公开(公告)号：CN119657373A

公开(公告)日：2025-03-21

申请号：CN202411315076.3

申请日：2024-09-20

Applicant: 丰田自动车株式会社 ,  株式会社TMEIC

Inventor： 黑田圭儿 ,  柳本博 ,  森连太郎 ,  后藤洸圣 ,  平松孝浩 ,  织田容征

IPC: B05B13/02 ,  B08B3/08 ,  B05B14/00 ,  B05B16/20 ,  B05D3/04 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明为基板的表面处理装置和其表面处理方法。提供能够通过对导入到处理室中的处理液的雾进行再利用来廉价地对基板的被处理面进行表面处理的表面处理装置。表面处理装置(100A)是通过使处理液(L)附着于基板(B)的被处理面(Ba)来进行基板(B)的表面处理的装置。表面处理装置(100A)具备：生成处理液(L)的雾(M)的雾生成装置(10)；被导入由雾生成装置(10)生成的雾(M)并使导入了的雾(M)附着于基板(B)的被处理面(Ba)的处理室(20)；和将从处理室(20)排出的雾(M)与由雾生成装置(10)生成的雾(M)一起向处理室(20)中循环的循环路径(30)。