一种溅射薄膜式孔隙水压力传感器

    公开(公告)号:CN104764554A

    公开(公告)日:2015-07-08

    申请号:CN201510195484.4

    申请日:2015-04-22

    Abstract: 本发明公开了一种溅射薄膜式孔隙水压力传感器,包括金丝引线、信号导线、弹性敏感元件和带有密封盖的圆环形薄壁筒,圆环形薄壁筒设置在弹性敏感元件的上表面,弹性敏感元件的下表面设置有透水圆膜,弹性敏感元件、密封盖和圆环薄壁筒构成密封腔体,密封腔体内设置有溅射金属薄膜和转接板,信号导线从圆环形薄壁筒的侧壁穿入密封腔体内,金丝引线将信号导线的信号引出线和溅射金属薄膜连接在一起。本发明提高传感器的可靠性,压力敏感圆膜的机械加工易于批量加工,批量制作压力敏感元件,缩短生产周期,降低加工成本,提高生产效率,解决了密封胶长期工作在水中可能出现的渗漏和脱落,使得密封牢固可靠。

    气体传感器温度补偿装置及方法

    公开(公告)号:CN106706859A

    公开(公告)日:2017-05-24

    申请号:CN201710048024.8

    申请日:2017-01-20

    CPC classification number: G01N33/0009

    Abstract: 本发明一种气体传感器温度补偿装置,包括用于监测气体浓度、感受气体温度高低变化、监测环境温度值的探头模块;用于一次温度补偿、温度传感器信号调理、实现气体浓度与环境温度数据采集的信号调理与数据采集模块;用于二次温度补偿的计算机模块;一种气体传感器温度补偿方法,包括一次温度补偿、信号处理、二次温度补偿:本发明通过一次温度补偿,实现了对气体传感器的粗略温度补偿;通过计算机进行二次温度补偿,实现了对气体传感器的精准温度补偿;利用气体传感器附近的温敏电阻,实现了气体传感器温漂变化量信号的获取;该方法提高了温度补偿效果,避免了调试的繁琐和耗时,同时算法简单、收敛,实现容易,避免了高复杂度造成的成本提升。

    用于油压控制阀性能实验台架的砝码加载恒压供油装置

    公开(公告)号:CN103343757B

    公开(公告)日:2015-12-02

    申请号:CN201310285764.5

    申请日:2013-07-09

    Abstract: 本发明公开了一种用于油压控制阀性能实验台架的砝码加载恒压供油装置,包括储油箱、活塞、轴承座、直线轴承、预装砝码和导杆,轴承座固定安装于储油箱的上端面,直线轴承安装于轴承座内并与轴承座固定连接,活塞依次穿过直线轴承的通孔、轴承座的通孔和储油箱的通孔并活动安装,活塞的上端与导杆的下端连接,预装砝码套装于导杆上,轴承座下端的一侧设置有泄油孔,储油箱的侧面上分别设置有进油口和出油口。本发明通过活塞连同预装砝码、导杆的随动浮动,实现了在油压控制阀流量特性测试全过程的恒定压力供油,通过调整预装砝码的质量可以方便地改变目标压力值;避免了传统技术中量纲转换引入的不确定系统误差。

    溅射薄膜式土壤压力传感器

    公开(公告)号:CN104748894A

    公开(公告)日:2015-07-01

    申请号:CN201510185472.3

    申请日:2015-04-17

    Abstract: 本发明公开了一种溅射薄膜式土壤压力传感器,包括弹性敏感元件、圆环形薄壁筒、圆膜式应变片、引线转接板和密封上盖,弹性敏感元件与圆环形薄壁筒的下端固定连接,圆膜式应变片设置在圆环形薄壁筒内并与弹性敏感元件的内表面贴合,引线转接板设置在圆环形薄壁筒内并位于圆膜式应变片的上方,圆膜式应变片的电极点通过金丝引线与引线转接板下表面的转接焊接点连接,引线转接板上表面的转接焊接点通过信号引出线与普通信号引线连接,密封上盖与圆环形薄壁筒的上端固定连接。本发明采用圆膜式应变片与圆环形薄壁筒分离的结构设计,避免在生产中使用粘接胶,消除了粘接胶受环境温度的影响而引起传感器性能的不稳定,提高传感器的可靠性。

    一种硅基MEMS单元结合线圈阵列的柔性多模式触觉传感器

    公开(公告)号:CN113588149A

    公开(公告)日:2021-11-02

    申请号:CN202110837037.X

    申请日:2021-07-23

    Abstract: 本发明公开了一种硅基MEMS单元结合线圈阵列的柔性多模式触觉传感器,包括底板、弹性体、硅基MEMES压力传感器单元、磁体、磁感应线圈阵列;弹性体、硅基MEMES压力传感器单元与磁感应线圈阵列设置于底板;磁体设置于弹性体中。使用硅基MEMS测压单元,无导电复合材料的电阻蠕变和电容式测压单元寄生电容的影响,精度高、稳定性良好;磁感应线圈阵列通过电磁感应产生电信号检测切向力的方向和大小,精度高,响应快,适合于动态力测量和滑动状态的检测。

    基于柔性压阻阵列和磁铁线圈阵列的柔性触觉传感器

    公开(公告)号:CN113155345A

    公开(公告)日:2021-07-23

    申请号:CN202110311847.1

    申请日:2021-03-24

    Abstract: 本发明公开了一种基于柔性压阻阵列和磁铁线圈阵列的柔性触觉传感器,包括弹性体、永磁铁、柔性压阻阵列、导电线圈阵列;永磁铁安装在弹性体内部;弹性体的底部与柔性压阻阵列的作用端连接;导电线圈阵列置于柔性压阻阵列的下方;本申请通过弹性体、永磁铁、柔性压阻阵列、导电线圈阵列的设置及其连接,有效的将柔性压阻单元阵列和磁铁线圈阵列两种敏感单元有机结合,基于压阻效应和电磁感应原理,能够实现柔性接触面上的三维力(即正压力和二维摩擦力)和滑动的检测,可以分辨滑动的二维方向,兼顾力与滑动检测的静态性能和动态性能,并且具有制作成本低的特点。

    溅射薄膜式土壤压力传感器

    公开(公告)号:CN104748894B

    公开(公告)日:2017-03-15

    申请号:CN201510185472.3

    申请日:2015-04-17

    Abstract: 本发明公开了一种溅射薄膜式土壤压力传感器,包括弹性敏感元件、圆环形薄壁筒、圆膜式应变片、引线转接板和密封上盖,弹性敏感元件与圆环形薄壁筒的下端固定连接,圆膜式应变片设置在圆环形薄壁筒内并与弹性敏感元件的内表面贴合,引线转接板设置在圆环形薄壁筒内并位于圆膜式应变片的上方,圆膜式应变片的电极点通过金丝引线与引线转接板下表面的转接焊接点连接,引线转接板上表面的转接焊接点通过信号引出线与普通信号引线连接,密封上盖与圆环形薄壁筒的上端固定连接。本发明采用圆膜式应变片与圆环形薄壁筒分离的结构设计,避免在生产中使用粘接胶,消除了粘接胶受环境温度的影响而引起传感器性能的不稳定,提高传感器的可靠性。

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