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公开(公告)号：CN104155478A
公开(公告)日：2014-11-19
申请号：CN201410398614.X
申请日：2014-08-13
Applicant: 中国科学院电工研究所
Abstract: 一种应用于快速扫描原子力显微镜的探针自减振方法，所述的方法利用干法刻蚀法在原子力显微镜的探针背面加工ZnO薄膜，利用ZnO薄膜的逆压电效应，通过控制ZnO薄膜产生应力，为探针引入可调节外部阻尼，调整探针弹性系数，并提高探针的第一振荡频率，使探针能应用于快速扫描原子力显微镜，消除探针快速扫描过程中的自激振荡。
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公开(公告)号：CN102368533A
公开(公告)日：2012-03-07
申请号：CN201110328538.1
申请日：2011-10-26
Applicant: 中国科学院电工研究所
IPC: H01L39/24
Abstract: 一种电子束退火制备二硼化镁超导约瑟夫森结的方法，该方法采用电子束在真空中对夹层式二硼化镁约瑟夫森结先驱膜进行退火。所述的夹层式二硼化镁约瑟夫森结先驱膜为[Mg/B]-X-[Mg/B]，X代表标准导体层N或绝缘层I，在秒数量级的退火时间内使先驱膜中的镁、硼单质发生化学反应，最终生成MgB2-X-MgB2结构的SNS型或SIS二硼化镁超导约瑟夫森结。
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公开(公告)号：CN102214786A
公开(公告)日：2011-10-12
申请号：CN201110112739.8
申请日：2011-05-03
Applicant: 中国科学院电工研究所
IPC: H01L39/24
Abstract: 一种电子束退火制备二硼化镁超导薄膜的方法，该方法采用电子束在真空中对二硼化镁先驱膜进行退火，在秒数量级的退火时间内使先驱膜中的镁、硼单质发生化学反应最终生成二硼化镁超导薄膜。退火时电子束参数和退火时间依据不同的前驱膜厚度和退火温度要求来确定，通过精确控制电子束能量和剂量来完成不同厚度薄膜的退火。本发明制备的二硼化镁超导薄膜性能稳定、表面平整、转变温度高于35K，具有退火均匀、效率高、操作简单等优势，可用于多种功能薄膜的制备。
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公开(公告)号：CN103645348A
公开(公告)日：2014-03-19
申请号：CN201310642547.7
申请日：2013-12-03
Applicant: 中国科学院电工研究所
IPC: G01Q60/24
Abstract: 一种微纳米尺度耦合振动高分辨测量方法。该方法基于原子力显微镜AFM成像技术，首先使钝化的AFM探针与扫描器上的光滑样品表面接触，通过高压驱动器驱动扫描器带动样品做X轴方向往复扫描运动，利用光电探测器同步检测AFM探针Z轴方向偏转过程，实现扫描器X轴方向运动引起扫描器Z轴方向耦合振动的微纳米尺度高分辨测量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102214786B
公开(公告)日：2013-11-06
申请号：CN201110112739.8
申请日：2011-05-03
Applicant: 中国科学院电工研究所
IPC: H01L39/24
Abstract: 一种电子束退火制备二硼化镁超导薄膜的方法，该方法采用电子束在真空中对二硼化镁先驱膜进行退火，在秒数量级的退火时间内使先驱膜中的镁、硼单质发生化学反应最终生成二硼化镁超导薄膜。退火时电子束参数和退火时间依据不同的前驱膜厚度和退火温度要求来确定，通过精确控制电子束能量和剂量来完成不同厚度薄膜的退火。本发明制备的二硼化镁超导薄膜性能稳定、表面平整、转变温度高于35K，具有退火均匀、效率高、操作简单等优势，可用于多种功能薄膜的制备。
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公开(公告)号：CN1912573A
公开(公告)日：2007-02-14
申请号：CN200510086212.7
申请日：2005-08-08
Applicant: 中国科学院电工研究所
CPC classification number: G01Q10/065
Abstract: 一种扫描探针显微镜的数字闭环扫描控制系统，包括电子学部分、SPM探头部分和数字PID控制程序。电子学部分以DSP主控板为核心，DSP主控板上的DSP芯片通过USB接口和上位机实现通讯，并从DSP提供的总线中的地址、数据和控制线通过接口电路连接至各个模块板卡上的CPLD芯片，然后通过对CPLD的编程来实现地址译码、数据读写或锁存等工作，实现DSP主控板对其余各功能板块的控制，对A/D板过来的数据进行采集和数字PID调节，以及将调节后的数据送入D/A转换板，从D/A板出来的电气信号经高压放大板滤波放大后，控制探头进行扫描。以DSP作为运算基础的数字PID控制程序可令扫描探针显微镜在扫描过程中完全通过数字闭环控制来进行信号跟踪和反馈。
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公开(公告)号：CN1796989A
公开(公告)日：2006-07-05
申请号：CN200410103903.9
申请日：2004-12-30
Applicant: 中国科学院电工研究所
IPC: G01N27/327 , G01N27/28 , G01N13/10
Abstract: 一种利用微悬臂梁进行生化检测的方法和装置，以涂镀生化敏感层的硅制成的微悬臂梁[4]作为生化分子的探测元件。当被测物质进入生物敏感层后，生化敏感层吸附被测物质分子，使得被测物质分子与敏感层分子发生力的相互作用，使微悬臂梁产生表面应力，微悬臂梁表面应力的改变将使微悬臂梁弯曲，一束经微悬臂梁[4]背面反射的激光束被位置灵敏探测器[8]接收，微悬臂梁[4]的形变将使光点在位置灵敏检测器[8]上产生位移，位置灵敏检测器[8]将光信号位移量转化为电信号，通过数据采集卡把信号存入计算机用图像表示。本发明灵敏度高，可作为生化传感器用于检测微量生化分子。
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公开(公告)号：CN101324429B
公开(公告)日：2011-03-30
申请号：CN200810116553.8
申请日：2008-07-11
Applicant: 中国科学院电工研究所
IPC: G01B21/20
Abstract: 一种扫描探针显微镜的高精度测量方式。将标准样品和被测样品分别固定在xy微位移移动平台(3)的上、下表面，再将原子力显微镜(1)和扫描隧道显微镜(2)分别置于xy微位移移动平台(3)的上下方。扫描隧道显微镜(2)记录标准样品的形貌，而原子力显微镜(1)记录样品的形貌。标准样品和样品位置固定，所以在扫描过程中，由于平台抖动或其他震动引起的误差会同时体现在标准样品和样品的形貌信号上。选用的标准样品为石墨样品，其形貌具有周期性，可以利用这点得到扫描过程中每点震动引起的误差。将这个误差与样品的形貌信号整合就可以得到样品的精确形貌。
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公开(公告)号：CN101551318A
公开(公告)日：2009-10-07
申请号：CN200910084022.X
申请日：2009-05-12
Applicant: 中国科学院电工研究所
IPC: G01N13/10
Abstract: 一种柔性铰链位移台耦合振动位移主动补偿系统，其耦合振动控制器(1)分析柔性铰链位移台Y和Z方向的耦合振动幅值，发出抑制Y方向和Z方向振动的指令。Y耦合振动检测装置(2)和Z耦合振动检测装置(3)检测在Y和Z方向产生的耦合振动幅值。行扫信号发生模块(4)、帧扫信号补偿模块(5)和高度动态补偿模块(6)分别产生X方向、Y方向和Z方向特定频率和幅值的波形信号。帧扫高压放大模块(7)产生柔性铰链Y方向运动的驱动信号；行扫高压放大模块(8)产生柔性铰链X方向运动的驱动信号；Z向高压放大模块(9)产生柔性铰链Z方向运动的驱动信号；柔性铰链位移台(10)实现行扫和帧扫的位移动作。
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