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公开(公告)号：CN111561958A
公开(公告)日：2020-08-21
申请号：CN202010410940.3
申请日：2020-05-15
申请人： 中国科学院地质与地球物理研究所
摘要： 本发明公开了一种MEMS传感器检测装置以及MEMS传感器系统，所述MEMS传感器检测装置包括前置放大器、环路滤波器以及反馈电路，还包括设置在所述前置放大器之后的HL型滤波器，所述前置放大器、所述环路滤波器以及所述HL型滤波器串联；所述HL型滤波器对低频段信号具有高通滤波功能，所述HL型滤波器对高频段信号具有低通滤波功能。本发明提供的MEMS传感器检测装置以及MEMS传感器系统，能够有效改善MEMS传感器低频噪声性能，提高系统精度，拓宽MEMS传感器系统带宽。
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公开(公告)号：CN103837706B
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：CN201410116900.2
申请日：2014-03-26
申请人： 中国科学院地质与地球物理研究所
IPC分类号： G01P21/00
摘要： 本发明实施例公开了一种检测微电子机械系统加速度传感器芯片的特性的方法、装置和系统。所述方法包括：根据MEMS加速度传感器芯片在不同振动频率下的输入信号和输出信号，拟合开环频率特性；将所述MEMS加速度传感器芯片的开环频率特性与理想状态下的MEMS加速度传感器芯片的开环频率特性进行比较，确定所述MEMS加速度传感器芯片的结构是否存在问题。根据所述MEMS加速度传感器芯片的开环频率特性测试数据计算得到所述MEMS加速度传感器芯片的开环传递函数的极点和零点值。根据本发明实施例，可以确定微电子机械系统加速度传感器芯片的开环传递函数，根据此特性可判定MEMS加速度传感器芯片是否满足误差允许范围，并可指导设计MEMS加速度传感器的闭环控制系统。
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公开(公告)号：CN115047214B
公开(公告)日：2023-04-25
申请号：CN202210262083.6
申请日：2022-03-17
申请人： 中国科学院地质与地球物理研究所
IPC分类号： G01P21/00 , G01P15/125
摘要： 本说明书实施例公开了一种MEMS加速度传感器芯片的检测方法及装置,属于传感器检测技术领域。方法包括：基于预设直流电压使所述MEMS加速度传感器芯片中的质量块发生位移，产生电压输出，通过预设数据采集条件，采集输出电压获得第一采集信号；过滤第一采集信号中的直流电平分量，获得第二采集信号；若第二采集信号为阻尼衰减振荡信号，则根据第二采集信号及品质因子计算方式，计算出MEMS加速度传感器芯片的品质因子计算值；将品质因子计算值与MEMS加速度传感器芯片的品质因子预计值对比，获得对比结果，以基于对比结果，实现对MEMS加速度传感器芯片的检测。
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公开(公告)号：CN113203939A
公开(公告)日：2021-08-03
申请号：CN202110455222.2
申请日：2021-04-26
申请人： 中国科学院地质与地球物理研究所
摘要： 本申请公开了一种MEMS加速度传感器芯片的检测方法及装置，用以解决现有的MEMS加速度传感器芯片在加工完成后，不能初步判断MEMS加速度传感器芯片是否正常的技术问题。方法包括：将可变直流电压以及将预设频率的交流电压加在MEMS加速度传感器芯片的第一极板与第二极板，以获得第一极板与第二极板之间的基础电容值和加压电容值；基于获得的基础电容值和加压电容值，确定转折电压、电容变化值以及C‑V特性曲线；根据第一极板与第二极板的基础电容值、转折电压、电容变化值以及C‑V特性曲线，判断MEMS加速度传感器芯片是否正常。本申请通过上述方法实现了对加工完成后MEMS加速度传感器芯片的检测，极大的节约了成本。
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公开(公告)号：CN111398632B
公开(公告)日：2021-08-03
申请号：CN202010250032.2
申请日：2020-04-01
申请人： 中国科学院地质与地球物理研究所
摘要： 公开了一种加速度传感器本底噪声的测试装置及测试方法，属于传感器检测技术领域。该装置包括，包括隔振装置和减振系统，其中，所述隔振装置包括静音室和隔振台，所述隔振台包括气浮隔振台和多级弹性隔振台，所述静音室内具有容置空间，所述气浮隔振台设置于所述静音室的地板上，所述多级弹性隔振台串联后设置于所述气浮隔振台的上方，被测试加速度传感器设置于所述处于所述多级弹性隔振台最上方的承载隔振台的台面上，所述减振系统包括，标准传感器组、信号检测调理单元、采集单元、控制单元和驱动器。测试方法基于该装置而实现，能够抑制落入被测加速度传感器本底噪声固有频带内无法采用滤波器滤除的干扰信号，使得测得的加速度传感器本底噪声更加接近真值。
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公开(公告)号：CN111398633B
公开(公告)日：2021-05-11
申请号：CN202010250522.2
申请日：2020-04-01
申请人： 中国科学院地质与地球物理研究所
摘要： 公开了一种高精度加速度传感器本底噪声的测试装置及方法，该装置包括，包括隔振装置和减振系统，其中，所述隔振装置包括静音室和隔振台，所述隔振台包括气浮隔振台和多级弹性隔振台，所述静音室地面上安装有旋转底座，所述气浮隔振台设置于静音室的旋转底座上，所述多级弹性隔振台串联后设置于所述气浮隔振台的上方，被测试加速度传感器设置于所述处于所述多级弹性隔振台最上方的承载隔振台的台面上，所述减振系统包括，标准传感器组、信号检测调理单元、采集单元、控制单元和驱动器。测试方法基于该装置而实现，能够抑制落入被测加速度传感器本底噪声固有频带内无法采用滤波器滤除的干扰信号，使得测得的加速度传感器本底噪声更接近真值。
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公开(公告)号：CN111561958B
公开(公告)日：2021-03-30
申请号：CN202010410940.3
申请日：2020-05-15
申请人： 中国科学院地质与地球物理研究所
摘要： 本发明公开了一种MEMS传感器检测装置以及MEMS传感器系统，所述MEMS传感器检测装置包括前置放大器、环路滤波器以及反馈电路，还包括设置在所述前置放大器之后的HL型滤波器，所述前置放大器、所述环路滤波器以及所述HL型滤波器串联；所述HL型滤波器对低频段信号具有高通滤波功能，所述HL型滤波器对高频段信号具有低通滤波功能。本发明提供的MEMS传感器检测装置以及MEMS传感器系统，能够有效改善MEMS传感器低频噪声性能，提高系统精度，拓宽MEMS传感器系统带宽。
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公开(公告)号：CN103792568B
公开(公告)日：2015-04-08
申请号：CN201410053313.3
申请日：2014-02-17
申请人： 中国科学院地质与地球物理研究所
IPC分类号： G01V1/18
摘要： 本发明公开了一种MEMS地震检波器，其包括设有上盖的保护壳、设置在保护壳内的MEMS机芯和设置在保护壳外的尾锥，其中，MEMS机芯包括固定在保护壳内的机芯壳、设置在机芯壳内的支撑架和设置在支撑架上的多个MEMS加速度计；上述支撑架为长方体状；上述MEMS加速度计为电容式加速度计，包括X加速度计、Y加速度计和Z加速度计，三者分别立设于支撑架上相邻的三个侧面上，且Z加速度计所处的侧面为支撑架上朝向上盖的顶面；上述尾锥设置在螺杆上，螺杆穿过保护壳的底板并与机芯壳相抵。该MEMS地震检波器中避免了使用具有固有频率的线圈，可记录的动态范围大，响应频带宽、分辨率高，利于探测由人工震源产生的全部宽频带弹性波。
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公开(公告)号：CN110763870A
公开(公告)日：2020-02-07
申请号：CN201911074905.2
申请日：2019-11-06
申请人： 中国科学院地质与地球物理研究所
IPC分类号： G01P15/08 , G01P15/125 , G01P15/13
摘要： 本发明公开了一种MEMS传感器检测装置以及MEMS传感器系统，所述MEMS传感器检测装置包括：读出电路，用于对MEMS传感器的输出信号进行模拟信号处理，以产生检测电压；抵消电压产生电路，用于根据所述检测电压产生重力抵消电压，所述重力抵消电压和重力加速度成正比例关系；选择电路，用于在反馈阶段选择所述检测电压输出，在重力抵消阶段选择所述重力抵消电压输出，其中，在一个检测周期内所述反馈阶段位于所述重力抵消阶段之后；反馈电路，用于根据所述选择电路的输出电压产生反馈电压，所述反馈电压和所述选择电路的输出电压成正比例关系。本发明公开的MEMS传感器检测装置以及MEMS传感器系统，能够抵消重力加速度的影响，提高MEMS传感器系统的灵敏度。
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公开(公告)号：CN103308721B
公开(公告)日：2015-01-21
申请号：CN201310279535.2
申请日：2013-07-04
申请人： 中国科学院地质与地球物理研究所
IPC分类号： G01P15/125 , G01C19/5776
摘要： 本发明提供一种惯性检测元件的电容读出电路，包括：前置放大器的输入端连接惯性检测元件的信号输出端，前置放大器的输出端连接第一采样保持器和第二采样保持器；前置放大器用于将惯性检测元件的输出信号进行前置放大后输出给第一采样保持器和第二采样保持器；第一采样保持器的输出端连接差动放大器的第一输入端，第二采样保持器的输出端连接差动放大器的第二输入端；第一采样保持器将惯性检测元件的输出信号传输给差动放大器的第一输入端，第二采样保持器将惯性检测元件的输出信号传输给差动放大器的第二输入端；差动放大器的输出电压为惯性检测元件的电压信号。该电容读出电路的输出电压与质量块的位移是线性关系，而且不存在电弹簧效应。
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