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公开(公告)号：CN117810145B
公开(公告)日：2024-05-07
申请号：CN202410224476.7
申请日：2024-02-29
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/68
摘要： 本发明涉及半导体产品制造设备技术领域，具体涉及一种去磷硅玻璃机的硅片上料装置，主要解决硅片上料效率较低的技术问题。所述去磷硅玻璃机的硅片上料装置包括缓存传送组件、纵向传送组件和硅片切换组件，缓存传送组件适于缓存上工序设备出料，纵向传送组件适于将硅片输送至去磷硅玻璃机的进料窗口内，硅片切换组件适于将硅片从缓存传送组件转运至纵向传送组件上，硅片切换组件包括导轨、滑座、驱动件和输送组件。本装置硅片的传输距离较短，所用时间较短，并且省去了顶升气缸的动作时间，产能由12000片/小时提高至16000片/小时，大幅提高了硅片进料效率；同时，硅片切换组件使得设备整体尺寸更小，减少厂房占地面积，节约成本。
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公开(公告)号：CN117810145A
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN202410224476.7
申请日：2024-02-29
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/68
摘要： 本发明涉及半导体产品制造设备技术领域，具体涉及一种去磷硅玻璃机的硅片上料装置，主要解决硅片上料效率较低的技术问题。所述去磷硅玻璃机的硅片上料装置包括缓存传送组件、纵向传送组件和硅片切换组件，缓存传送组件适于缓存上工序设备出料，纵向传送组件适于将硅片输送至去磷硅玻璃机的进料窗口内，硅片切换组件适于将硅片从缓存传送组件转运至纵向传送组件上，硅片切换组件包括导轨、滑座、驱动件和输送组件。本装置硅片的传输距离较短，所用时间较短，并且省去了顶升气缸的动作时间，产能由12000片/小时提高至16000片/小时，大幅提高了硅片进料效率；同时，硅片切换组件使得设备整体尺寸更小，减少厂房占地面积，节约成本。
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公开(公告)号：CN118888507A
公开(公告)日：2024-11-01
申请号：CN202410945877.1
申请日：2024-07-15
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/67 , C23C16/50 , C23C16/458
摘要： 本发明涉及SiC衬底稳固技术领域，公开了一种PECVD用抗翘曲SiC衬底稳固装置，包括衬底加热铝盘，衬底加热铝盘上开设有第一顶针通孔，还包括陶瓷吸盘，陶瓷吸盘包括从上到下依次设置在衬底加热铝盘底部的吸盘上板和吸盘下板；吸盘上板上开设有第二顶针通孔，吸盘上板上固定有多个吸盘吸嘴；吸盘下板上设置有供升降顶针穿过的第三顶针通孔和吸盘气道，升降顶针依次穿过第二顶针通孔和第一顶针通孔，吸盘气道与吸盘吸嘴连通，吸盘气道的一端连通有吸盘抽气孔。本发明通过在加热盘上增加吸盘的方式，在沉积反应工艺过程中，对SiC衬底进行吸附，使SiC衬底在高温环境中保持沉积面的平整，进而达到沉积均匀性的保证。
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公开(公告)号：CN116666296A
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN202310717536.4
申请日：2023-06-16
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/673 , H01L31/18
摘要： 本发明涉及石英舟设备领域，公开了便于单片更换的基于高精度装配的成组吸盘机构，包括：固定座，固定座上设有第一凹槽和气孔；插接盘，插接盘连接于固定座开设有第一凹槽的一面上，插接盘上开设有多个插槽，插接盘的两侧对称设有两个第二凹槽；吸盘，多个吸盘分别插接于一个插槽中，吸盘上开设有与第二凹槽相对应的第三凹槽，且吸盘的一面上设有多条相互连接的第一气道槽，另一面上设有第二气道槽，第二气道槽上盖合有盖板形成气道，气道连通插槽，且气道通过第二气道槽底部开设的多个吸盘孔连通第一气道槽；卡条，嵌合于第二凹槽中并依次穿过各吸盘的第三凹槽。本发明装配简单、更换方便、安装精度高，简化了现场的更换和维修，降低了成本。
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公开(公告)号：CN116882188A
公开(公告)日：2023-10-13
申请号：CN202310888966.2
申请日：2023-07-19
IPC分类号： G06F30/20 , G06F17/11 , G06F17/16 , G06F111/10 , G06F119/14
摘要： 本发明公开了一种基于矩阵求导法的滚珠丝杠传动系统拉格朗日动力学方程的求解方法，首先根据滚珠丝杠传动系统的物理模型简化得到系统的质阻弹力学模型，其中丝杠作为柔性体和连续体，采用分布参数法和Ritz级数法，系统其他部分采用集中参数法，建立系统的拉格朗日动力学方程。对拉格朗日动力学方程中的系统动能，系统势能和系统耗散能，根据建立的矩阵求导方法分别对广义坐标和广义速度求偏导数，最后得到系统的质量矩阵、阻尼矩阵和刚度矩阵。本发明以滚珠丝杠传动系统为例，提供了一种矩阵求导方法，从而使利用拉格朗日方程建立的复杂动力学模型可以直接进行求解，得到系统质量矩阵、阻尼矩阵和刚度矩阵后，进一步进行数值仿真计算。
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公开(公告)号：CN218241873U
公开(公告)日：2023-01-06
申请号：CN202222475173.1
申请日：2022-09-19
IPC分类号： H01L31/18 , H01L21/677 , H01L21/673 , H01L21/683 , H01L21/67
摘要： 本实用新型涉及光伏太阳能硅片在进行镀膜工艺过程中用到的转运码放装置，具体为一种高效的可追溯花篮硅片的转运码放装置，解决了背景技术中的技术问题，其包括上料花篮升降组件、上料缓存组件、上料硅片传输组件、上料变截距组件、真空吸盘组件和石墨舟，还包括下料缓存组件、龙门架、下料A、B道变截距组件、下料A、B道硅片传输组件、下料A、B道花篮升降组件，龙门架横跨在下料A道硅片传输组件和下料B道硅片传输组件上方，龙门架的水平梁上安装有水平滑移装置，下料缓存组件固定在水平滑移装置上可在下料A道硅片传输组件和下料B道硅片传输组件间切换位置。该装置实现了花篮内硅片的追溯，提高了装片效率，硅片无需在缓存组件内等待。
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公开(公告)号：CN213905329U
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN202023148940.5
申请日：2020-12-23
IPC分类号： H01L21/677 , H01L31/18
摘要： 本发明公开了一种刻蚀下料机的自动装篮机构，解决了现有机构硅片容易产生动摩擦印痕的问题。通过机构的整体移动，实现舌头板进入篮具进行硅片装篮，整体移出，在硅片入篮机构（4）中设置有入篮机构气缸（6）和入篮机构导轨（10），在入篮机构气缸（6）上设置有气缸滑块（7），在入篮机构导轨上设置有导轨滑块（11），在气缸滑块与导轨滑块（11）之间，设置有入篮机构支架（8），在入篮机构支架（8）的顶端设置有水平舌头板（9），在主动皮带轮（14）、左从动皮带轮（15）、右从动皮带轮（16）和张紧轮（17）之间设置有封闭的入篮传送皮带（18）。避免了由于硅片与皮带的动摩擦所产生的皮带印的产生。
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公开(公告)号：CN217498393U
公开(公告)日：2022-09-27
申请号：CN202221269161.7
申请日：2022-05-25
IPC分类号： B66C1/10 , H01L21/673 , H01L31/18
摘要： 本实用新型公开了一种可有效保护硅片移载篮具的提篮吊具，解决了现有提篮吊具在与硅片篮具结合时容易发生水平悬臂杆折断的问题；包括水平横梁板（1），在水平横梁板（1）顶端面中部固定连接有三角吊架（2），三角吊架（2）设置在上下升降丝杠模组（3）上，在水平横梁板（1）的下底面上，分别设置有左梯形吊板（4）、中部梯形吊板（5）和右梯形吊板（6），在右梯形吊板（6）的左侧立面下端设置有U形支座（7），在U形支座（7）上设置有一对销轴穿接孔（10），在一对销轴穿接孔（10）中穿接有销轴（12），在销轴上铰接有悬臂杆（8），悬臂杆是通过尾端的销孔（9）穿接在销轴上，起到了保护被挂接篮具的作用。
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