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公开(公告)号：CN117810145B
公开(公告)日：2024-05-07
申请号：CN202410224476.7
申请日：2024-02-29
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/68
摘要： 本发明涉及半导体产品制造设备技术领域，具体涉及一种去磷硅玻璃机的硅片上料装置，主要解决硅片上料效率较低的技术问题。所述去磷硅玻璃机的硅片上料装置包括缓存传送组件、纵向传送组件和硅片切换组件，缓存传送组件适于缓存上工序设备出料，纵向传送组件适于将硅片输送至去磷硅玻璃机的进料窗口内，硅片切换组件适于将硅片从缓存传送组件转运至纵向传送组件上，硅片切换组件包括导轨、滑座、驱动件和输送组件。本装置硅片的传输距离较短，所用时间较短，并且省去了顶升气缸的动作时间，产能由12000片/小时提高至16000片/小时，大幅提高了硅片进料效率；同时，硅片切换组件使得设备整体尺寸更小，减少厂房占地面积，节约成本。
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公开(公告)号：CN112614800A
公开(公告)日：2021-04-06
申请号：CN202011541020.1
申请日：2020-12-23
IPC分类号： H01L21/677 , H01L31/18
摘要： 本发明公开了一种刻蚀下料机的自动装篮机构及其装篮方法，解决了现有机构硅片容易产生动摩擦印痕的问题。通过机构的整体移动，实现舌头板进入篮具进行硅片装篮，整体移出，在硅片入篮机构（4）中设置有入篮机构气缸（6）和入篮机构导轨（10），在入篮机构气缸（6）上设置有气缸滑块（7），在入篮机构导轨上设置有导轨滑块（11），在气缸滑块与导轨滑块（11）之间，设置有入篮机构支架（8），在入篮机构支架（8）的顶端设置有水平舌头板（9），在主动皮带轮（14）、左从动皮带轮（15）、右从动皮带轮（16）和张紧轮（17）之间设置有封闭的入篮传送皮带（18）。避免了由于硅片与皮带的动摩擦所产生的皮带印的产生。
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公开(公告)号：CN104332438A
公开(公告)日：2015-02-04
申请号：CN201410449597.8
申请日：2014-09-05
申请人： 中国电子科技集团公司第二研究所
IPC分类号： H01L21/677 , H01L31/18
CPC分类号： Y02P70/521 , H01L21/67793 , H01L31/1876
摘要： 本发明公开了一种太阳能硅片传送矫正机构，解决了现有技术存在的导向条易磨损和硅片矫正频率慢的问题。包括底板（1），在底板（1）上固定设置有左右方向上的硅片传送支架导轨（2），在硅片传送支架导轨（2）上设置有被传送轨片（4），在硅片传送支架导轨（2）的中部正下方设置有硅片传送矫正组件，在硅片传送支架导轨（2）的右端正下方的底板（1）上固定设置有伸出组件（5）。硅片传送矫正组件由L形前摆架（14）、L形后摆架（13）和旋转圆盘（17）组成，旋转圆盘（17）设置在L形前摆架（14）与L形后摆架（13）之间，两排硅片矫正滑轮的距离在硅片传送方向上由宽变窄，逐步矫正硅片的位置。满足了硅片高速传送下的导向需求。
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公开(公告)号：CN104332438B
公开(公告)日：2017-01-25
申请号：CN201410449597.8
申请日：2014-09-05
申请人： 中国电子科技集团公司第二研究所
IPC分类号： H01L21/677 , H01L31/18
CPC分类号： Y02P70/521
摘要： 本发明公开了一种太阳能硅片传送矫正机构，解决了现有技术存在的导向条易磨损和硅片矫正频率慢的问题。包括底板（1），在底板（1）上固定设置有左右方向上的硅片传送支架导轨2），在硅片传送支架导轨（2）上设置有被传送轨片（4），在硅片传送支架导轨（2）的中部正下方设置有硅片传送矫正组件，在硅片传送支架导轨2）的右端正下方的底板（1）上固定设置有伸出组件（5）。硅片传送矫正组件由L形前摆架（14）、L形后摆架（13）和旋转圆盘（17）组成，旋转圆盘17）设置在L形前摆架（14）与L形后摆架（13）之间，两排硅片矫正滑轮的距离在硅片传送方向上由宽变窄，逐步矫正硅片的位置。满足了硅片高速传送下的导向需求。
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公开(公告)号：CN112614801B
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202011541026.9
申请日：2020-12-23
IPC分类号： H01L21/677 , H01L31/18
摘要： 本发明公开了一种可防卡滞的刻蚀下料机的硅片自动下料传送机构，解决了硅片在翻转工位上容易出现卡滞的问题。在翻转杆龙门支撑架（6）的内侧下端设置有漏吸硅片倾斜收料盒（11），在硅片入篮横向皮带传送线（5）上设置有翻转后的第一组硅片（13），在刻蚀后硅片下料传送辊（2）上的翻转工位上设置有第二组硅片（14），在漏吸硅片倾斜收料盒（11）与刻蚀后硅片下料传送辊（2）上的翻转工位之间设置有漏吸硅片（12）；在翻转驱动轴（8）上设置有“U”形摆杆（9），“U”形摆杆（9）的左端与翻转驱动轴（8）固定连接在一起，在“U”形摆杆（9）的右端设置有吸盘（10）。本发明不会因异常片而造成二次异常片的出现。
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公开(公告)号：CN117810145A
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN202410224476.7
申请日：2024-02-29
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/68
摘要： 本发明涉及半导体产品制造设备技术领域，具体涉及一种去磷硅玻璃机的硅片上料装置，主要解决硅片上料效率较低的技术问题。所述去磷硅玻璃机的硅片上料装置包括缓存传送组件、纵向传送组件和硅片切换组件，缓存传送组件适于缓存上工序设备出料，纵向传送组件适于将硅片输送至去磷硅玻璃机的进料窗口内，硅片切换组件适于将硅片从缓存传送组件转运至纵向传送组件上，硅片切换组件包括导轨、滑座、驱动件和输送组件。本装置硅片的传输距离较短，所用时间较短，并且省去了顶升气缸的动作时间，产能由12000片/小时提高至16000片/小时，大幅提高了硅片进料效率；同时，硅片切换组件使得设备整体尺寸更小，减少厂房占地面积，节约成本。
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公开(公告)号：CN112614800B
公开(公告)日：2024-09-27
申请号：CN202011541020.1
申请日：2020-12-23
IPC分类号： H01L21/677 , H01L31/18
摘要： 本发明公开了一种刻蚀下料机的自动装篮机构及其装篮方法，解决了现有机构硅片容易产生动摩擦印痕的问题。通过机构的整体移动，实现舌头板进入篮具进行硅片装篮，整体移出，在硅片入篮机构（4）中设置有入篮机构气缸（6）和入篮机构导轨（10），在入篮机构气缸（6）上设置有气缸滑块（7），在入篮机构导轨上设置有导轨滑块（11），在气缸滑块与导轨滑块（11）之间，设置有入篮机构支架（8），在入篮机构支架（8）的顶端设置有水平舌头板（9），在主动皮带轮（14）、左从动皮带轮（15）、右从动皮带轮（16）和张紧轮（17）之间设置有封闭的入篮传送皮带（18）。避免了由于硅片与皮带的动摩擦所产生的皮带印的产生。
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公开(公告)号：CN116882188A
公开(公告)日：2023-10-13
申请号：CN202310888966.2
申请日：2023-07-19
IPC分类号： G06F30/20 , G06F17/11 , G06F17/16 , G06F111/10 , G06F119/14
摘要： 本发明公开了一种基于矩阵求导法的滚珠丝杠传动系统拉格朗日动力学方程的求解方法，首先根据滚珠丝杠传动系统的物理模型简化得到系统的质阻弹力学模型，其中丝杠作为柔性体和连续体，采用分布参数法和Ritz级数法，系统其他部分采用集中参数法，建立系统的拉格朗日动力学方程。对拉格朗日动力学方程中的系统动能，系统势能和系统耗散能，根据建立的矩阵求导方法分别对广义坐标和广义速度求偏导数，最后得到系统的质量矩阵、阻尼矩阵和刚度矩阵。本发明以滚珠丝杠传动系统为例，提供了一种矩阵求导方法，从而使利用拉格朗日方程建立的复杂动力学模型可以直接进行求解，得到系统质量矩阵、阻尼矩阵和刚度矩阵后，进一步进行数值仿真计算。
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公开(公告)号：CN112614801A
公开(公告)日：2021-04-06
申请号：CN202011541026.9
申请日：2020-12-23
IPC分类号： H01L21/677 , H01L31/18
摘要： 本发明公开了一种可防卡滞的刻蚀下料机的硅片自动下料传送机构，解决了硅片在翻转工位上容易出现卡滞的问题。在翻转杆龙门支撑架（6）的内侧下端设置有漏吸硅片倾斜收料盒（11），在硅片入篮横向皮带传送线（5）上设置有翻转后的第一组硅片（13），在刻蚀后硅片下料传送辊（2）上的翻转工位上设置有第二组硅片（14），在漏吸硅片倾斜收料盒（11）与刻蚀后硅片下料传送辊（2）上的翻转工位之间设置有漏吸硅片（12）；在翻转驱动轴（8）上设置有“U”形摆杆（9），“U”形摆杆（9）的左端与翻转驱动轴（8）固定连接在一起，在“U”形摆杆（9）的右端设置有吸盘（10）。本发明不会因异常片而造成二次异常片的出现。
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公开(公告)号：CN210628274U
公开(公告)日：2020-05-26
申请号：CN201922015473.X
申请日：2019-11-20
IPC分类号： H01L21/687
摘要： 本实用新型公开了一种石英舟硅片的顶升机构，解决了现有托起机构存在的制造成本高维修更换不方便和使用寿命低的问题。包括丝杠驱动机构，在丝杠驱动机构上连接有滑块（7），滑块（7）与顶升架底板（9）连接，在顶升架底板（9）上间隔地彼此平行地设置有两立板（10），在每个立板（10）的顶端均设置有梳齿状托架（11）；在石英舟安装架（13）上设置有石英舟（15），在石英舟下方的石英舟安装架（13）上设置有长条缝隙（14），两个梳齿状托架依次穿过石英舟安装架（13）上的长条缝隙（14）和石英舟（15）后设置在石英舟（15）上方，在两个梳齿状托架之间设置有硅片（12）。提高托齿的安装精度，提升生产效率。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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