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公开(公告)号：CN108831855A
公开(公告)日：2018-11-16
申请号：CN201810491640.5
申请日：2018-05-22
申请人： 中国电子科技集团公司第二研究所
摘要： 本发明公开了一种柔性基板动态定位机构及定位方法，解决了现有的定位机构存在的实现机构复杂和设备成本高的问题。包括底板座（1）和矩形定位工作面板（15），在矩形定位工作面板（15）上设置有基板吸附孔，在矩形定位工作面板（15）与底板座（1）之间分别设置有定位工作面板支撑立柱（2）、横向铰链座（3）和纵向铰链座（7），在两铰链座上分别设置有气缸，气缸的输出轴通过铰链关节与矩形定位工作面板（15）连接，在定位工作面板支撑立柱（2）上也设置有铰链关节，通过两气缸的输出轴，实现矩形定位工作面板（15）的倾斜和调整；在矩形定位工作面板（15）上设置有横、纵两方向的定位板。本发明制作简单、定位准确、稳定可靠。
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公开(公告)号：CN110722406B
公开(公告)日：2021-04-20
申请号：CN201910874136.8
申请日：2019-09-17
IPC分类号： B24B1/00 , B24B37/00 , B24B37/005 , B24B37/27 , B24B37/34 , B24B41/02 , B24B47/12 , B24B49/12 , B24B51/00
摘要： 本发明公开了一种异形碲锌镉晶片轮廓修磨倒角方法，在异形碲锌镉晶片修磨倒角工艺过程中存在的研磨工序耗时长和生产效率低的技术问题。本发明通过大量工艺试验，得到研磨碲锌镉晶片的进给量与崩边长度的关系，从而求取一个最优解，在研磨外圈的时候，每次进给量1.5毫米，研磨中间两圈的时候每次进给0.8毫米，研磨最内两圈的时候每次进给0.5毫米，这样就可以减少研磨的圈数，提高研磨效率；在研磨每一圈的时候，通过视觉系统进行分析处理，计算出砂轮与产品哪些地方能够接触，哪些地方不能够接触，不能够接触到的地方就控制研磨系统快速旋转，即将到达接触的地方时提前减速，这样就提高了研磨的效率，同时保证了研磨的质量。
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公开(公告)号：CN108569569A
公开(公告)日：2018-09-25
申请号：CN201810491628.4
申请日：2018-05-22
申请人： 中国电子科技集团公司第二研究所
摘要： 本发明公开了一种成摞陶瓷基片托盘拆分传送机构及拆分传送方法，解决了现有拆分机构存在的工作效率低，不适合自动化生产要求的问题。在左L形托板（7）与右L形托板（8）之间设置有最下层陶瓷基片托盘（9），在最下层陶瓷基片托盘（9）的上面摞有倒数第二层陶瓷基片托盘（10），在皮带传送机固定支撑架（1）上设置有升降主气缸安装座（11），在升降主气缸安装座上设置有升降主气缸（12），在升降主气缸的向上伸出的输出轴上安装有升降次气缸安装座（13），在升降次气缸安装座上设置有升降次气缸（14），升降次气缸（14）向上伸出的输出轴上安装有顶板（15），顶板设置在最下层陶瓷基片托盘的正下方。大大提高生产线的传送效率。
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公开(公告)号：CN110722406A
公开(公告)日：2020-01-24
申请号：CN201910874136.8
申请日：2019-09-17
IPC分类号： B24B1/00 , B24B37/00 , B24B37/005 , B24B37/27 , B24B37/34 , B24B41/02 , B24B47/12 , B24B49/12 , B24B51/00
摘要： 本发明公开了一种异形碲锌镉晶片轮廓修磨倒角方法，在异形碲锌镉晶片修磨倒角工艺过程中存在的研磨工序耗时长和生产效率低的技术问题。本发明通过大量工艺试验，得到研磨碲锌镉晶片的进给量与崩边长度的关系，从而求取一个最优解，在研磨外圈的时候，每次进给量1.5毫米，研磨中间两圈的时候每次进给0.8毫米，研磨最内两圈的时候每次进给0.5毫米，这样就可以减少研磨的圈数，提高研磨效率；在研磨每一圈的时候，通过视觉系统进行分析处理，计算出砂轮与产品哪些地方能够接触，哪些地方不能够接触，不能够接触到的地方就控制研磨系统快速旋转，即将到达接触的地方时提前减速，这样就提高了研磨的效率，同时保证了研磨的质量。
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公开(公告)号：CN104332438B
公开(公告)日：2017-01-25
申请号：CN201410449597.8
申请日：2014-09-05
申请人： 中国电子科技集团公司第二研究所
IPC分类号： H01L21/677 , H01L31/18
CPC分类号： Y02P70/521
摘要： 本发明公开了一种太阳能硅片传送矫正机构，解决了现有技术存在的导向条易磨损和硅片矫正频率慢的问题。包括底板（1），在底板（1）上固定设置有左右方向上的硅片传送支架导轨2），在硅片传送支架导轨（2）上设置有被传送轨片（4），在硅片传送支架导轨（2）的中部正下方设置有硅片传送矫正组件，在硅片传送支架导轨2）的右端正下方的底板（1）上固定设置有伸出组件（5）。硅片传送矫正组件由L形前摆架（14）、L形后摆架（13）和旋转圆盘（17）组成，旋转圆盘17）设置在L形前摆架（14）与L形后摆架（13）之间，两排硅片矫正滑轮的距离在硅片传送方向上由宽变窄，逐步矫正硅片的位置。满足了硅片高速传送下的导向需求。
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公开(公告)号：CN110640572A
公开(公告)日：2020-01-03
申请号：CN201910874138.7
申请日：2019-09-17
摘要： 本发明公开了一种具有良好防水性能的异形晶片轮廓修磨倒角执行机构，解决了如何最大程度地避免冲刷晶片与倒角砂轮冷却水进入到精密执行机构中的问题。在Y向移动平台的前后两侧分别连接前部Y向伸缩弹性皮腔（14）和后部Y向伸缩弹性皮腔（13），在Y向移动平台的左右两侧分别连接左部X向伸缩弹性皮腔（6）和右部X向伸缩弹性皮腔（7），组成一个封闭的挡水伞，由于前部Y向伸缩弹性皮腔和后部Y向伸缩弹性皮腔（13）具有前后弹性伸缩的功能，部X向伸缩弹性皮腔和右部X向伸缩弹性皮腔具有左右弹性伸缩的功能，而DD马达安装在Y向移动平台的下面，从而实现了执行机构在实现XYθ三轴的复合运动时，不会发生伞面水渗漏现象。
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公开(公告)号：CN104332438A
公开(公告)日：2015-02-04
申请号：CN201410449597.8
申请日：2014-09-05
申请人： 中国电子科技集团公司第二研究所
IPC分类号： H01L21/677 , H01L31/18
CPC分类号： Y02P70/521 , H01L21/67793 , H01L31/1876
摘要： 本发明公开了一种太阳能硅片传送矫正机构，解决了现有技术存在的导向条易磨损和硅片矫正频率慢的问题。包括底板（1），在底板（1）上固定设置有左右方向上的硅片传送支架导轨（2），在硅片传送支架导轨（2）上设置有被传送轨片（4），在硅片传送支架导轨（2）的中部正下方设置有硅片传送矫正组件，在硅片传送支架导轨（2）的右端正下方的底板（1）上固定设置有伸出组件（5）。硅片传送矫正组件由L形前摆架（14）、L形后摆架（13）和旋转圆盘（17）组成，旋转圆盘（17）设置在L形前摆架（14）与L形后摆架（13）之间，两排硅片矫正滑轮的距离在硅片传送方向上由宽变窄，逐步矫正硅片的位置。满足了硅片高速传送下的导向需求。
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公开(公告)号：CN103646905A
公开(公告)日：2014-03-19
申请号：CN201310667265.2
申请日：2013-12-11
申请人： 中国电子科技集团公司第二研究所
IPC分类号： H01L21/68
CPC分类号： H01L21/6838 , H01L2221/68327
摘要： 本发明公开了一种晶圆片识别旋转定位吸附台，解决了现有的倒角设备中的晶圆片的旋转吸附定位台存在的结构复杂和使用不简便的问题。包括在吸附台台板（1）上设置有轴通过孔，在吸附台台板上的轴通过孔下方的吸附台台板的下底面上固定设置有带座轴承（2）和轴（3），伺服电机（5）的输出轴通过联轴器（6）与轴（3）的下端连接，轴的上端是依次从动密封座（7）和真空导入盒（8）穿过的，在轴的上端部的轴心处设置有轴中真空气路（16），在轴的顶端设置有晶圆片吸附托盘（10），晶圆片吸附托盘（10）上的吸附孔与轴中真空气路（16）连通，在晶圆片吸附托盘（10）上吸附有晶圆片（11）。本发明节省了使用空间，提高了检测效率。
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公开(公告)号：CN211305811U
公开(公告)日：2020-08-21
申请号：CN201921538240.1
申请日：2019-09-17
摘要： 本实用新型公开了一种具有良好防水性能的异形晶片轮廓修磨倒角执行机构，解决了如何最大程度地避免冲刷晶片与倒角砂轮冷却水进入到精密执行机构中的问题。在Y向移动平台的前后两侧分别连接前部Y向伸缩弹性皮腔（14）和后部Y向伸缩弹性皮腔（13），在Y向移动平台的左右两侧分别连接左部X向伸缩弹性皮腔（6）和右部X向伸缩弹性皮腔（7），组成一个封闭的挡水伞，由于前部Y向伸缩弹性皮腔和后部Y向伸缩弹性皮腔（13）具有前后弹性伸缩的功能，部X向伸缩弹性皮腔和右部X向伸缩弹性皮腔具有左右弹性伸缩的功能，而DD马达安装在Y向移动平台的下面，从而实现了执行机构在实现XYθ三轴的复合运动时，不会发生伞面水渗漏现象。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN208326698U
公开(公告)日：2019-01-04
申请号：CN201820758742.4
申请日：2018-05-22
申请人： 中国电子科技集团公司第二研究所
摘要： 本实用新型公开了一种成摞陶瓷基片托盘拆分传送机构，解决了现有拆分机构存在的工作效率低，不适合自动化生产要求的问题。在左L形托板（7）与右L形托板（8）之间设置有最下层陶瓷基片托盘（9），在最下层陶瓷基片托盘（9）的上面摞有倒数第二层陶瓷基片托盘（10），在皮带传送机固定支撑架（1）上设置有升降主气缸安装座（11），在升降主气缸安装座上设置有升降主气缸（12），在升降主气缸的向上伸出的输出轴上安装有升降次气缸安装座（13），在升降次气缸安装座上设置有升降次气缸（14），升降次气缸（14）向上伸出的输出轴上安装有顶板（15），顶板设置在最下层陶瓷基片托盘的正下方。大大提高生产线的传送效率。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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