公开(公告)号：CN118688165A

公开(公告)日：2024-09-24

申请号：CN202310292145.2

申请日：2023-03-23

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 王泊 ,  程建功 ,  陈昌 ,  贺庆国 ,  付艳艳

IPC: G01N21/64 ,  G01N21/01

Abstract: 本发明提供一种硅基荧光传感芯片及系统，硅基荧光传感芯片包括光波导、待检测物质通道和感光元件，通入光波导内的激光激发荧光材料层产生荧光信号，荧光材料与待检测物质通道通入的待检测物质反应后，产生变化的荧光信号并耦合至感光元件。本发明通过光波导进行荧光的产生、传导和检测反应，提高检测灵敏度和效率，缩小荧光传感器的尺寸，降低功耗，简化结构，制备方法与半导体工艺兼容，降低成本；同时利用光波导内进行光传导的方法，降低荧光传导过程中的损耗，避免荧光与其他光源发生串扰；另外通过将光波导与待检测物质通道垂直设置，提高检测灵敏度；最后利用多模干涉耦合器分束激光，使产生的荧光信号更均匀，检测结果更可靠。

公开(公告)号：CN115770629A

公开(公告)日：2023-03-10

申请号：CN202211565148.0

申请日：2022-12-07

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 ,  上海新微技术研发中心有限公司

Inventor： 罗源 ,  赵建龙 ,  陈昌 ,  谢思佳 ,  杨世佳 ,  王宁

IPC: B01L3/00

Abstract: 本发明提供一种微流控DNA合成芯片及其制作方法，包括从下往上依次叠置的集成电路层、微流控层及顶层。集成电路层具有晶体管阵列和寻址译码电路，晶体管具有上表面连接有多聚物自组装层的金属电极，微流控层具有与金属电极一一对应的微腔。DNA合成过程中，在外围电路的操控下，通过寻址译码电路选定任意多个金属电极在规定时间段内产生所需的稳定电压，使微流控层中通入的溶液中的成分发生电解反应生成氢离子，使溶液中发生脱保护反应及偶联反应；微流控层的结构设计能够实现对各位点产生的氢离子进行限域，避免氢离子扩散导致位点间的相互干扰，不需要采取其他措施防止氢离子扩散，有效降低芯片的复杂程度和制作成本，实现高密度与高通量。