公开(公告)号：CN119602063A

公开(公告)日：2025-03-11

申请号：CN202411665398.0

申请日：2024-11-20

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 林学春 ,  杜家宝 ,  赵树森 ,  卢晓煜 ,  于海娟 ,  何超建

IPC: H01S3/094 ,  H01S3/10

Abstract: 本申请提出一种单空间光调制器对两类激光波前进行同步调制装置及方法，包括：光传输模块将水平偏振的第一激光和垂直偏振的第二激光时序匹配及合束，形成复合光束；调制模块依次对复合光束的水平偏振分量和垂直偏振分量进行波前调制，生成并传输调制光束，由光传输模块对调制光束进行聚焦，形成加工光束。通过将水平偏振的第一激光和垂直偏振的第二激光时序匹配及合束，形成复合光束，进而依次对复合光束的水平偏振分量和垂直偏振分量进行波前调制，生成用于深加工的调制光束，极大地降低第一激光和第二激光在空间位置上相对分布的调整难度，使第一激光和第二激光能够对目标位置进行同步加工，最大限度地降低激光加工设备的复杂度，且显著提升加工效率。

公开(公告)号：CN117589719A

公开(公告)日：2024-02-23

申请号：CN202311594847.2

申请日：2023-11-27

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 林学春 ,  杜家宝 ,  赵树森 ,  卢晓煜 ,  于海娟 ,  何超建

IPC: G01N21/41

Abstract: 本公开涉及半导体技术领域，尤其涉及一种基于波前传感技术的晶锭改质效果检测方法及装置。其中，该方法包括：采用目标激光对改质前的晶锭进行扫描，得到第一波前信息，其中，目标激光中包括目标波前；采用目标激光对改质后的晶锭进行扫描，得到第二波前信息；根据第一波前信息和第二波前信息，确定改质后的晶锭对应的改质结果。本公开可以提高晶锭改质效果检测的准确性，并减少导致损伤晶锭的情况。