一种高稳定厚膜转移柔性热电偶的制备方法

    公开(公告)号:CN115950544A

    公开(公告)日:2023-04-11

    申请号:CN202211635784.6

    申请日:2022-12-19

    摘要: 一种高稳定厚膜转移柔性热电偶的制备方法,本发明属于温度传感器技术领域,具体涉及一种高稳定厚膜转移柔性热电偶的制备方法。本发明的目的是为了解决柔性热电偶制备工艺复杂、稳定性差,热电偶精度难以保证的问题。方法:一、制备牺牲层;二、制备高稳定厚膜热电偶;三、转移高稳定厚膜热电偶;四、包封,得到高稳定厚膜热电偶柔性温度传感器。本发明的热电偶具有稳定性优异、精度高和柔性化优点,可广泛应用于柔性电子和异型表面微环境温度信号采集和测量;本发明制备的柔性温度传感器基于厚膜工艺技术设计与制造,制造工艺成熟、成本低和易于批量化生产。

    一种陶瓷微结构石墨烯气体传感器及其制造方法

    公开(公告)号:CN109896499A

    公开(公告)日:2019-06-18

    申请号:CN201910161174.9

    申请日:2019-03-04

    IPC分类号: B81C1/00 G01N27/00

    摘要: 一种陶瓷微结构石墨烯气体传感器及其制造方法,本发明属于传感器技术领域,具体涉及一种陶瓷微结构石墨烯气体传感器及其制造方法。本发明是为了解决陶瓷异质材料上石墨烯CVD生长、修饰困难和传感器结构尺寸大的问题。本发明采用MEMS工艺技术在陶瓷异质材料基片制作传感器加热电阻和信号输出电极,采用PVD技术在基片上制作石墨烯生长的种子层,用CVD技术实现石墨烯在种子层上的生长,用化学修饰手段实现对石墨的功能化修饰,完成石墨烯气体传感器的制备。本发明的传感器具有性能高、尺寸小的特点,通过传感单元的阵列化集成用于多种气体浓度同时检测。

    一种金属氧化物材料的制备方法

    公开(公告)号:CN105540550A

    公开(公告)日:2016-05-04

    申请号:CN201510981042.2

    申请日:2015-12-23

    IPC分类号: C01B13/36

    摘要: 一种金属氧化物材料的制备方法,它涉及一种金属氧化物的制备方法。本发明的目的是要解决现有物理方法制备金属氧化物对设备要求高,生产成本高,化学方法制备金属氧化物需要采用大量有机溶剂,产生废气和尾气,污染环境的问题。方法一:将金属盐加入到离子液体中混合均匀,再进行加热反应,再干燥,再放入反应釜中晶化,得到金属氧化物材料。方法二:将金属盐加入到离子液体中混合均匀,再与沉淀剂混合,再进行晶化反应,得到金属氧化物材料。本发明制备的金属氧化物材料的颗粒小、粒径为10nm~500nm,粒径尺寸分布均匀。本发明可获得一种金属氧化物材料的制备方法。

    一种带有陶瓷加热器结构的分压型氧传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN110794023B

    公开(公告)日:2021-12-14

    申请号:CN201911081718.7

    申请日:2019-11-07

    摘要: 一种带有陶瓷加热器结构的分压型氧传感器及其制备方法,涉及一种分压型氧传感器及其制备方法。本发明是要解决现有的分压型氧传感器传热效率低、加热器体积大、温场分布不均、耐力学冲击振动能力差的技术问题。本发明的带有陶瓷加热器结构的分压型氧传感器是由芯体和陶瓷加热器组成;将芯体通过放置于陶瓷加热器中间的通孔中,将芯体和陶瓷加热器之间的孔隙用高温封接玻璃填满,最后烧结成型得到带有陶瓷加热器结构的分压型氧传感器。本发明的分压型氧传感器可以提高传感器力学抗冲击强度、提升热传导效率、缩短冷启动时间、提升温场分布均一性,具有高精度、高可靠的优点。可用于密闭环境、大气环境等环境的氧浓度检测。

    基于陶瓷共烧工艺的传感单元、含有该传感单元的电化学气体传感器及传感单元的制造方法

    公开(公告)号:CN109557151A

    公开(公告)日:2019-04-02

    申请号:CN201910037101.9

    申请日:2019-01-15

    IPC分类号: G01N27/26

    摘要: 基于陶瓷共烧工艺的传感单元、含有该传感单元的电化学气体传感器及传感单元的制造方法,涉及电化学气体传感器领域。为了解决利用传统制造电化学气体传感器的方法困难的问题。基于陶瓷共烧工艺的传感单元,工作电极层、电解池层、辅助电极层和引出层由上至下依次层叠设置;第一电解池通孔和第二电解池通孔构成电解池腔,催化电极与第一过孔的导电金属电气连接,对电极与第三过孔的导电金属电气连接,第一过孔、第二过孔和第四过孔导电金属之间电气连接,第一引出端与第四过孔的导电金属电气连接,第二引出端与第三过孔的导电金属电气连接。本发明通过注入不同类型的电解液、不同催化电极材料等实现不同种类气体检测。

    一种共用中间电极板的双池电导率传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN113063988A

    公开(公告)日:2021-07-02

    申请号:CN202110297044.5

    申请日:2021-03-19

    IPC分类号: G01R27/22 G01R3/00 G01N27/06

    摘要: 一种共用中间电极板的双池电导率传感器及其制备方法,涉及海洋测量仪器领域,尤其涉及海水电导率传感器。本发明是为了解决传统电极式电导率传感器进行大小量程切换时,需要更换电导池探头,还会使得传感器信号输出稳定性差的问题。本发明电导率传感器芯体中位于中间的电极板两侧均设有电极组、且两侧的电极组镜像对称设置,位于两侧的电极板单侧设有电极组,位于两侧的电极板上的电极组与位于中间的电极板上的电极组相互正对,电极组包括电流电极和电压电极。两个电导池的四个电极板减少到三个电极板,中间电极板是两个电导池共用,使得传感器整体体积缩小到原来的一半。

    一种带有陶瓷加热器结构的分压型氧传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN110794023A

    公开(公告)日:2020-02-14

    申请号:CN201911081718.7

    申请日:2019-11-07

    摘要: 一种带有陶瓷加热器结构的分压型氧传感器及其制备方法,涉及一种分压型氧传感器及其制备方法。本发明是要解决现有的分压型氧传感器传热效率低、加热器体积大、温场分布不均、耐力学冲击振动能力差的技术问题。本发明的带有陶瓷加热器结构的分压型氧传感器是由芯体和陶瓷加热器组成;将芯体通过放置于陶瓷加热器中间的通孔中,将芯体和陶瓷加热器之间的孔隙用高温封接玻璃填满,最后烧结成型得到带有陶瓷加热器结构的分压型氧传感器。本发明的分压型氧传感器可以提高传感器力学抗冲击强度、提升热传导效率、缩短冷启动时间、提升温场分布均一性,具有高精度、高可靠的优点。可用于密闭环境、大气环境等环境的氧浓度检测。