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公开(公告)号：CN111256959B
公开(公告)日：2022-02-11
申请号：CN202010172017.0
申请日：2020-03-12
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开了一种基于计算全息测量透镜焦距的方法，包括如下步骤：CGH的设计，根据透镜前后表面的曲率半径、中心厚、透镜的材质以及透镜与CGH的间距，得出CGH各环带半径参数，制作CGH；背景波前的获取，采用平面干涉仪，多次测量CGH的0级波前，取平均为背景波前；透镜与CGH的间距的获取，采用平面干涉仪，多次测量透镜的波前，同时测量透镜与CGH的间距，将各透射波前减去背景波前，计算离焦量‑间距关系，得到最优间距；透镜焦距获取，测量CGH的1级曲率半径，根据CGH的1级曲率半径以及透镜与CGH的间距，得透镜的焦距。本发明实现了长焦透镜焦距的高精度检测，缩短了整体检测光路长度，提升了抗环境干扰能力。
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公开(公告)号：CN116007908B
公开(公告)日：2023-06-02
申请号：CN202310306311.X
申请日：2023-03-27
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种大口径平板元件高透反射率及不均匀性测量装置及方法，属于光学测量领域中的大口径光学元器件的测量，其目的在于解决现有技术中大口径平板元件的高透反射率以及不均匀性测量误差较大的技术问题。其将用于大口径待测高透射镜的角度旋转、用于第一高反透射镜位置旋转设置为同轴机构，且在待测样品一侧增设第一高反透射镜，激光器产生的激光经分光镜后形成探测光和参考光，探测光以小角度入射至高反射镜，探测光在元件上产生两次反射或透射，同步采集卡最后采集参考光、探测光的光强，从而可将测量误差降低一倍，提高了测量精度，可用于大口径待测高透射镜的反射率或透射率及其空间不均匀性的高精度测量。
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公开(公告)号：CN116007908A
公开(公告)日：2023-04-25
申请号：CN202310306311.X
申请日：2023-03-27
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种大口径平板元件高透反射率及不均匀性测量装置及方法，属于光学测量领域中的大口径光学元器件的测量，其目的在于解决现有技术中大口径平板元件的高透反射率以及不均匀性测量误差较大的技术问题。其将用于大口径待测高透射镜的角度旋转、用于第一高反透射镜位置旋转设置为同轴机构，且在待测样品一侧增设第一高反透射镜，激光器产生的激光经分光镜后形成探测光和参考光，探测光以小角度入射至高反射镜，探测光在元件上产生两次反射或透射，同步采集卡最后采集参考光、探测光的光强，从而可将测量误差降低一倍，提高了测量精度，可用于大口径待测高透射镜的反射率或透射率及其空间不均匀性的高精度测量。
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公开(公告)号：CN111829757B
公开(公告)日：2022-01-28
申请号：CN202010678889.4
申请日：2020-07-15
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 一种光学元件激光诱导损伤特征瞬态测量装置及测量方法。该装置包括光源、第一分光镜、第二分光镜、第一反射镜、第二反射镜、光束整形滤波系统、偏振延迟控制系统、样品台、损伤特征在线测量系统、能量控制系统、聚焦系统、光束质量诊断系统、光闸、光阱、计算机；本发明将强激光光束分束，一部分作为损伤测试光束，一部分作为探测光束，采用偏振延迟控制系统，调节探测光束与损伤测试光束的间隔时间，结合损伤特征在线测量系统，在脉冲激光作用后不同时刻探测光学元件被辐照区域的相位信息及光强信息，获得损伤区域三维形貌及透过率分布的相对变化量。
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公开(公告)号：CN111829757A
公开(公告)日：2020-10-27
申请号：CN202010678889.4
申请日：2020-07-15
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 一种光学元件激光诱导损伤特征瞬态测量装置及测量方法。该装置包括光源、第一分光镜、第二分光镜、第一反射镜、第二反射镜、光束整形滤波系统、偏振延迟控制系统、样品台、损伤特征在线测量系统、能量控制系统、聚焦系统、光束质量诊断系统、光闸、光阱、计算机；本发明将强激光光束分束，一部分作为损伤测试光束，一部分作为探测光束，采用偏振延迟控制系统，调节探测光束与损伤测试光束的间隔时间，结合损伤特征在线测量系统，在脉冲激光作用后不同时刻探测光学元件被辐照区域的相位信息及光强信息，获得损伤区域三维形貌及透过率分布的相对变化量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111122507A
公开(公告)日：2020-05-08
申请号：CN201911077253.8
申请日：2019-11-06
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种基于离散小波变换的光学平板波前的降噪方法和装置，所述方法包括对含噪波前位相Wo进行预处理，得到扩展矩阵W；对扩展矩阵W进行二维离散小波分解，得到系数向量Co；基于滤除层序号数N对系数向量Co进行阈值降噪，得到降噪后的系数向量Ct；基于降噪后的系数向量Ct进行二维离散小波重构，得到降噪后扩展矩阵W'；对降噪后扩展矩阵W'进行后处理，得到降噪后波前位相Wt。本发明提供的基于离散小波变换的光学平板波前的降噪方法和装置，不需要额外硬件，不增加特殊调整步骤，可有效滤除高精度平板干涉测量时寄生干涉现象引入的噪声位相。
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公开(公告)号：CN110441035B
公开(公告)日：2021-08-03
申请号：CN201910772671.2
申请日：2019-08-20
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了大口径倍频晶体o光e光与边缘平行度测量装置及方法，属于光学测量领域，本发明包括：发射器组件，用于发出一束垂直偏振光；分光镜，用于将所述垂直偏振光分为第一光束、第二光束；第一探测器，用于记录第一光束的参量；第二光路，所述第二光路包括依次设置的起偏器、待测晶体、以及与所述起偏器正交布置的检偏器，还包括用于驱动所述起偏器和/或检偏器分别绕起偏器/或检偏器的轴线转动的旋转组件；第二探测器，用于记录第二光束通过第二光路后的参量；其中，所述第一光束与第二光束之间的参量变化限定所述垂直偏振光，本发明可极大地消除了用于发射激光的激光器功率随时间变化的影响。
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公开(公告)号：CN117490979A
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN202311214812.1
申请日：2023-09-19
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开了一种大口径平板元件剩余透反射率及不均匀性测量装置，涉及光学元件透反射率及不均匀性的测量，其目的在于解决现有技术中因存在较大系统误差而致使最终测量误差较大的技术问题，相比于传统的双光路测量方法，本申请在光路中引入了参考高反射镜，并将其作为比较测量对象；由于引入的参考高反射镜的透射率在光路中进行了原位标定，其提高了系统误差测量的进度；结合剩余透射率、剩余反射率的计算公式，计算公式中都有乘以标定的参考高反射镜的剩余透射率，从而极大地降低随机误差，进一步提高测量精度。
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公开(公告)号：CN111122507B
公开(公告)日：2022-03-15
申请号：CN201911077253.8
申请日：2019-11-06
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种基于离散小波变换的光学平板波前的降噪方法和装置，所述方法包括对含噪波前位相Wo进行预处理，得到扩展矩阵W；对扩展矩阵W进行二维离散小波分解，得到系数向量Co；基于滤除层序号数N对系数向量Co进行阈值降噪，得到降噪后的系数向量Ct；基于降噪后的系数向量Ct进行二维离散小波重构，得到降噪后扩展矩阵W'；对降噪后扩展矩阵W'进行后处理，得到降噪后波前位相Wt。本发明提供的基于离散小波变换的光学平板波前的降噪方法和装置，不需要额外硬件，不增加特殊调整步骤，可有效滤除高精度平板干涉测量时寄生干涉现象引入的噪声位相。
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公开(公告)号：CN111256959A
公开(公告)日：2020-06-09
申请号：CN202010172017.0
申请日：2020-03-12
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开了一种基于计算全息测量透镜焦距的方法，包括如下步骤：CGH的设计，根据透镜前后表面的曲率半径、中心厚、透镜的材质以及透镜与CGH的间距，得出CGH各环带半径参数，制作CGH；背景波前的获取，采用平面干涉仪，多次测量CGH的0级波前，取平均为背景波前；透镜与CGH的间距的获取，采用平面干涉仪，多次测量透镜的波前，同时测量透镜与CGH的间距，将各透射波前减去背景波前，计算离焦量-间距关系，得到最优间距；透镜焦距获取，测量CGH的1级曲率半径，根据CGH的1级曲率半径以及透镜与CGH的间距，得透镜的焦距。本发明实现了长焦透镜焦距的高精度检测，缩短了整体检测光路长度，提升了抗环境干扰能力。
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