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公开(公告)号:CN120035488A
公开(公告)日:2025-05-23
申请号:CN202380070197.3
申请日:2023-09-21
IPC: B08B3/02
Abstract: 本公开的目的在于提供一种能够抑制清洗用液的使用量来去除附着于基材的清洗面的被去除物的基材清洗装置。雾喷出部(21)沿着雾喷出方向(F21)喷出包含清洗用液雾(MT)的中继用雾气体(MG1)。气刀(23)在由输送机构执行基材(1)的输送动作的期间,执行通过对中继用雾气体(MG1)沿着空气气体喷吹方向(FG1)喷吹空气气体(AG1)而使空气气体(AG1)与中继用雾气体(MG1)合流、从而得到清洗用雾气体(MG2)的第一空气气体喷吹处理。通过第一空气气体喷吹处理供给的清洗用雾气体(MG2)被直接喷吹到所输送的基材(1)的表面。