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公开(公告)号：CN110854237B
公开(公告)日：2021-04-20
申请号：CN201911143862.9
申请日：2019-11-20
IPC分类号： H01L31/18 , H01L21/677
摘要： 本发明公开了一种便于单齿更换的基于高精度装配的疏齿托架，解决了现有机构存在的各别托齿损坏需要整个更换托架和托架装配精度低的问题。在托齿底架板（16）的前侧面上的中上部沿上下竖直方向等间隔地设置有长条状凹槽（17），在长条状凹槽（17）下方的托齿底架板（16）的前侧面上设置有带螺纹的沉孔（18），在长条状托齿（19）的顶端设置有硅片插入U形槽（20），在托齿固定盖板（23）的上部等间隔地设置有固定长条状托齿的顶丝孔（25），长条状托齿（19）的下端活动插接在托齿底架板（16）上的长条状凹槽（17）中，托齿固定盖板（23）靠接在托齿底架板（16）的前侧面上。在托齿发生单根损坏时更换方便。
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公开(公告)号：CN110867407A
公开(公告)日：2020-03-06
申请号：CN201911144666.3
申请日：2019-11-20
IPC分类号： H01L21/687 , H01L31/18
摘要： 本发明公开了一种扩散工艺篮具内成组硅片托起机构的梳齿状托架制作方法，解决了现有托起机构存在的硅片底端定位高度不一致和同用性不强的问题。在两个梳齿状托架（3）之间放置有硅片（4），梳齿状托架（3）是由前齿架（5）和后齿架（10）组合而成的，在前齿架（5）的中上部设置有前梳齿（7），在前齿架的下部梳身上设置有长条状通孔（6），在前齿架（5）的后侧面上设置有长方形板条接插凹槽（9），在长方形板条接插凹槽中插接有长方体形板条（14）；在后齿架的中上部设置有后梳齿（12），在后齿架的下部梳身上设置有螺栓连接通孔（11）；在前齿架的后侧面上靠接有后齿架，组成梳齿状托架。适合在石英舟装片机中使用。
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公开(公告)号：CN110854237A
公开(公告)日：2020-02-28
申请号：CN201911143862.9
申请日：2019-11-20
IPC分类号： H01L31/18 , H01L21/677
摘要： 本发明公开了一种便于单齿更换的基于高精度装配的疏齿托架，解决了现有机构存在的各别托齿损坏需要整个更换托架和托架装配精度低的问题。在托齿底架板（16）的前侧面上的中上部沿上下竖直方向等间隔地设置有长条状凹槽（17），在长条状凹槽（17）下方的托齿底架板（16）的前侧面上设置有带螺纹的沉孔（18），在长条状托齿（19）的顶端设置有硅片插入U形槽（20），在托齿固定盖板（23）的上部等间隔地设置有固定长条状托齿的顶丝孔（25），长条状托齿（19）的下端活动插接在托齿底架板（16）上的长条状凹槽（17）中，托齿固定盖板（23）靠接在托齿底架板（16）的前侧面上。在托齿发生单根损坏时更换方便。
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公开(公告)号：CN108831855A
公开(公告)日：2018-11-16
申请号：CN201810491640.5
申请日：2018-05-22
申请人： 中国电子科技集团公司第二研究所
摘要： 本发明公开了一种柔性基板动态定位机构及定位方法，解决了现有的定位机构存在的实现机构复杂和设备成本高的问题。包括底板座（1）和矩形定位工作面板（15），在矩形定位工作面板（15）上设置有基板吸附孔，在矩形定位工作面板（15）与底板座（1）之间分别设置有定位工作面板支撑立柱（2）、横向铰链座（3）和纵向铰链座（7），在两铰链座上分别设置有气缸，气缸的输出轴通过铰链关节与矩形定位工作面板（15）连接，在定位工作面板支撑立柱（2）上也设置有铰链关节，通过两气缸的输出轴，实现矩形定位工作面板（15）的倾斜和调整；在矩形定位工作面板（15）上设置有横、纵两方向的定位板。本发明制作简单、定位准确、稳定可靠。
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公开(公告)号：CN110739261B
公开(公告)日：2024-09-27
申请号：CN201911144664.4
申请日：2019-11-20
IPC分类号： H01L21/687
摘要： 本发明公开了一种石英舟硅片的顶升机构，解决了现有托起机构存在的制造成本高维修更换不方便和使用寿命低的问题。包括丝杠驱动机构，在丝杠驱动机构上连接有滑块（7），滑块（7）与顶升架底板（9）连接，在顶升架底板（9）上间隔地彼此平行地设置有两立板（10），在每个立板（10）的顶端均设置有梳齿状托架（11）；在石英舟安装架（13）上设置有石英舟（15），在石英舟下方的石英舟安装架（13）上设置有长条缝隙（14），两个梳齿状托架依次穿过石英舟安装架（13）上的长条缝隙（14）和石英舟（15）后设置在石英舟（15）上方，在两个梳齿状托架之间设置有硅片（12）。提高托齿的安装精度，提升生产效率。
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公开(公告)号：CN112614801B
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202011541026.9
申请日：2020-12-23
IPC分类号： H01L21/677 , H01L31/18
摘要： 本发明公开了一种可防卡滞的刻蚀下料机的硅片自动下料传送机构，解决了硅片在翻转工位上容易出现卡滞的问题。在翻转杆龙门支撑架（6）的内侧下端设置有漏吸硅片倾斜收料盒（11），在硅片入篮横向皮带传送线（5）上设置有翻转后的第一组硅片（13），在刻蚀后硅片下料传送辊（2）上的翻转工位上设置有第二组硅片（14），在漏吸硅片倾斜收料盒（11）与刻蚀后硅片下料传送辊（2）上的翻转工位之间设置有漏吸硅片（12）；在翻转驱动轴（8）上设置有“U”形摆杆（9），“U”形摆杆（9）的左端与翻转驱动轴（8）固定连接在一起，在“U”形摆杆（9）的右端设置有吸盘（10）。本发明不会因异常片而造成二次异常片的出现。
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公开(公告)号：CN110752179A
公开(公告)日：2020-02-04
申请号：CN201911143863.3
申请日：2019-11-20
IPC分类号： H01L21/687 , H01L31/18
摘要： 本发明公开了一种扩散工艺篮具内成组硅片的托起机构，解决了现有托起机构存在的硅片底端定位高度不一致和同用性不强的问题。在两个梳齿状托架（3）之间放置有硅片（4），梳齿状托架（3）是由前齿架（5）和后齿架（10）组合而成的，在前齿架（5）的中上部设置有前梳齿（7），在前齿架的下部梳身上设置有长条状通孔（6），在前齿架（5）的后侧面上设置有长方形板条接插凹槽（9），在长方形板条接插凹槽中插接有长方体形板条（14）；在后齿架（10）的中上部设置有后梳齿（12），在后齿架的下部梳身上设置有螺栓连接通孔（11）；在前齿架（5）的后侧面上靠接有后齿架，组成梳齿状托架（3）。适合在石英舟装片机中使用。
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公开(公告)号：CN110587838A
公开(公告)日：2019-12-20
申请号：CN201910874133.4
申请日：2019-09-17
摘要： 本发明公开了一种热切割多层生瓷片的刀架结构，解决了现有的多层生瓷片热切割装置中存在刀片换刀耗时长和刀片安装准确定位困难的问题。在工字形刀头架（1）的前侧面与下底面之间设置有刀片安装定位台阶（2），在刀片安装定位台阶（2）的立面上设置有吸附刀片长条状凹槽（27），吸附刀片长条状凹槽（27）通过在凹槽槽底设置的吸附孔与工字形刀头架（1）的左侧面上设置的真空吸嘴（10）连通在一起，刀片（3）设置在刀片安装定位台阶（2）的立面上，刀片（3）的上顶面与刀片安装定位台阶（2）的水平面顶接，在刀片（3）的前侧面上压接有L形压板（4）。保证多层生瓷片的加工精度和性能。
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公开(公告)号：CN102709380B
公开(公告)日：2014-06-25
申请号：CN201210130616.1
申请日：2012-04-28
申请人： 中国电子科技集团公司第二研究所
CPC分类号： Y02P70/521
摘要： 本发明公开了一种薄膜玻璃基板制绒设备的制绒部件，解决了现有设备存在的自动化程度低和制绒薄厚不均匀的问题。包括PLC和矩形底槽（1），在矩形底槽（1）中套接有架高的刻蚀槽（2），在骨架（11）上设置有匀水板（12），在匀水板（12）上均布有孔洞，在刻蚀槽底板设置有刻蚀液底部入口，刻蚀液底部入口与刻蚀液下入液管（9）的一端连通，刻蚀液下入液管（9）的另一端与入液总管（10）连通，在匀水板（12）上方从左到右依次设置有传送薄膜玻璃基板的接入辊（7）、辊轮组（13）和送出辊（8），在辊轮组（13）的上方设置有刻蚀液喷淋管，在矩形底槽（1）的底部设置有动态排液管（27）。实现了自动化生产，提高了刻蚀质量。
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公开(公告)号：CN110626801B
公开(公告)日：2024-06-21
申请号：CN201910874134.9
申请日：2019-09-17
摘要： 本发明公开了一种分批次精准变换硅片组传送角度的操作机构，解决了现有装置在进行不同组别的硅片旋转操作时，容易出现方形片状硅片旋转变换角度不一致和初次安装调试中容易发生塑料软管断裂的问题。在吸盘连接的旋转空心轴上设置槽型开关，以精确控制旋转空心轴的旋转初始位置和旋转终止位置，从而保证分批次改变的硅片组的旋转角度一致；在同步传送带闭环的末端从动轮轴上设置限位摆块机构，当伺服电机往复摆动角度超过180°时，切断伺服电机电源，以避免塑料软管发生断裂的现象发生。使分批次调整角度的硅片，调整传送角度后一致性好，精度误差小。
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