公开(公告)号：CN100468103C

公开(公告)日：2009-03-11

申请号：CN200610112700.5

申请日：2006-08-30

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 陈弘达 ,  黄北举 ,  刘金彬 ,  顾明 ,  刘海军

IPC: G02B6/12 ,  G02F1/025

Abstract: 一种三电容MOS硅基高速高调制效率电光调制器，包括一衬底；一二氧化硅掩埋层位于衬底上；一n型单晶硅层为衬底上的单晶硅，制作成凹槽结构；一n+注入层制作在n型单晶硅层两侧的平面上；一横向栅氧化层和一纵向栅氧化层，制作在n型单晶硅层上的凹槽内壁面；一p型单晶硅层制作在n型单晶硅层的凹槽结构内，该p型单晶硅层和n型单晶硅层一起形成脊形波导结构；一p+注入层制作在p型单晶硅层的上面；金属接触层制作在p+注入层上面的中间位置及n+注入层上面的中间位置，分别形成调制器的正负电极；一氧化层制作在n型单晶硅层和p型单晶硅层的表面，起到保护作用。

公开(公告)号：CN101135748A

公开(公告)日：2008-03-05

申请号：CN200610112700.5

申请日：2006-08-30

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 陈弘达 ,  黄北举 ,  刘金彬 ,  顾明 ,  刘海军

IPC: G02B6/12 ,  G02F1/025

Abstract: 一种三电容MOS硅基高速高调制效率电光调制器，包括一衬底；一二氧化硅掩埋层位于衬底上；一n型单晶硅层为衬底上的单晶硅，制作成凹槽结构；一n+注入层制作在n型单晶硅层两侧的平面上；一横向栅氧化层和一纵向栅氧化层，制作在n型单晶硅层上的凹槽内壁面；一p型单晶硅层制作在n型单晶硅层的凹槽结构内，该p型单晶硅层和n型单晶硅层一起形成脊形波导结构；一p+注入层制作在p型单晶硅层的上面；金属接触层制作在p+注入层上面的中间位置及n+注入层上面的中间位置，分别形成调制器的正负电极；一氧化层制作在n型单晶硅层和p型单晶硅层的表面，起到保护作用。