-
公开(公告)号：CN114985990B
公开(公告)日：2024-10-22
申请号：CN202210826507.7
申请日：2022-07-14
Applicant: 中国科学院半导体研究所
IPC: B23K26/53 , B23K26/064 , H01L21/78
Abstract: 本发明公开了一种双激光裂片方法和装置，该方法和装置为对脆性材料进行裂片的方法和装置，利用超短脉冲激光束的高峰值功率和“冷加工”的特点在材料非线性吸收，使得材料的局部位置发生爆破，形成微裂纹实现材料改质，然后利用短脉冲激光束或连续激光束的热特性实现材料内部裂纹的均匀扩展，最终获得表面粗糙度较低的材料表面。由于材料表面粗糙度较低，在进行研磨和抛光时可大大减小后续的加工时间，这样对加工效率有质的提升，同时降低了生产成本。
-
公开(公告)号：CN117842417A
公开(公告)日：2024-04-09
申请号：CN202410015024.8
申请日：2024-01-04
Applicant: 中国科学院半导体研究所
IPC: B64U80/25 , B64U50/35 , B64U101/00 , B64U101/15 , B64U101/20
Abstract: 本申请提出一种基于激光雷达的集群式无人机充电仓及充电方法，所述充电仓包括：激光雷达站、中心调度激光充电站、多个边缘激光充电站、多个充电轨道和调度轨道；所述多个充电轨道分别设置在所述多个边缘激光充电站的外围，所述调度轨道设置在所述中心调度激光充电站的外围，且所述中心调度激光充电站对应的调度轨道为逆时针方向设置，所述多个边缘激光充电站对应的充电轨道均为顺时针方向设置，各所述多个充电轨道的边缘均与所述调度轨道的边缘相接。本申请提出的技术方案，可以保证无人机在充电过程一直获得最大输入电功率，大大缩短无人机的充电时间，同时，激光充电能够保证在空中盘旋或悬停的无人机不用落地，能够不间断执行空中侦察、通信任务等。
-
公开(公告)号：CN115770964A
公开(公告)日：2023-03-10
申请号：CN202111059052.2
申请日：2021-09-09
Applicant: 中国科学院半导体研究所
IPC: B23K26/53 , B23K26/046 , B23K26/064
Abstract: 本发明提供一种激光加工脆性材料多焦点裂片装置，包括激光器、光束扩束准直系统、衍射元件以及光束聚焦系统；激光器用以发射激光，光束扩束准直系统设于激光传输的光路上，所述光束扩束准直系统用以对所述激光器发出的激光进行扩束；衍射元件用以使激光产生多个衍射级次；光束聚焦系统用以对激光进行聚焦，以使得激光在脆性材料的纵向位置上会形成多焦点。本发明是通过引入特定衍射光学元件，并在聚焦光路上加上高频振荡的滤光片，控制在材料内部焦点的聚焦先后顺序，在材料纵向位置上激光一次扫描即可形成多个改质层，从而提高大大提高冷裂效率。
-
公开(公告)号：CN114985990A
公开(公告)日：2022-09-02
申请号：CN202210826507.7
申请日：2022-07-14
Applicant: 中国科学院半导体研究所
IPC: B23K26/53 , B23K26/064 , H01L21/78
Abstract: 本发明公开了一种双激光裂片方法和装置，该方法和装置为对脆性材料进行裂片的方法和装置，利用超短脉冲激光束的高峰值功率和“冷加工”的特点在材料非线性吸收，使得材料的局部位置发生爆破，形成微裂纹实现材料改质，然后利用短脉冲激光束或连续激光束的热特性实现材料内部裂纹的均匀扩展，最终获得表面粗糙度较低的材料表面。由于材料表面粗糙度较低，在进行研磨和抛光时可大大减小后续的加工时间，这样对加工效率有质的提升，同时降低了生产成本。
-
公开(公告)号：CN112192772A
公开(公告)日：2021-01-08
申请号：CN202011159285.5
申请日：2020-10-26
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 一种超快激光连续裂片方法，包括以下步骤：将超快激光光源的激光从材料抛光的上表面聚焦到距离底部一定厚度处进行扫描加工，扫描间隔控制可变，形成改质层；将所述改质层以下的部分通过冷裂，从改质层处裂开并从待冷裂材料主体剥离下来；将待冷裂材料下移一个晶片厚度，也就是将超快激光聚焦点上移一个晶片厚度，重复上述加工过程，即实现超快激光连续裂片。本发明提出的方法只需一次对材料的上表面进行抛光/研磨等工序，连续裂片过程中不需要材料抛光、研磨等工序，当材料底部形成破裂层后进行后续处理可直接得到高质量的晶圆薄片，降低加工成本的同时，提高了冷裂效率。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109787080B
公开(公告)日：2020-06-19
申请号：CN201910189235.2
申请日：2019-03-13
Applicant: 中国科学院半导体研究所 , 中国科学院大学
Abstract: 本发明公开了一种可控多脉冲被动锁模的皮秒激光器，包括：泵浦源，用于提供泵浦光；耦合装置，其输入端与泵浦源的输出端连接；激光谐振腔，其位于耦合装置的输出光路上，其包括激光分束装置、被动锁模器和激光反射器；其中，所述激光分束装置位于激光运行光路上；所述被动锁模器位于所述激光分束装置的一延伸光路上；所述激光反射器位于所述激光分束装置的另一光路上。当激光分束器不发生工作时，不提供附加的强光信号，则激光谐振腔内只有一个强光信号，实现稳定的调Q锁模激光输出；当激光分束器工作时，激光反射器返回光向激光谐振腔中提供了更多的强信号光，则可以产生多脉冲，则产生可控调Q锁模的激光脉冲输出。
-
公开(公告)号：CN107046224A
公开(公告)日：2017-08-15
申请号：CN201710424903.6
申请日：2017-06-07
Applicant: 中国科学院半导体研究所
IPC: H01S3/11
Abstract: 一种脉冲泵浦主动调Q输出双脉宽脉冲的激光器，包括：一脉冲泵浦源：一耦合装置，其输入端与脉冲泵浦源的输出端连接；一激光谐振腔，其位于耦合装置的输出光路上；一光电传感器，其位于激光谐振腔的输出光路上；一控制器，其输入端与光电传感器的输出端连接，该控制器的一输出端口1与激光谐振腔一输入端连接，该控制器的另一输出端口2与脉冲泵浦源的输入端连接。本发明可产生脉冲泵浦控制的宽脉冲和主动调Q控制的窄脉冲交替输出的特性。
-
公开(公告)号：CN107045207A
公开(公告)日：2017-08-15
申请号：CN201710424943.0
申请日：2017-06-07
Applicant: 中国科学院半导体研究所
CPC classification number: G02B27/106 , H01S3/11
Abstract: 一种脉冲串产生与时域形貌控制的结构，包括：一1×N光纤信号分束器；N条光纤，其一端均与1×N光纤信号分束器的输出端连接；一N×1光纤信号合束器，其输入端与N条光纤的另一端连接；该1×N光纤信号分束器的输入端与一输入光纤连接，该N×1光纤信号合束器的输出端与一输出光纤连接。本发明可以简单方便的获得皮秒或纳秒脉冲串并进行时域形貌的调控，结构简单、稳定、易于实现并降低了成本。
-
公开(公告)号：CN119602063A
公开(公告)日：2025-03-11
申请号：CN202411665398.0
申请日：2024-11-20
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 本申请提出一种单空间光调制器对两类激光波前进行同步调制装置及方法，包括：光传输模块将水平偏振的第一激光和垂直偏振的第二激光时序匹配及合束，形成复合光束；调制模块依次对复合光束的水平偏振分量和垂直偏振分量进行波前调制，生成并传输调制光束，由光传输模块对调制光束进行聚焦，形成加工光束。通过将水平偏振的第一激光和垂直偏振的第二激光时序匹配及合束，形成复合光束，进而依次对复合光束的水平偏振分量和垂直偏振分量进行波前调制，生成用于深加工的调制光束，极大地降低第一激光和第二激光在空间位置上相对分布的调整难度，使第一激光和第二激光能够对目标位置进行同步加工，最大限度地降低激光加工设备的复杂度，且显著提升加工效率。
-
公开(公告)号：CN116329781A
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN202111593358.6
申请日：2021-12-23
Applicant: 中国科学院半导体研究所
IPC: B23K26/53 , B23K26/064 , B23K26/03 , B23K26/08 , H01L21/268
Abstract: 本公开提供一种脆性材料自然裂片装置及其方法，脆性材料裂片装置包括吸附台、激光系统、光束聚焦系统以及三维位移系统，将大能量脉冲激光聚焦在脆性材料内部，当焦点处功率密度达到一定值时，材料被气化形成蒸汽，蒸汽的扩展使得材料实现自然裂片。本公开主要特点是脉冲激光在材料内焦点位置处形成的蒸汽不断向周围扩展，在扫描完成后整个晶圆出现翘曲，即可实现材料的自然裂片。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
22
records
(took 0.024 seconds)
