公开(公告)号：CN111561958A

公开(公告)日：2020-08-21

申请号：CN202010410940.3

申请日：2020-05-15

申请人： 中国科学院地质与地球物理研究所

发明人： 李宗伟 ,  周永建 ,  张潇筱 ,  刘婧 ,  孟海龙 ,  杨长春 ,  韩可都 ,  冯方方

IPC分类号： G01D18/00 ,  H03H11/04

摘要： 本发明公开了一种MEMS传感器检测装置以及MEMS传感器系统，所述MEMS传感器检测装置包括前置放大器、环路滤波器以及反馈电路，还包括设置在所述前置放大器之后的HL型滤波器，所述前置放大器、所述环路滤波器以及所述HL型滤波器串联；所述HL型滤波器对低频段信号具有高通滤波功能，所述HL型滤波器对高频段信号具有低通滤波功能。本发明提供的MEMS传感器检测装置以及MEMS传感器系统，能够有效改善MEMS传感器低频噪声性能，提高系统精度，拓宽MEMS传感器系统带宽。

公开(公告)号：CN111561958B

公开(公告)日：2021-03-30

申请号：CN202010410940.3

申请日：2020-05-15

申请人： 中国科学院地质与地球物理研究所

发明人： 李宗伟 ,  周永建 ,  张潇筱 ,  刘婧 ,  孟海龙 ,  杨长春 ,  韩可都 ,  冯方方

IPC分类号： G01D18/00 ,  H03H11/04

摘要： 本发明公开了一种MEMS传感器检测装置以及MEMS传感器系统，所述MEMS传感器检测装置包括前置放大器、环路滤波器以及反馈电路，还包括设置在所述前置放大器之后的HL型滤波器，所述前置放大器、所述环路滤波器以及所述HL型滤波器串联；所述HL型滤波器对低频段信号具有高通滤波功能，所述HL型滤波器对高频段信号具有低通滤波功能。本发明提供的MEMS传感器检测装置以及MEMS传感器系统，能够有效改善MEMS传感器低频噪声性能，提高系统精度，拓宽MEMS传感器系统带宽。