公开(公告)号：CN116164844A

公开(公告)日：2023-05-26

申请号：CN202310127560.2

申请日：2023-02-02

Applicant: 中国科学院微电子研究所

Inventor： 杨华彬 ,  毛海央 ,  周娜 ,  张琛琛 ,  蒲永龙

IPC: G01J5/00 ,  G01J5/03 ,  G01J5/12 ,  G08B17/12 ,  G06N3/0464 ,  G06N3/084

Abstract: 本发明公开一种多波段紫外红外复合火焰探测器、其控制方法和电子设备，涉及火焰探测器技术领域，包括：信号处理单元，以及分别与信号处理单元连接的一个MEMS热电堆紫外传感器、至少两个MEMS热电堆红外传感器和警报单元；信号处理单元用于接收一个MEMS热电堆紫外传感器和至少两个MEMS热电堆红外传感器传输的对应波段辐射信号，基于对应波段辐射信号结合卷积学习算法进行特征提取处理，在提取到的实际特征值与预存火焰特征数据库中的火焰条件特征匹配时，控制警报单元进行报警提示处理，可以有效的提高火焰识别准确率，有效的避免误报警，适应范围广。

公开(公告)号：CN116337226A

公开(公告)日：2023-06-27

申请号：CN202310513027.X

申请日：2023-05-08

Applicant: 中国科学院微电子研究所

Inventor： 蒲永龙 ,  张琛琛 ,  毛海央 ,  周娜 ,  杨华彬 ,  许韶行

IPC: G01J1/44 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00

Abstract: 本申请公开一种MEMS热电堆紫外探测器及其制备方法，涉及半导体技术领域。MEMS热电堆紫外探测器，包括：MEMS热电堆紫外探测单元、纳米森林单元和设置在所述纳米森林单元四周表面的金属颗粒单元，所述纳米森林单元设置在所述MEMS热电堆紫外探测单元上方；所述金属颗粒单元用于增加紫外辐射吸收率，从而提升实现对10‑400纳米波段紫外辐射的高灵敏探测，在提高了探测灵敏度的同时扩大了检测范围。