公开(公告)号：CN116337226A

公开(公告)日：2023-06-27

申请号：CN202310513027.X

申请日：2023-05-08

Applicant: 中国科学院微电子研究所

Inventor： 蒲永龙 ,  张琛琛 ,  毛海央 ,  周娜 ,  杨华彬 ,  许韶行

IPC: G01J1/44 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00

Abstract: 本申请公开一种MEMS热电堆紫外探测器及其制备方法，涉及半导体技术领域。MEMS热电堆紫外探测器，包括：MEMS热电堆紫外探测单元、纳米森林单元和设置在所述纳米森林单元四周表面的金属颗粒单元，所述纳米森林单元设置在所述MEMS热电堆紫外探测单元上方；所述金属颗粒单元用于增加紫外辐射吸收率，从而提升实现对10‑400纳米波段紫外辐射的高灵敏探测，在提高了探测灵敏度的同时扩大了检测范围。

公开(公告)号：CN115979505A

公开(公告)日：2023-04-18

申请号：CN202211441892.X

申请日：2022-11-17

Applicant: 中国科学院微电子研究所

Inventor： 许韶行 ,  毛海央 ,  周娜 ,  黄成军

IPC: G01L21/10 ,  G01L21/12 ,  B82Y40/00

Abstract: 本申请公开一种集成纳米森林的皮拉尼传感器及其制备方法，涉及传感器。集成纳米森林的皮拉尼传感器，其特征在于，包括：皮拉尼传感单元和纳米森林结构；其中，所述纳米森林结构设置在所述皮拉尼传感单元上方或所述皮拉尼传感单元内；所述纳米森林结构用于增加气体分子与所述皮拉尼传感单元的有效接触面积，纳米森林结构具有较大的孔隙率，可以增大气体分子的平均自由程，实现更多的气体热传导，在气压较小时，仍能通过气体热传导反应气压的大小，扩展了真空度检测的下限，随着气体热传导占比的增加，也提高了器件真空检测的灵敏度。