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公开(公告)号:CN119935368A
公开(公告)日:2025-05-06
申请号:CN202510421862.X
申请日:2025-04-07
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种大口径平板玻璃应力双折射面成像测量方法,属于光学测量技术领域,其目的在于解决现有技术中存在的玻璃应力双折射测量效率低的技术问题。包括:将待测样品、1/4波片移出测量光路,旋转起偏器找到消光位置并在附近旋转起偏器N个角度,得到角度#imgabs0#;保持起偏器与检偏器不变,将1/4波片移入测量光路中,旋转1/4波片,找到消光位置;在消光位置附近旋转起偏器N个角度,得到角度#imgabs1#;保持1/4波片和检偏器位置、方向不变,将待测样品移入起偏器与1/4波片之间的测量光路中;通过起偏旋转机构旋转起偏器,当起偏器与参考坐标系x轴的夹角分别为0°、60°、120°时,通过CCD相机得到三幅图像的光强,并根据三个光强得到待测样品的应力双折射。
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公开(公告)号:CN113739717B
公开(公告)日:2023-10-24
申请号:CN202110962375.6
申请日:2021-08-20
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种在机测量系统中的线激光传感器位姿标定方法,包括以下步骤:将在机测量系统的坐标系划分为传感器测量坐标系OMXMYMZM、刀具坐标系OCXCYCZC和工件坐标系OPXPYPZP;以标准平面和标准球为测量对象,根据机床的多维平移信息和线激光传感器测得的距离信息计算线激光传感器的三维姿态,实现传感器测量坐标系向工件坐标系的转换;利用传感器夹具采用并行调节的方式将线激光传感器的三维姿态调节至理想姿态。本发明适用于三轴、四轴和五轴数控机床,具有低标定误差,能将工件三维轮廓的检测精度提升至几十甚至十几微米的水平,能够提高工件的加工精度和加工效率。
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公开(公告)号:CN116007908B
公开(公告)日:2023-06-02
申请号:CN202310306311.X
申请日:2023-03-27
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种大口径平板元件高透反射率及不均匀性测量装置及方法,属于光学测量领域中的大口径光学元器件的测量,其目的在于解决现有技术中大口径平板元件的高透反射率以及不均匀性测量误差较大的技术问题。其将用于大口径待测高透射镜的角度旋转、用于第一高反透射镜位置旋转设置为同轴机构,且在待测样品一侧增设第一高反透射镜,激光器产生的激光经分光镜后形成探测光和参考光,探测光以小角度入射至高反射镜,探测光在元件上产生两次反射或透射,同步采集卡最后采集参考光、探测光的光强,从而可将测量误差降低一倍,提高了测量精度,可用于大口径待测高透射镜的反射率或透射率及其空间不均匀性的高精度测量。
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公开(公告)号:CN116007908A
公开(公告)日:2023-04-25
申请号:CN202310306311.X
申请日:2023-03-27
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种大口径平板元件高透反射率及不均匀性测量装置及方法,属于光学测量领域中的大口径光学元器件的测量,其目的在于解决现有技术中大口径平板元件的高透反射率以及不均匀性测量误差较大的技术问题。其将用于大口径待测高透射镜的角度旋转、用于第一高反透射镜位置旋转设置为同轴机构,且在待测样品一侧增设第一高反透射镜,激光器产生的激光经分光镜后形成探测光和参考光,探测光以小角度入射至高反射镜,探测光在元件上产生两次反射或透射,同步采集卡最后采集参考光、探测光的光强,从而可将测量误差降低一倍,提高了测量精度,可用于大口径待测高透射镜的反射率或透射率及其空间不均匀性的高精度测量。
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公开(公告)号:CN111122507A
公开(公告)日:2020-05-08
申请号:CN201911077253.8
申请日:2019-11-06
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种基于离散小波变换的光学平板波前的降噪方法和装置,所述方法包括对含噪波前位相Wo进行预处理,得到扩展矩阵W;对扩展矩阵W进行二维离散小波分解,得到系数向量Co;基于滤除层序号数N对系数向量Co进行阈值降噪,得到降噪后的系数向量Ct;基于降噪后的系数向量Ct进行二维离散小波重构,得到降噪后扩展矩阵W';对降噪后扩展矩阵W'进行后处理,得到降噪后波前位相Wt。本发明提供的基于离散小波变换的光学平板波前的降噪方法和装置,不需要额外硬件,不增加特殊调整步骤,可有效滤除高精度平板干涉测量时寄生干涉现象引入的噪声位相。
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公开(公告)号:CN109932826A
公开(公告)日:2019-06-25
申请号:CN201910354065.9
申请日:2019-04-29
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种用于光学元件缺陷检测的拼接式条形激光装置,涉及光学元件检测装置技术领域,本发明包括若干组水平布置的光束形成机构,光束形成机构均包括从右到左依次布置的基础光源、准直透镜、扩束凹镜和柱面准直镜,准直透镜为平凸柱面透镜A,平凸柱面透镜A的平面一端靠近基础光源,扩束凹镜为平凹柱面透镜A,柱面准直镜包括组合在一起的平凹柱面透镜B和平凸柱面透镜B,平凹柱面透镜B的平面一端靠近平凹柱面透镜A,平凸柱面透镜B的平面一端靠近平凹柱面透镜B,平凸柱面透镜B的凸面为出光面,本发明具有加工成本低、加工难度低、输出光束质量高的优点。
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公开(公告)号:CN106018345B
公开(公告)日:2019-04-23
申请号:CN201610349666.7
申请日:2016-05-24
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01N21/45
Abstract: 本发明公开了一种基于短相干的光学平板玻璃折射率测量系统及方法,该系统包括迈克尔逊干涉仪,由短相干光源、分光棱镜、参考反射镜、和半透半反镜组成迈克耳逊干涉光路,利用迈克耳逊干涉光路等臂原理,参考反射镜可前后移动从而匹配半透板反镜与反射镜之间光程,通过光栅尺测量参考镜移动距离则可计算出半透半反镜与反射镜间光程。分别测量放入样品前后半透半反镜与反射镜间光程和测量旋转样品一定角度后半透半反镜与反射镜间光程,从而可计算得到样品的折射率。本装置结构简单,回避了测量光学玻璃物理厚度,实现了光学玻璃折射率的高精度测量,提出采用迭代的方法,可快速计算出光学玻璃折射率。
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公开(公告)号:CN109164064A
公开(公告)日:2019-01-08
申请号:CN201811136812.3
申请日:2018-09-28
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01N21/41
Abstract: 本发明涉及一种精确测定单层化学膜折射率变化值的装置及方法,属于高功率激光技术领域,该装置包括脉冲激光器、第一光电管、取样镜、石英棱镜、单层化学膜和第二光电管,所述石英棱镜为等边三棱镜,所述单层化学膜涂覆在石英棱镜的一个面上,所述脉冲激光器发出的光束经取样镜后,一部分入射到第一光电管上,剩余部分从石英棱镜的一个侧面射入,从涂有单层化学膜的一面射出,出射光线入射到第二光电管上,本发明的装置结构简单紧凑、成本低,能够有效测定高功率激光系统中单层化学膜折射率变化值,折射率变化值的检测精度达到0.0001。
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公开(公告)号:CN106441816B
公开(公告)日:2018-10-09
申请号:CN201610951248.5
申请日:2016-10-27
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开了一种计算全息法测量长焦距透镜透射波前的检测装置及检测方法,属于光学测量技术领域。其主要由干涉仪、被测长焦距透镜和菲涅尔波带片组成菲索干涉光路,干涉仪输出的准直平行光通过标准平面镜时,一束由标准平面镜参考面反射形成标准参考光束,另一束透过被测长焦距透镜透射、经波带片反射沿原路返回形成测试光束;测试光束与标准参考光束发生干涉,调整被测长焦距透镜,使干涉条纹最少,即可测量得到被测长焦距透镜的透射波前。本发明适用于长焦距透镜的透射波前的检测。
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公开(公告)号:CN109164064B
公开(公告)日:2023-08-25
申请号:CN201811136812.3
申请日:2018-09-28
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01N21/41
Abstract: 本发明涉及一种精确测定单层化学膜折射率变化值的装置及方法,属于高功率激光技术领域,该装置包括脉冲激光器、第一光电管、取样镜、石英棱镜、单层化学膜和第二光电管,所述石英棱镜为等边三棱镜,所述单层化学膜涂覆在石英棱镜的一个面上,所述脉冲激光器发出的光束经取样镜后,一部分入射到第一光电管上,剩余部分从石英棱镜的一个侧面射入,从涂有单层化学膜的一面射出,出射光线入射到第二光电管上,本发明的装置结构简单紧凑、成本低,能够有效测定高功率激光系统中单层化学膜折射率变化值,折射率变化值的检测精度达到0.0001。
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