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公开(公告)号：CN118033878A
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN202410435232.3
申请日：2024-04-11
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Abstract: 本发明涉及光学镜头技术领域，尤其涉及一种用于微纳制造技术的双远心图像位置对准测量镜头，包括从物面到像面沿光轴依次布置的前透镜组、视场光阑和后透镜组，前透镜组的像面和后透镜组的物面在视场光阑处重合，前透镜组包括从物面到像面依次布置的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜和第五透镜；后透镜组包括从物面到像面依次布置的第六透镜、第七透镜、第八透镜、第九透镜和第十透镜；第一透镜、第四透镜、第七透镜和第十透镜用于校正低阶像差；第二透镜、第三透镜、第八透镜和第九透镜用于校正高阶像差；第五透镜和第六透镜材料用于消除热差。本发明具有精度高、畸变小、远心度高、分辨率高、视场大、结构简单的优点。
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公开(公告)号：CN119198027A
公开(公告)日：2024-12-27
申请号：CN202411749626.2
申请日：2024-12-02
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Abstract: 本发明涉及热致像差分析领域，尤其涉及一种高精度图像位置对准测量镜头的热致像差分析方法，包括：S1.构建双远心镜头的几何光学模型；S2.基于双远心镜头及用于固定双远心镜头的镜筒构建固体力学结构模型；S3.构建传热模型；S4.构建光学色散模型；S5.利用上述的模型进行双向耦合光线追踪以及参数化扫描，分别对仅添加几何光学接口以及同时添加几何光学接口和固体力学接口的两种情形进行计算，获得两种情形的计算结果；S6.借助点列图、移焦量和波前像差对两种情形的计算结果进行对比分析，评估双远心镜头的成像性能。本发明通过多物理场耦合，分析各种环境因素对成像结果的影响。
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公开(公告)号：CN119647219A
公开(公告)日：2025-03-18
申请号：CN202510182556.5
申请日：2025-02-19
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC: G06F30/23 , G06F30/25 , G06F30/10 , G06T17/20 , G06F111/10 , G06F119/14
Abstract: 本发明涉及光学元件散射分析领域，尤其涉及一种基于有限元仿真的超高速冲击对光学元件的散射分析方法，包括：在有限元仿真软件中分别设置每个撞击物与靶板的参数，构建撞击物模型和靶板模型，撞击物模型与靶板模型构成超高速撞击模型；基于超高速撞击模型进行超高速撞击仿真，获得撞击后的靶板模型，并从撞击后的靶板模型中提取每个撞击坑的三维形貌数据；构建光学元件模型，并将每个撞击坑的三维形貌数据导入到光学元件模型中，通过数据拟合获得具有多个撞击坑的光学元件模型；根据光学元件模型的每个撞击坑计算双向散射分布函数，获得撞击坑的散射对光学系统的影响。本发明可以分析撞击坑引发的光线散射对于成像质量的影响。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119803273A
公开(公告)日：2025-04-11
申请号：CN202510297639.9
申请日：2025-03-13
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Inventor： 王孝坤 , 刘斌 , 王玉坤 , 刘忠凯 , 蔡梦雪 , 周承辰 , 张爽爽 , 王金成 , 李文涵 , 侯思远 , 张洛嘉 , 刘源 , 蔡铭宣 , 冯健飞 , 胡浪 , 张学军
IPC: G01B9/02015 , G01B9/02055 , G01B11/24
Abstract: 本发明属于光学检测技术领域，尤其涉及一种复杂曲面光学元件的补偿装置设计方法及补偿检测装置。方法包括：S1：将利用有限项标准泽尼克圆形多项式的线性组合表征矢高偏移量，获得待测复杂曲面光学元件的待补偿像差数据；S2：获得各类空间光调制器在不同泽尼克像差模式下的最大幅值；S3：基于待测复杂曲面光学元件的待补偿像差数据和各类空间光调制器在不同泽尼克像差模式下的最大幅值，选定补偿装置中参与补偿的空间光调制器；S4：在步骤S3选定的各空间调制器中加载与像差类型对应的灰度图，使被选定的各空间调制器加载不同的电压，完成补偿装置的设计。本发明在干涉补偿检测原有高精度的基础上，大大提升了通用性。
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公开(公告)号：CN118033878B
公开(公告)日：2024-07-02
申请号：CN202410435232.3
申请日：2024-04-11
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Abstract: 本发明涉及光学镜头技术领域，尤其涉及一种用于微纳制造技术的双远心图像位置对准测量镜头，包括从物面到像面沿光轴依次布置的前透镜组、视场光阑和后透镜组，前透镜组的像面和后透镜组的物面在视场光阑处重合，前透镜组包括从物面到像面依次布置的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜和第五透镜；后透镜组包括从物面到像面依次布置的第六透镜、第七透镜、第八透镜、第九透镜和第十透镜；第一透镜、第四透镜、第七透镜和第十透镜用于校正低阶像差；第二透镜、第三透镜、第八透镜和第九透镜用于校正高阶像差；第五透镜和第六透镜材料用于消除热差。本发明具有精度高、畸变小、远心度高、分辨率高、视场大、结构简单的优点。
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公开(公告)号：CN117741965B
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN202410189200.X
申请日：2024-02-20
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC: G02B27/00
Abstract: 本发明涉及微纳制造技术领域，尤其涉及一种基于双远心镜头的高精度图像位置对准系统的设计方法，首先通过合理设计模拟的被标记物及其标记点与光源排布，并根据相关参数引入双远心镜头设计可以获取像元级位置精度的高清成像的高精度图像位置对准系统。再配合光机热集成分析以及图像位置解算算法，预测对准系统在复杂环境中的性能变化，进一步保证设计的对准系统能够在特定的工作环境下，在较大的标记动态范围内，对标记达成亚微米级位置精度的成像，满足亚像素位置测量要求。
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公开(公告)号：CN119198027B
公开(公告)日：2025-02-18
申请号：CN202411749626.2
申请日：2024-12-02
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Abstract: 本发明涉及热致像差分析领域，尤其涉及一种高精度图像位置对准测量镜头的热致像差分析方法，包括：S1.构建双远心镜头的几何光学模型；S2.基于双远心镜头及用于固定双远心镜头的镜筒构建固体力学结构模型；S3.构建传热模型；S4.构建光学色散模型；S5.利用上述的模型进行双向耦合光线追踪以及参数化扫描，分别对仅添加几何光学接口以及同时添加几何光学接口和固体力学接口的两种情形进行计算，获得两种情形的计算结果；S6.借助点列图、移焦量和波前像差对两种情形的计算结果进行对比分析，评估双远心镜头的成像性能。本发明通过多物理场耦合，分析各种环境因素对成像结果的影响。
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公开(公告)号：CN117741965A
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN202410189200.X
申请日：2024-02-20
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC: G02B27/00
Abstract: 本发明涉及微纳制造技术领域，尤其涉及一种基于双远心镜头的高精度图像位置对准系统的设计方法，首先通过合理设计模拟的被标记物及其标记点与光源排布，并根据相关参数引入双远心镜头设计可以获取像元级位置精度的高清成像的高精度图像位置对准系统。再配合光机热集成分析以及图像位置解算算法，预测对准系统在复杂环境中的性能变化，进一步保证设计的对准系统能够在特定的工作环境下，在较大的标记动态范围内，对标记达成亚微米级位置精度的成像，满足亚像素位置测量要求。
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