移台移动到下一个采集区域，重复执行上述步骤，得到整个采集区域的二值化数据；Z轴位移台移动到采集区域的下一层，重复上述过程，直至采集完整个三维区域内的所有二值化数据，并根据存储时已知的算法进行解码，得到该整个三维区域内的原始存储数据。
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