公开(公告)号：CN112192772A

公开(公告)日：2021-01-08

申请号：CN202011159285.5

申请日：2020-10-26

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 林学春 ,  何超建 ,  于海娟 ,  苗张旺 ,  韩世飞

IPC: B28D5/00 ,  B28D7/00 ,  H01L21/78

Abstract: 一种超快激光连续裂片方法，包括以下步骤：将超快激光光源的激光从材料抛光的上表面聚焦到距离底部一定厚度处进行扫描加工，扫描间隔控制可变，形成改质层；将所述改质层以下的部分通过冷裂，从改质层处裂开并从待冷裂材料主体剥离下来；将待冷裂材料下移一个晶片厚度，也就是将超快激光聚焦点上移一个晶片厚度，重复上述加工过程，即实现超快激光连续裂片。本发明提出的方法只需一次对材料的上表面进行抛光/研磨等工序，连续裂片过程中不需要材料抛光、研磨等工序，当材料底部形成破裂层后进行后续处理可直接得到高质量的晶圆薄片，降低加工成本的同时，提高了冷裂效率。

公开(公告)号：CN107283831A

公开(公告)日：2017-10-24

申请号：CN201710604328.8

申请日：2017-07-21

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 林学春 ,  张志研 ,  苗张旺 ,  徐坚 ,  梁浩 ,  王奕博 ,  刘燕楠 ,  付金祥

IPC: B29C64/153 ,  B29C64/20 ,  B29C64/268 ,  B22F3/105 ,  B33Y10/00 ,  B33Y30/00

CPC classification number: Y02P10/295 ,  B22F3/1055 ,  B22F2003/1056 ,  B33Y10/00 ,  B33Y30/00

Abstract: 本发明公开了一种大型钢桁架智能增材制造装置及方法，制造装置包括机构部分和主体部分，机构部分包括机器人悬臂、机器人激光喷头、机器人转体部分、机器人移动肢体和机器人触手，转体部分受主体部分控制，可将悬臂灵活进行转动，进而调整激光喷头的角度和高度，移动肢体连接主体部分和触手，移动肢体受主体部分控制，带动触手移动，进而调整机器人位置。本发明提供的大型钢桁架智能增材制造方法是利用已打印完成的物件，并不受有无支撑物的局限，可以实现空间任意范围内立体打印。此外，该智能激光光源系统定位精准，具有更强的灵活性，成型效率高，降低了大型物件的成型难度。

公开(公告)号：CN113054517A

公开(公告)日：2021-06-29

申请号：CN202110270804.3

申请日：2021-03-12

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 林学春 ,  苗张旺 ,  于海娟 ,  何超建 ,  左杰希 ,  韩世飞

IPC: H01S3/06

Abstract: 本发明提供一种激光碟片晶体的键合方法，该键合方法包括：将碟片增益介质放置在环形未掺杂介质中，其中，碟片增益介质为圆台型或棱台型；利用压块在碟片增益介质的上端面施加压力，使碟片增益介质和环形未掺杂介质紧密贴合，得到激光碟片晶体；其中，碟片增益介质的侧面和环形未掺杂介质的内表面完全重合；将激光碟片晶体置于加热炉中，在预设温度条件下进行加压扩散键合，得到键合后的激光碟片晶体。