公开(公告)号：CN119657373A

公开(公告)日：2025-03-21

申请号：CN202411315076.3

申请日：2024-09-20

Applicant: 丰田自动车株式会社 ,  株式会社TMEIC

Inventor： 黑田圭儿 ,  柳本博 ,  森连太郎 ,  后藤洸圣 ,  平松孝浩 ,  织田容征

IPC: B05B13/02 ,  B08B3/08 ,  B05B14/00 ,  B05B16/20 ,  B05D3/04 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明为基板的表面处理装置和其表面处理方法。提供能够通过对导入到处理室中的处理液的雾进行再利用来廉价地对基板的被处理面进行表面处理的表面处理装置。表面处理装置(100A)是通过使处理液(L)附着于基板(B)的被处理面(Ba)来进行基板(B)的表面处理的装置。表面处理装置(100A)具备：生成处理液(L)的雾(M)的雾生成装置(10)；被导入由雾生成装置(10)生成的雾(M)并使导入了的雾(M)附着于基板(B)的被处理面(Ba)的处理室(20)；和将从处理室(20)排出的雾(M)与由雾生成装置(10)生成的雾(M)一起向处理室(20)中循环的循环路径(30)。

公开(公告)号：CN120035488A

公开(公告)日：2025-05-23

申请号：CN202380070197.3

申请日：2023-09-21

Applicant: 株式会社TMEIC ,  丰田自动车株式会社

Inventor： 后藤洸圣 ,  平松孝浩 ,  织田容征 ,  一濑明大 ,  波户信义 ,  柳本博 ,  黑田圭儿 ,  森连太郎

IPC: B08B3/02

Abstract: 本公开的目的在于提供一种能够抑制清洗用液的使用量来去除附着于基材的清洗面的被去除物的基材清洗装置。雾喷出部(21)沿着雾喷出方向(F21)喷出包含清洗用液雾(MT)的中继用雾气体(MG1)。气刀(23)在由输送机构执行基材(1)的输送动作的期间，执行通过对中继用雾气体(MG1)沿着空气气体喷吹方向(FG1)喷吹空气气体(AG1)而使空气气体(AG1)与中继用雾气体(MG1)合流、从而得到清洗用雾气体(MG2)的第一空气气体喷吹处理。通过第一空气气体喷吹处理供给的清洗用雾气体(MG2)被直接喷吹到所输送的基材(1)的表面。