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公开(公告)号：CN113270306B
公开(公告)日：2024-07-19
申请号：CN202110548318.3
申请日：2021-05-19
Applicant: 中国科学院电工研究所
IPC: H01J37/244
Abstract: 一种具有选择功能的法拉第杯装置，属于电学检测部件技术领域。包括法拉第杯本体；第一绝缘件，设置在法拉第杯本体的封口端；第二绝缘件，设置在法拉第杯本体的开口端；电子束通道，位于拉第杯本体的开口端，并与法拉第杯本体的内部空间相连通；电子束选择组件，位于第二绝缘件远离法拉第杯本体的一侧，电子束选择组件向电子束通道提供电场力和磁场力，从而使电子束通道内的部分带电粒子产生偏移。电子束通过本发明的电子束通道时，电子束中速度和方向在选择范围外的带电粒子，受到电场力和磁场力的作用导致移动路径产生偏移而撞击在电子束通道上，而在选择范围内的带电粒子能够进入到法拉第杯本体内，实现对电子束中的带电粒子进行选择的功能。
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公开(公告)号：CN115751906A
公开(公告)日：2023-03-07
申请号：CN202211481613.2
申请日：2022-11-24
Applicant: 齐鲁中科电工先进电磁驱动技术研究院 , 中国科学院电工研究所
Abstract: 本发明涉及烘燥系统技术领域，具体涉及一种工业生产烘燥系统及其控制方法和烘燥设备。所述工业生产烘燥系统包括：主体部，内设有循环风机组件、排湿风机组件以及加热组件；第一含水率传感器，设于所述主体部的进口处和出口处；第一温度传感器，设于所述主体部中游段；第一湿度传感器，设于所述主体部中游段；第二湿度传感器，设于所述主体部下游段；第二温度传感器，设于所述主体部下游段。本发明提供的工业生产烘燥系统，能够以工艺参数为目标，对各部分机构的设定参数进行在线调节，时效性较强，能源利用率和自动化程度较高。
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公开(公告)号：CN113270306A
公开(公告)日：2021-08-17
申请号：CN202110548318.3
申请日：2021-05-19
Applicant: 中国科学院电工研究所
IPC: H01J37/244
Abstract: 一种具有选择功能的法拉第杯装置，属于电学检测部件技术领域。包括法拉第杯本体；第一绝缘件，设置在法拉第杯本体的封口端；第二绝缘件，设置在法拉第杯本体的开口端；电子束通道，位于拉第杯本体的开口端，并与法拉第杯本体的内部空间相连通；电子束选择组件，位于第二绝缘件远离法拉第杯本体的一侧，电子束选择组件向电子束通道提供电场力和磁场力，从而使电子束通道内的部分带电粒子产生偏移。电子束通过本发明的电子束通道时，电子束中速度和方向在选择范围外的带电粒子，受到电场力和磁场力的作用导致移动路径产生偏移而撞击在电子束通道上，而在选择范围内的带电粒子能够进入到法拉第杯本体内，实现对电子束中的带电粒子进行选择的功能。
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公开(公告)号：CN113163564A
公开(公告)日：2021-07-23
申请号：CN202110482771.9
申请日：2021-04-30
Applicant: 中国科学院电工研究所
Abstract: 一种具有静电消除功能的电子束加工装置，属于电子束加工设备技术领域。包括壳体，内部形成加工待加工品的加工空间；加工用电子枪，与加工空间相连通，加工用电子枪用于向待加工品发射第一电子束；静电消除装置，与加工空间相连通，静电消除装置用于向待加工品发射第二电子束；第二电子束使待加工品产生的电荷与第一电子束使待加工品产生的电荷相抵消。本发明当加工用电子枪发射第一电子束对待加工品进行加工后，第一电子束会导致待加工品表面出现静电积累，使用静电消除装置向待加工品发射第二电子束，第二电子束使待加工品产生的电荷能够与第一电子束使待加工品产生的电荷相抵消，从而消除待加工品的静电，进而保证加工的良品率。
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公开(公告)号：CN109444212A
公开(公告)日：2019-03-08
申请号：CN201811340304.7
申请日：2018-11-12
Applicant: 中国科学院电工研究所
Abstract: 本发明实施例提供了一种近场热反射测量装置，该近场热反射测量装置包括：激光发生器、光束校正系统、近场测量系统和计算机；激光发生器发射激光信号至光束校正系统；光束校正系统对激光信号的方位进行校正，并将校正后的激光信号传输至近场测量系统；近场测量系统根据校正后的激光信号得到表征待测样品的热物性信息的电信号，并将电信号传输至计算机；计算机根据电信号和预先存储的激光信号的光强得到待测样品的热物性信息。通过实施本发明，不仅能够减小环境震动的影响，还能减除由各个光学元器件本身不稳定性带来的对光束传输方位的影响，保证了近场热反射测量装置的可靠性和准确度。
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：CN103645348A
公开(公告)日：2014-03-19
申请号：CN201310642547.7
申请日：2013-12-03
Applicant: 中国科学院电工研究所
IPC: G01Q60/24
Abstract: 一种微纳米尺度耦合振动高分辨测量方法。该方法基于原子力显微镜AFM成像技术，首先使钝化的AFM探针与扫描器上的光滑样品表面接触，通过高压驱动器驱动扫描器带动样品做X轴方向往复扫描运动，利用光电探测器同步检测AFM探针Z轴方向偏转过程，实现扫描器X轴方向运动引起扫描器Z轴方向耦合振动的微纳米尺度高分辨测量。
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公开(公告)号：CN115206756B
公开(公告)日：2025-03-18
申请号：CN202210842745.7
申请日：2022-07-18
Applicant: 中国科学院电工研究所
IPC: H01J37/244
Abstract: 本发明涉及多束电子束束斑测量技术领域，提供了一种多束电子束束斑的测量装置及方法，该装置包括真空腔室以及形成于真空腔室内的多束电子束，至少包括：刀口件，可移动的设置在真空腔室内，且位于多束电子束的照射路径上，刀口件上具有适于电子束通过的刀口，刀口件能够在移动过程中对多束电子束中的至少部分电子束进行遮挡；电子束收集结构，位于真空腔室内，且位于刀口件的下游，适于收集从刀口射出的电子束，并将其转化为电信号；数据处理模块，与电子束收集结构信号连接，适于接收电信号，并根据电信号获取各个电子束的束斑分布与束斑大小。该测量装置，可以获取各个电子束的束斑分布与束斑大小，满足观察和测量的需求。
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公开(公告)号：CN115751906B
公开(公告)日：2025-02-11
申请号：CN202211481613.2
申请日：2022-11-24
Applicant: 齐鲁中科电工先进电磁驱动技术研究院 , 中国科学院电工研究所
Abstract: 本发明涉及烘燥系统技术领域，具体涉及一种工业生产烘燥系统的控制方法和烘燥设备。所述工业生产烘燥系统的控制方法包括：主体部，内设有循环风机组件、排湿风机组件以及加热组件；第一含水率传感器，设于所述主体部的进口处和出口处；第一温度传感器，设于所述主体部中游段；第一湿度传感器，设于所述主体部中游段；第二湿度传感器，设于所述主体部下游段；第二温度传感器，设于所述主体部下游段。本发明提供的工业生产烘燥系统的控制方法，能够以工艺参数为目标，对各部分机构的设定参数进行在线调节，时效性较强，能源利用率和自动化程度较高。
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公开(公告)号：CN117471869A
公开(公告)日：2024-01-30
申请号：CN202311674908.6
申请日：2023-12-07
Applicant: 中国科学院电工研究所
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及电子束控制设备技术领域，公开了一种图形发生器，其包括接口电路、双端口存储电路、数字信号处理电路、数模转换电路、曝光/标记检测控制电路、标记检测电路、最终曝光数据寄存器单元、束闸控制电路、激光补偿电路、坐标系变换电路，其中，接口电路与双端口存储电路、曝光/标记检测控制电路连接；数字控制信号处理电路与双端口存储电路、曝光/标记检测控制电路、标记检测电路、最终曝光数据寄存器单元、束闸控制电路、激光补偿电路连接；坐标系矫正电路与所述数模转换电路、激光补偿电路连接。本发明能补偿电子束工件台振动引起的加工误差，利用激光补偿电路，提高加工精度。
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